• 세 개의 타겟 광전자 파일 나노 필름 디포지션 자그네론 플라즈마 스퍼터링 코터
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세 개의 타겟 광전자 파일 나노 필름 디포지션 자그네론 플라즈마 스퍼터링 코터

판매 후 서비스: 12개월
보증: 12개월
유형: 코팅 생산 라인
코팅: 진공 코팅
기판: 강철
인증: CE

공급 업체에 문의

골드 멤버 이후 2023

비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체

Henan, 중국
확인된 강도 라벨(15)을 모두 보려면 하세요.
  • 개요
  • 제품 설명
  • 제품 매개변수
  • 상세 사진
  • 회사 프로필
  • FAQ
개요

기본 정보

모델 번호.
TN-MSH300-III-DCDCRF-SS
조건
새로운
냉각 모드
물 냉각
온도 상승
최대 500ºc
회전 속도
1-20rpm 조절 가능
기판 크기
직경 185mm
진공 챔버
스테인리스 스틸
Magnetron Sputtering Target Head
3 Magnetron Sputtering Heads
샘플 스테이지 크기
Maximum 4" Substrate Can Be Placed
회전 속도
1-20 Rpm (Adjustable)
최고 난방 온도
500ºc
온도 제어 정확도
+/- 1.0 °c
가스 흐름 컨트롤러
2 Mass Flow Meters Installed Inside The Instrument
진공 펌프
a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
냉각 시스템
16L/min
운송 패키지
Fumigated Wooden Box
등록상표
TN
원산지
중국
세관코드
8486209000
생산 능력
200/Month

제품 설명

실험실 광전자가 제기한 나노 필름 증착 마그네트론 플라즈마 스퍼터링 코터

제품 설명

퍼터링(Sputtering)은 에너지 넘치는 이온이 표적을 향해 가속되는 플라즈마 기반 증착 과정입니다. 이온이 표적에 부딪침하고 원자가 표면에서 배출됩니다(또는 침을 뱉습니다). 이 원자는 기질 쪽으로 이동해서 성장하는 필름에 통합됩니다.
1.트리플 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터란 비용 효율적인 자그론 스퍼터링 코팅 장비입니다. 표준화되고 모듈식이며 사용자 지정할 수 있습니다.
2.1인치, 2인치, 3인치 마그네트론 타겟이 있다. 코팅할 기판의 크기에 따라 대상을 선택할 수 있습니다.
3.마그네트론 스퍼터링 코터는 500W DC 전원과 500W RF 출력을 갖추고 있습니다. DC 전력은 전도체 물질에 사용되고 RF 전력은  절연 물질에 사용됩니다.    요구 사항에 따라 300W에서 1000W의 전력을 제공합니다.
4.마그네트론 스퍼터링 코터에는 2채널 고정밀 질량 유량계가 장착되어 있습니다. 4채널 질량 유량계는 입니다
   사용 가능.
5.자그네론 스퍼터링 코터에는 터보 분자 펌프가 장착되어 있으며, 궁극적인 진공은 최대 10E-5Pa, 다른 종류의 분자 펌프를 구입할 수 있습니다.
 6.분자 펌프 가스 경로는 여러 솔레노이드 밸브로 제어되며, 챔버를 열어 샘플을 빼낼 수 있습니다
   펌프 종료
7. 이 제품에는 시스템을 제어하는 통합 산업용 컴퓨터가 장착되어 있습니다.

제품 매개변수

마그네트론 거터 코터 사양

샘플 단계 크기 직경 140mm
온도 상승 최대 500ºC
온도 정확도 ±1ºC
회전 속도 1-20rpm 조절 가능
마자론 퍼터링 헤드 수량 2" × 3(1", 2" 선택 사항)
냉각 모드 물 냉각
물 냉각기 유속이 10L/min인 순환 수냉기
진공 챔버 챔버 크기 직경 300mm × 300mm
챔버 재료 스테인리스 스틸
시계 창 직경 100mm
열기 모드 상단 덮개가 열려 있습니다
 질량 유량계  2채널; 측정 범위 100SCCM; 100SCCM(고객의 요구에 따라 맞춤 구성 가능)
진공 시스템 모델 TN-GZK103-A
분자 펌프 CY-600
백업 펌프 로터리 베인 펌프
최고의 진공 청소기 1.0E-5Pa
펌프 인터페이스 CF160
배기 인터페이스 KF40
진공 측정 복합 진공 게이지
전원 공급 장치 AC; 220V 50 / 60Hz
펌핑 속도 분자 펌프: 600L/S 로터리 베인 펌프: 1.1L/S   
종합적인 가스 펌핑 성능: 20분 내에 최대 1.0E-3Pa 진공 청소
전원 구성 수량 DC 전원 공급 장치 x2
RF 전원 공급 장치 x1
최대 출력 파워 DC 500W, RF 500W
기타 매개변수 공급 전압 AC220V, 50Hz
총 전력 4kW
전체 크기 1,090mm 900mm 1,250mm
총 무게 약 300kg

 

상세 사진

참고:
1.  우리는 마자네론 스퍼터링 코터를 1 타겟, 2 타겟, 3 타겟, 타겟 챔버 상단 또는 하단에 설계할 수 있습니다.
DC 전원 또는 RF 전원 대상이 있습니다.
3.다른 타겟 재질은 선택 사항입니다
강한 자기 표적과 영구 자기 표적은 선택 사항입니다
 증발 원과의 마그네트론 스퍼터링 코터를 사용할 수 있습니다
6.맞춤형 서비스는 항상 이용 가능합니다!

 

Three Target Photoelectron Filed Nano Film Deposition Magnetron Plasma Sputtering Coater

500W DC 전원 2개가 장착된 삼중 타겟 마그네트론 거터 코터 500W RF 전력 1개

Three Target Photoelectron Filed Nano Film Deposition Magnetron Plasma Sputtering Coater3인치 타겟 마그네트론 거터 코터 3개

Three Target Photoelectron Filed Nano Film Deposition Magnetron Plasma Sputtering Coater진동 스브브레이트 플레이트가 있는 삼중 타겟 마그네트론 거터 코터

Three Target Photoelectron Filed Nano Film Deposition Magnetron Plasma Sputtering Coater전환 챔버가 있는 삼중 타겟 마그네트론 거터 코터

회사 프로필

 

Three Target Photoelectron Filed Nano Film Deposition Magnetron Plasma Sputtering CoaterThree Target Photoelectron Filed Nano Film Deposition Magnetron Plasma Sputtering CoaterThree Target Photoelectron Filed Nano Film Deposition Magnetron Plasma Sputtering CoaterThree Target Photoelectron Filed Nano Film Deposition Magnetron Plasma Sputtering CoaterThree Target Photoelectron Filed Nano Film Deposition Magnetron Plasma Sputtering CoaterThree Target Photoelectron Filed Nano Film Deposition Magnetron Plasma Sputtering CoaterThree Target Photoelectron Filed Nano Film Deposition Magnetron Plasma Sputtering Coater
FAQ


Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?

A. 당사는 전문적인 실험실 기기 제조업체로서, 자체 설계 팀과 공장에서 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.

Q. 귀사의 제품 애프터 서비스 시스템은 어떻게 됩니까?

A. 제품 보증 기간은 12개월이며, 평생 유지 보수를 제공할 수 있습니다. 당사는 기술적 문제를 해결하기 위해 24시간 내에 대응할 수 있는 전문적인 사전 판매 및 애프터세일즈 부서를 보유하고 있습니다.

Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?

A.1. 상품이 재고로 있다면 5-10일입니다. 2.고객에게 맞춤형 서비스를 제공할 수 있습니다. 사용자 지정 기기의 사양에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.

Q. 우리 나라의 전원 공급 장치와 플러그는 다릅니다. 어떻게 해결합니까?

A. 다른 국가의 전원 플러그에 따라 현지 요구 사항에 따라 변압기와 플러그를 공급할 수 있습니다.

Q. 결제 방법

A.T., L/C, D/P 등, 중국 무역 보증에서 사용하는 것이 좋습니다.

Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?

A.1. 표준 수출 포만화 표지판 나무 상자 포장 2. 고객의 요구 사항에 따라 익스프레스, 에어, 해상 배송 중에서 가장 적합한 방법을 찾아 보십시오.

더 많은 질문이 있으시면 저희에게 문의해 주십시오.

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