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제품 설명
정압 제어 계통(모델: RJ-HY-DRV16) 시스템 개요 박막 증착 및 재료 처리 응용분야에서 정밀한 진공 제어를 위해 가변 주파수 드라이브(VFD) 기술을 활용하는 고급 압력 조절 시스템 튜브 용광로, CVD/PECVD 시스템 및 분석 기기와 통합되도록 설계되었습니다. 주요 기능 2.1 정밀 압력 제어 이중 범위 조절: 미세 조절: 디지털 진공 게이지를 통해 200-700Pa(±1Pa 폭넓은 제어: 압력 센서를 통해 10 ~ 50kPa(±1% 실시간 적응형 펌핑 속도 조정 ...