비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
감사를 받은 공급업체 플라즈마 강화 하이브리드 물리적 화학 증기 탈착 시스템 HPCVD 장비
1200C 튜브 용광로를 사용한 CVD 사양
| 가열 구역 튜브 용광로 2개 | 제품 모델 | TN-PE-HPCVD-50R-1100-Q | |
| 용광로 튜브 재질 | 고순도 석영 | ||
| 튜브 직경 | 50mm | ||
| 용광로 튜브 길이 | 1,200mm | ||
| 용광로 챔버 길이 | 440mm | ||
| 가열 구역 길이 | 200mm + 200mm | ||
| 작동 온도 | 0 ~ 1100ºC | ||
| 온도 제어 정확도 | ±1ºC | ||
| 온도 제어 모드 | 30 또는 50세그먼트 프로그램 온도 제어 | ||
| 디스플레이 모드 | HD 풀 컬러 LCD 터치 스크린 | ||
| 씰링 방식 | 304 스테인리스 스틸 진공 플랜지 | ||
| 전원 공급 장치 | AC: 220V 50 / 60Hz 2.5kw | ||
| RF 출력 시스템 | 출력 범위 | 0 ~ 500W 조정 가능 | |
| 작동 주파수 | 13.56MHz + 0.005% | ||
| 작동 모드 | 연속 출력 | ||
| 임피던스 모드가 일치합니다 | 이 두 배관은 서로 잘 어울립니다. 또한 연광이 용광로 튜브 전체에 고르게 분포되어 있습니다 | ||
| 파워 안정성 | 2W 이하 | ||
| 정상 작동 반사력 | ≤ 3W | ||
| 증폭된 반사력 | 70W 이하 | ||
| 조화 부품 | ≤-50dBc | ||
| 전반적인 효율성 | ≥ 70% | ||
| 파워 팩터 | 90% 이상 | ||
| 공급 전압/주파수 | 단상 AC(187V~153V) 주파수 50/60Hz | ||
| 제어 모드 | 내부 제어/PLC 아날로그 수량/RS232/485 통신 | ||
| 전원 보호 설정 | DC 과전류 보호, 전력 증폭기 과열 보호, 반사된 전원 보호 | ||
| 냉각 방법 | 강제 공기 냉각 | ||
| 예열 구역 | AR 하에서 무선 주파수 전원 공급 장치와 코일은 연광에 협조하여 연소로 튜브를 채웁니다 | ||
| 증발 보트 | 작동 온도 | 1300ºC | |
| 증발 소스 | 텅스텐 와이어 바스켓, 테이퍼 알루미늄 도가니(옵션 | ||
| 열전대 | S형 열전대 | ||
| 작동 전류 | 30A 이하 | ||
| 최대 전력 | 500W | ||
| 가스 공급 시스템 | 유량계 | 4채널 질량 유량계 | |
| 유량 범위 | MFC1 범위: 0 ~ 200scm MFC2 범위: 0 ~ 200scm MFC3 범위: 0 ~ 500scm MFC4 범위: 0 ~ 500scm H2, CH4, N2, AR 가스에 해당 |
||
| 측정 정확도 | ± 1.5% F.S | ||
| 반복성 | ±0.2% FS | ||
| 선형 정확도 | ± 1% F.S. | ||
| 응답 시간 | ≤ 4s | ||
| 작업 압력 | 0.15Mpa ~ 0.15Mpa | ||
| 흐름 제어 | LCD 터치스크린 컨트롤, 디지털 디스플레이, 각 채널 가스에는 개별 제어를 위한 니들 밸브가 포함되어 있습니다. | ||
| 흡기 인터페이스 | 1/4NPS 또는 6mm 외경에 연결할 수 있습니다 스테인리스 스틸 파이프 | ||
| 출구 인터페이스 | 1/4NPS 또는 6mm 외경에 연결할 수 있습니다 스테인리스 스틸 파이프 | ||
| 연결 방법 | 이중 페룰 커넥터 | ||
| 작동 온도 | 5 ~ 45ºC | ||
| 가스 사전 혼합 | 가스 프리믹스 장치 장착 | ||
| 배기 시스템 | 제품 모델 | TN-GZK103-A | |
| 분자 펌프 | Turbomolecular 펌프 | ||
| 백업 펌프 | 2단계 로터리 베인 펌프 | ||
| 펌핑 속도 | 분자 펌프: 600L/S | 종합적인 펌프 성능: 진공 청소가 30분 거리에 있음: 5 × 10E-3Pa | |
| 로터리 베인 펌프: 1.1L/S | |||
| 최고의 진공 청소기 | 5 × 10E-4Pa | ||
| 펌핑 포트 | KF40 | ||
| 배기 인터페이스 | KF16 | ||
| 진공 측정 | 복합 진공 게이지 | ||
1.에어 프로덕츠는 CVD/PECVD 기계와 가스 공급 시스템 + 진공 시스템 + 튜브 용광로 + 플라즈마 발생기를 보유하고 있습니다.
2.튜브 용광로(온도): 1200C, 1400C, 1600C, 맞춤형 온도를 사용할 수 있습니다.
3.튜브 용광로(가열 구역): 단일 구역, 이중 구역, 삼중 구역, 사용자 지정된 가열 구역 번호를 사용할 수 있습니다.
4.튜브 재질: 석영, 코로나, 합금 및 기타 튜브 재질 사용자 지정 가능.
지름이 다른 튜브 및 길이를 사용자 지정할 수 있습니다.
6.플라즈마 발생기: 100W, 150W, 300W, 500W, 1000W, 또한 플라즈마 생성기의 다른 전력을 사용자 지정할 수 있습니다.
7.유량계: 1~3개 또는 다중 채널 유량계는 공정에 따라 선택 사항입니다.
정저우 타이노오 필름 재료 주식회사는 디자인, 연구 개발, 생산 및 판매를 통합하는 종합 회사입니다.
당사의 주요 제품은 스핀 코터, 열 증발 코터, 마그네트론 스파터 코터, 플라즈마 스파터 코터, E-빔 증발 코터, PLD 펄스 레이저 코팅 기계, 플라즈마 클리너, CVD 시스템, PECVD 시스템, 다이아몬드 와이어 절단 기계, 용광로/스토브, 아크 용해 용광로 등
당사의 제품은 재료과학 연구 분야에서 널리 사용되고 있습니다. 국내 대학, 실험실, 신소재 회사들과 폭넓은 협력을 하고 있습니다. 미국, 영국, 독일, 러시아, 스위스, 캐나다, 브라질 등 . 현지 딜러들과 장기적인 협력 관계를 구축하였습니다.
재료 연구를 수행하는 경우, 당사에 문의하시면 귀하의 연구 실험을 보다 원활하게 진행할 수 있도록 맞춤형 서비스를 제공해 드립니다!
우리는 CVD, PECVD 기계를 바다, 공기, 육지, 익스프레스를 통해 배송할 수 있습니다, 또한 우리는 당신의 요구사항에 따라 배송을 준비할 수 있습니다.
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 실험실 기기의 전문 제조업체이며, 품질 및 판매 후 서비스를 약속할 수 있는 전문 R&D 팀과 워크샵이 있습니다.
Q. 보증 기간은 어떻게 됩니까?
A. 보증 기간은 12개월이며 , 평생 유지 보수를 제공합니다. 24시간 온라인 서비스를 제공합니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
a. 5-10일--- 매장 내. Customzied 제품 -- 사용자의 요구 사항에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 전원 공급 장치 및 플러그?
A. 현지 전압 및 플러그 표준에 맞는 제품을 제공할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A. T T, L/C, D/P 등
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A. 표준 수출 상품 포장 또는 요구 사항으로 포장 포장.
프로젝트에 대해 논의해야 할까요?
연락하시면 필요한 답변과 솔루션을 얻을 수 있도록 협력할 수 있습니다.
어떻게 하면 목표를 달성할 수 있을까요? 당사의 엔지니어링 팀이 극복하는데 어떤 기술적 장애물을 극복할 수 있을까요? '터치 사용' 버튼을 눌러 연락주세요. 귀하의 연구에 대해 듣고 저희가 어떤 방법으로든 도움을 드릴 수 있게 되어 기쁩니다.
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