• Magnetron Target 및 진동 테이블이 있는 실험실 트리플 타겟 코터 비메탈릭 및 메탈릭 필름용
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Magnetron Target 및 진동 테이블이 있는 실험실 트리플 타겟 코터 비메탈릭 및 메탈릭 필름용

판매 후 서비스: 12개월
보증: 12개월
유형: 코팅 생산 라인
코팅: 진공 코팅
기판: 강철
인증: CE

공급 업체에 문의

골드 멤버 이후 2023

비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체

Henan, 중국
확인된 강도 라벨(15)을 모두 보려면 하세요.
  • 개요
  • 상세 사진
  • 회사 프로필
  • FAQ
개요

기본 정보

모델 번호.
TN-MSH300S-DCDCRF
조건
새로운
냉각 모드
물 냉각
온도 상승
최대 500ºc
회전 속도
1-20rpm 조절 가능
기판 크기
직경 185mm
진공 챔버
스테인리스 스틸
Magnetron Sputtering Target Head
3 Magnetron Sputtering Heads
샘플 스테이지 크기
Maximum 4" Substrate Can Be Placed
회전 속도
1-20 Rpm (Adjustable)
최고 난방 온도
500ºc
온도 제어 정확도
+/- 1.0 °c
가스 흐름 컨트롤러
2 Mass Flow Meters Installed Inside The Instrument
진공 펌프
a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
냉각 시스템
16L/min
운송 패키지
Fumigated Wooden Box
사양
1090mm*900mm*1250mm
등록상표
TN
원산지
중국
세관코드
8486209000
생산 능력
200/Month

제품 설명

 Magnetron Target 및 진동 테이블이 있는 실험실 트리플 타겟 코터
비메탈릭 및 메탈릭 필름용

 

개요 - 소개
세 개의 타겟 자그네론 스퍼터링 코팅 장비는 표준화, 모듈화, 맞춤화의 특성을 가진 우리 회사가 독자적으로 개발한 비용 효율적인 자그네론 스퍼터링 코팅 장비입니다.

이 장비는 단일 레이어 또는 다층 퍼로전기 필름, 전도성 필름, 합금막, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광막, 산화막, 하드필름, 폴리테트라플루오로에틸렌 필름, 등

DC 전원 공급 장치는 금속 필름을 준비하는 데 사용할 수 있고, RF 전원 공급 장치는 비금속 필름을 준비하는 데 사용할 수 있으며, 세 개의 타겟은 다중 층 또는 다중 코팅의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 유사한 장비와 비교했을 때 3개의 대상이 되는 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 널리 사용될 뿐만 아니라 작은 볼륨과 간편한 작동의 이점도 있습니다. 실험실에서 재료 필름을 준비하는 데 이상적인 장비입니다.

 기술 매개변수
세 개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅 머신 (DC 전원 공급 + RF 전원 공급)
샘플
테이블
스퍼터링 모드 위쪽으로 스퍼터링, 샘플 단계는 위에 있습니다
스퍼터링 타겟;
중앙 상단 설정 샘플 홀더, 셔터 1개
샘플 홀더 φ150mm
컨트롤 정확도 ±1ºC
난방 범위 실내 온도 ~500ºC
조절 가능한 속도 1-20rpm 조절 가능
대상 베이스 거리
조절 가능
 표적과 기질 사이의 거리는 일 수 있습니다 전기적으로 조정됨
 
 
마그네트론
표적 총
대상 평면 원형 평면 대상
퍼터링 진공 10Pa ~ 0.2Pa
타겟 직경 50 ~ 50.8mm
대상 두께 2 ~ 5mm
참고: 표적이 자기 물질인 경우(예: Fe, Co, Ni) 두께가 1.5mm 이상일 수 없으며 강한 자기 스퍼터링 건이 필요합니다.  
추가 요금이 필요합니다.
절연 전압 2000V 이상
수량 2 인치 * 3; 각 건마다 셔터가 있습니다
케이블 사양 SL-16
목표 머리 온도 65°C 이하
 
진공
 챔버
내벽 치료 전해 광택
챔버 크기 φ325mm * 500mm
챔버 재료 304 스테인리스 스틸
관찰 창 석영 창문, 직경, 직경, 100mm(셔터 포함
열기 방법 상단 개구부, 실린더 보조 지지대
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
가스 제어 시스템
흐름 제어 단방향 질량 유량계:
산소: 0  ~ 100SCCM 또는 범위
아르곤 가스 : 0 ~ 200SCCM 또는
질소: 0 ~ 500SCCM 범위
(참고: 산소가 없는 환경을 더 높은 상태로 유지하기 위해 진공 상태가 필요합니다
챔버는 고순도 불활성 가스로 3 번 이상 청소해야 합니다.)
가스 종류 아르곤, 질소, 산소 및 기타 불활성 가스
제어 밸브 유형 솔레노이드 밸브
제어 밸브 정적 상태 보통 닫혀요
 선형성 측정 ± 1.5% F.S
측정  반복성 ± 0.2% F.S
 응답 시간 측정 ≤ 8초(T95)
작동 압력 범위 0.3MPa
밸브 본체 압력 3MPa
작동 온도 (5 ~ 45) ºC
바디 재질 스테인리스 스틸 316L
밸브 본체 누출 비율 1 × 10 - 8Pa m3/s
파이프 조인트 압축력 조정 중 1/4이(가) 실패했습니다
입력 및 출력 신호 0 ~ 5V
전원 공급 장치 ±15V(±5%)(+15V 50mA,    -15V 200mA)
전체 치수(mm) 130(폭) × 102(높이) × 28(두께)
통신 인터페이스 RS485 MODBUS 프로토콜
DC 전원 공급 장치 전원 공급 장치 500W
출력 전압 0 ~ 600V
최대 출력 전류 1A
타이밍 길이 65000 S
시작 시간 10 S
수량 2세트
RF 전력
공급
전원 공급 장치 500W
전원 출력 범위 0W-500W, 자동 일치
최대 반사 출력 100W
RF 주파수 13.56MHz +/- 0.005% 안정성
파워 안정성 5W 이하
조화 부품  50dbc 미만
수량 1세트
상세 사진

Lab Triple Target Coater with Magnetron Target and Vibration Table for Non-Metallic and Metallic FilmsLab Triple Target Coater with Magnetron Target and Vibration Table for Non-Metallic and Metallic FilmsLab Triple Target Coater with Magnetron Target and Vibration Table for Non-Metallic and Metallic Films

회사 프로필

 

Lab Triple Target Coater with Magnetron Target and Vibration Table for Non-Metallic and Metallic FilmsLab Triple Target Coater with Magnetron Target and Vibration Table for Non-Metallic and Metallic FilmsLab Triple Target Coater with Magnetron Target and Vibration Table for Non-Metallic and Metallic FilmsLab Triple Target Coater with Magnetron Target and Vibration Table for Non-Metallic and Metallic FilmsLab Triple Target Coater with Magnetron Target and Vibration Table for Non-Metallic and Metallic FilmsLab Triple Target Coater with Magnetron Target and Vibration Table for Non-Metallic and Metallic FilmsLab Triple Target Coater with Magnetron Target and Vibration Table for Non-Metallic and Metallic Films
FAQ

Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?

A.  당사는 전문적인 실험실 기기 제조업체로서, 자체 설계 팀과 공장에서 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.

Q. 귀사의 제품 애프터 서비스 시스템은 어떻게 됩니까?

A.  제품 보증 기간은 12개월이며, 평생 유지 보수를 제공할 수 있습니다. 당사는 기술적 문제를 해결하기 위해 24시간 내에 대응할 수 있는 전문적인 사전 판매 및 애프터세일즈 부서를 보유하고 있습니다.

Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?

A.1. 상품이 재고로 있다면 5-10일입니다. 2.고객에게 맞춤형 서비스를 제공할 수 있습니다. 사용자 지정 기기의 사양에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.

Q. 우리 나라의 전원 공급 장치와 플러그는 다릅니다. 어떻게 해결합니까?

A. 다른 국가의 전원 플러그에 따라 현지 요구 사항에 따라 변압기와 플러그를 공급할 수 있습니다.

Q. 결제 방법

A.T., L/C, D/P 등, 중국 내 무료 무역 보증서를 사용하는 것이 좋습니다.

Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?

A.1. 표준 수출 포만화 표지판 나무 상자 포장 2. 고객의 요구 사항에 따라 익스프레스, 에어, 해상 배송 중에서 가장 적합한 방법을 찾아 보십시오.



 세계 제의를 위한 노력에 감사 드립니다!
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Evaporation Coater; Film Coater
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