최적 성능을 위한 고급 일정 압력 제어 시스템 기계

• 커스터마이징: 사용 가능
• 판매 후 서비스: 온라인 서비스
• 보증: 온라인 서비스
• 모델 번호.: Made-to-order
• 유형: 스테인레스 스틸 난방 장비
• 인증: CE
• 구조: 수평 타입
• 상표: RJ
• 전원 공급 장치: 단상 220V/50Hz
• 전력 소비량: 1KW
• 진공 펌프: Drv16c VFD Pump (Kf25 Flange)
• 높은 정밀도: 200-700PA
• 운송 패키지: 나무 케이스
• 규격: 사용자 지정
• 등록상표: RJ
• 원산지: Zhengzhou, China

제품 설명

정압 제어 계통(모델: RJ-HY-DRV16)
시스템 개요
박막 증착 및 재료 처리 응용분야에서 정밀한 진공 제어를 위해 가변 주파수 드라이브(VFD) 기술을 활용하는 고급 압력 조절 시스템 튜브 용광로, CVD/PECVD 시스템 및 분석 기기와 통합되도록 설계되었습니다.
주요 기능
2.1 정밀 압력 제어

• 이중 범위 조절:
  • 미세 조절: 디지털 진공 게이지를 통해 200-700Pa(±1Pa
  • 폭넓은 제어: 압력 센서를 통해 10 ~ 50kPa(±1%
• 실시간 적응형 펌핑 속도 조정

2.2 지능형 모니터링

• IoT 지원(WiFi/RJ45) 원격 작동
• 30일 데이터 로깅 용량(8시간/일)
• SCADA 통합을 위한 TCP/IP 프로토콜
• 시각적 압력 추세 표시

기술 사양

파라미터	사양
전원 공급 장치	단상 220V/50Hz
전력 소비량	1KW
진공 펌프	DRV16C VFD 펌프(KF25 플랜지)
	- 오일미스트 필터 포함
압력 범위
높은 정밀도	200-700Pa
표준 범위	10 ~ 50kPa
측정 장치
디지털 진공 게이지	PG800K(1-10,000Pa)
압력 센서	0 ~ 100kPa 범위
물리적 크기	650 × 420 × 450mm
무게	40kg

성능 특성
4.1 제어 매개변수

메트릭	가치
유량 범위	200-1000ml/min(가는형)
	6-17L/min(표준)
응답 시간	10% 압력 변동에 대해 500ms 미만
안정성	설정치의 ±0.5%

4.2 시스템 통합

• 호환:
  • 열 CVD 시스템
  • 플라스마 강화 증착
  • 스퍼터링 시스템
  • 가스 혼합 스테이션
• 표준 KF25 플랜지 연결부

운영 이점

1. 공정 최적화
   • 가스 유량 변화 중에도 안정적인 압력을 유지합니다
   • 반복 가능한 증착 조건을 사용할 수 있습니다
   • 압력 변동으로 인한 필름 결함을 줄입니다
2. 사용자 이점
   • 레시피 저장소가 있는 터치스크린 인터페이스
   • 자동 펌프 속도 조절
   • 모바일/데스크탑을 통한 원격 모니터링
3. 안전 기능
   • 과압 보호
   • 펌프 과부하 보호 장치
   • 비상 환기 기능

유지 보수 및 지원

• 12개월 보증(소모품 제외)
• 평생 기술 지원
• 권장 서비스 주기: 운영 시간 2000시간

일반적인 응용 프로그램

• 반도체 박막 증착
• 광학 코팅 공정
• 진공 소둔 열처리 시스템
• 표면 변형 처리
• 연구 규모의 재료 합성

이 시스템은 실험실 수준의 정밀도와 산업 안정성을 제공하는 공정 제어 기술의 상당한 발전을 나타냅니다. VFD 펌프 구조는 기존의 진공 시스템에 비해 에너지 소비를 최대 40% 줄이는 동시에 탁월한 압력 안정성을 제공합니다.
최적의 성능을 위해 완벽한 공정 통합을 위해 RJ 시리즈 튜브 용광로 및 가스 공급 시스템과 함께 사용하는 것이 좋습니다.