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감사를 받은 공급업체 단일 표적 DC 마그네트론 스퍼터링 코터 장비는 우리 회사가 독자적으로 연구하고 개발한 비용 효율적인 마그네론 스퍼터링 코팅 장비입니다. 표준화, 모듈화, 맞춤화의 특징이 있습니다. 마그네트론 타깃은 1인치, 2인치, 3인치에서 선택할 수 있으며, 고객은 도금 기판 크기에 따라 선택할 수 있습니다. 전원 공급 장치는 1500W의 고전력 DC 전원 공급 장치로 고에너지 금속 스퍼터링 코팅에 사용할 수 있습니다. 실험 요건에 따라, 다양한 물질의 코팅 작업을 위해 다른 사양의 DC 또는 RF 전원 공급 장치를 선택할 수도 있습니다.
코팅 장비에는 2개의 고정밀 질량 유량기가 있으며, 고객이 복잡한 가스 환경 구조의 요구 사항을 충족하기 위한 다른 요구 사항이 있는 경우 최대 4개의 질량 유량계까지 가스 경로를 사용자 지정할 수 있습니다. 이 기기는 고급 극분자 펌프 세트를 기본으로 갖추고 있으며, 극한 진공은 1.0E-5Pa 에 도달할 수 있습니다. 동시에 다른 종류의 분자 펌프를 구입할 수 있습니다. 분자 펌프의 가스 경로는 여러 솔레노이드 밸브에 의해 제어되며, 이 밸브를 통해 펌프를 끄지 않고도 캐비티를 열어 샘플을 채취할 수 있으므로 작업 효율이 크게 향상됩니다. 이 제품에는 시스템을 제어하는 통합 산업용 제어 컴퓨터가 장착되어 있습니다. 컴퓨터 프로그램은 진공 펌프 그룹의 제어 및 스퍼터링 전원 공급 장치 제어 등 대부분의 기능을 실현할 수 있으므로 실험 효율성을 더욱 높일 수 있습니다.
단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터의 적용 범위:
단일 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터는 단일 레이어 퍼로전기 필름, 전도성 필름, 합금 필름 등을 준비하는 데 사용할 수 있습니다. 유사한 장비와 비교했을 때 이 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 널리 사용될 뿐만 아니라 작은 크기와 간편한 작동의 이점도 있습니다. 이 장비는 물질 박막 필름의 실험실 준비에 이상적인 장비이며 고체 전해질 및 OLED 등에 대한 실험실 연구에 특히 적합합니다
| 단일 표적 DC 자그네론 스퍼터링 코팅 기기 | ||
| 샘플 단계 | 치수 | φ185mm |
| 난방 범위 | 실내 온도 ~500ºC | |
| 조절 가능한 속도 | 1-20rpm 조절 가능 | |
| 자기 제어 대상 군 |
대상 평면 | 원형 평면 대상 |
| 퍼터링 진공 | 10Pa ~ 0.2Pa | |
| 타겟 직경 | 50 ~ 50.8mm | |
| 대상 두께 | 2 ~ 5mm | |
| 절연 전압 | 2000V 이상 | |
| 케이블 사양 | SL-16 | |
| 목표 머리 온도 | 65°C 이하 | |
| 진짜 Null입니다 캐비티 바디 |
내벽 치료 | 전해 광택 |
| 캐비티 크기 | φ300mm × 300mm | |
| 캐비티 재질 | 304 스테인리스 스틸 | |
| 관찰 창 | 석영 창문, 직경 φ100mm | |
| 열기 방법 | 상단 개구부, 실린더 보조 지지대 | |
| 가스 바디 제어 시스템 |
흐름 제어 | 질량 유량계, 범위 0 ~ 200SCCM 아르곤 가스 |
| 제어 밸브 유형 | 솔레노이드 밸브 | |
| 제어 밸브 정적 상태 | 보통 닫혀요 | |
| 선형성 측정 | ± 1.5% F.S | |
| 측정 반복성 | ± 0.2% F.S | |
| 응답 시간 측정 | ≤ 8초(T95) | |
| 작동 압력 범위 | 0.3MPa | |
| 밸브 본체 압력 | 3MPa | |
| 작동 온도 | (5 ~ 45) ºC | |
| 바디 재질 | 스테인리스 스틸 316L | |
| 밸브 본체 누출 비율 | 1 × 10 - 8Pa m3/s | |
| 파이프 조인트 | 압축력 조정 중 1/4이(가) 실패했습니다 | |
| 입력 및 출력 신호 | 0 ~ 5V | |
| 전원 공급 장치 | ±15V(±5%)(+15V 50mA, -15V 200mA) | |
| 전체 치수 mm | 130(폭) × 102(높이) × 28(두께) | |
| 통신 인터페이스 | RS485 MODBUS 프로토콜 | |
| DC 전원 공급 장치 | 파워 | 500W |
| 출력 전압 | 0 ~ 600V | |
| 타이밍 길이 | 65,000초 | |
| 시작 시간 | 1~10초 | |
| 필름 두께 측정 | 전원 요구 사항 | DC: 5V(±10%) 최대 전류 400mA |
| 해상도 | ±0.03Hz(5-6MHz), 0.0136Å /측정(알루미늄) | |
| 측정 정확도 | ± 0.5% 두께 + 1 카운트 | |
| 측정 기간 | 100ms~1S/시간(설정 가능) | |
| 측정 범위 | 500,000 Å (알루미늄) | |
| 크리스털 주파수 | 6MHz | |
| 통신 인터페이스 | RS-232/485 직렬 인터페이스 | |
| 숫자 표시 | 8자리 LED 디스플레이 | |
| 분자 펌프 | 분자 펌프 펌핑 속도 | 80L/S |
| 정격 속도 | 65,000rpm | |
| 진동 값 | 0.1um 미만 | |
| 시작 시간 | 4.5분 미만 | |
| 가동 중지 시간 | 7분 미만 | |
| 냉각 방법 | 공냉식 | |
| 냉각수 온도 | 37ºC | |
| 냉각수 유량 | 1L/min | |
| 설치 방향 | 수직 ±5° | |
| 흡입 포트 | 150CF | |
| 배기 연결부 | KF40 | |
| FORE 펌프 | 펌핑 속도 | 1.1L/S(VRD-4) |
| 최고의 진공 청소기 | 5 × 10 - 2Pa | |
| 전원 공급 장치 | AC: 220V/50Hz | |
| 파워 | 400W | |
| 소음 | 56db 미만 | |
| 흡입 포트 | KF40 | |
| 배기 연결부 | KF25 | |
| 밸브를 분리하십시오 | 공압식 및 전자 제어식 공기 해제 밸브가 에 장착되어 있습니다 진공 챔버 | |
| 전체 기계의 궁극적 진공 | 5 × 10 - 4Pa | |
| 진공 챔버 부스트 속도 | = 2.5Pa/h | |
| 소프트웨어 시스템 | 모니터링 및 관리 소프트웨어 1세트 | |
| 테스트 대상 | 직경이 2인치인 구리 타겟 2개 및 두께 3mm | |
참고:
1. 우리는 마자네론 스퍼터링 코터를 1 타겟, 2 타겟, 3 타겟, 타겟 챔버 상단 또는 하단에 설계할 수 있습니다.
DC 전원 또는 RF 전원 대상이 있습니다
3.다른 타겟 재질은 선택 사항입니다
강한 자기 표적과 영구 자기 표적은 선택 사항입니다
증발 원과의 마그네트론 스퍼터링 코터를 사용할 수 있습니다
6.맞춤형 서비스는 항상 이용 가능합니다!
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 전문적인 실험실 기기 제조업체로서, 자체 설계 팀과 공장에서 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.
Q. 귀사의 제품 애프터 서비스 시스템은 어떻게 됩니까?
A. 제품 보증 기간은 12개월이며, 평생 유지 보수를 제공할 수 있습니다. 당사는 기술적 문제를 해결하기 위해 24시간 내에 대응할 수 있는 전문적인 사전 판매 및 애프터세일즈 부서를 보유하고 있습니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
A.1. 상품이 재고로 있다면 5-10일입니다. 2.고객에게 맞춤형 서비스를 제공할 수 있습니다. 사용자 지정 기기의 사양에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 우리 나라의 전원 공급 장치와 플러그는 다릅니다. 어떻게 해결합니까?
A. 다른 국가의 전원 플러그에 따라 현지 요구 사항에 따라 변압기와 플러그를 공급할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A.T., L/C, D/P 등, 중국 무역 보증에서 사용하는 것이 좋습니다.
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A.1. 표준 수출 포만화 표지판 나무 상자 포장 2. 고객의 요구 사항에 따라 익스프레스, 에어, 해상 배송 중에서 가장 적합한 방법을 찾아 보십시오.
더 많은 질문이 있으시면 저희에게 문의해 주십시오.
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