판매 후 서비스: | 12개월 |
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보증: | 12개월 |
유형: | 코팅 생산 라인 |
코팅: | 진공 코팅 |
기판: | 강철 |
인증: | CE |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
1.이 유형의 소형 플라즈마 스퍼터링 코팅 기계는 SEM에 널리 사용되는 1단계 스퍼터링 방식을 채택합니다
시료 전처리 또는 금속 코팅 실험
2. 저온의 플라즈마 스퍼터링 공정을 이용하면 코팅 과정에서 고온이 발생하지 않고 열 손상이 발생합니다
거의 일어나지 않았습니다.
3. 이 작은 플라즈마 스퍼터링 코터링 시스템은 PLC + 터치스크린 제어 시스템을 사용하며 작동이 쉽습니다. 회전 가능한 샘플 단계는 입니다
있습니다.
4. 작은 크기로 실험실 연구 공정에 적합합니다.
sinlge 타겟 혈장 거침 혼합기 사양
샘플 단계 | 크기 | 100mm |
샘플 단계에서부터 대상 표면까지의 거리 | 높이 조절이 가능한 20~35mm | |
회전 속도 | 1 ~ 20rpm 조절이 가능합니다 | |
온도 상승 | ≤ 500ºC | |
온도 제어 정확도 | ±1ºC PID 온도 조절 | |
플라즈마 침을 튀는 소스 | 수량 | 2 인치 x1/2/3 |
냉각 방법 | 물 냉각 | |
진공 챔버 | 챔버 크기 | φ180mm x 150mm |
관찰 창 | 전방향 시야 | |
챔버 재료 | 고순도 석영 | |
열기 방법 | 상단 덮개 분리 가능 | |
상단 및 하단 덮개 소재 | 304 스테인리스 스틸 | |
펌핑 포트 | KF16 | |
흡기 포트 | 1/4인치 페룰 커넥터 | |
전원 구성 | 수량 | DC 전원 공급 장치 x1 |
출력 전원 | 최대 150W | |
스퍼터링 파워 | 1200V | |
최대 스퍼터링 전류 | 50mA | |
진공 시스템 | 진공 펌프 유형 | 2단 로터리 베인 진공 펌프 |
펌핑 포트 | KF16 | |
배기 인터페이스 | KF16 | |
펌핑 속도 | 1L/s(4m3/h) | |
최고의 진공 청소기 | ≥0.1Pa | |
진공 측정 | 저항 진공 게이지 | |
기타 | 전원 공급 장치 | AC 220V 50Hz |
총 전력 | 1.5kW/2kW | |
치수 | 500mm x 450mm x 450mm | |
무게 | 30kg |
참고:
1. 1/2/3의 표적을 가진 플라즈마 거퍼터 코터가 있습니다.
2.수랭식 대상, 회전 기질은 선택사양입니다
3.가열 기질을 사용할 수 있습니다
단일 표적 플라즈마 거터 코터
이중 타겟 플라즈마 거터 코터
3중 타겟 플라즈마 거터 코터
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 전문적인 실험실 기기 제조업체로서, 자체 설계 팀과 공장을 보유하고 있으며, 성숙한 기술 경험을 가지고 있으며, 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체