판매 후 서비스: | 12개월 |
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보증: | 12개월 |
유형: | 코팅 생산 라인 |
코팅: | 진공 코팅 |
기판: | 강철 |
인증: | CE |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
세 개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅 머신 (DC 전원 공급 + RF 전원 공급) | ||
샘플 테이블 |
스퍼터링 모드 | 위쪽으로 스퍼터링, 샘플 단계는 위에 있습니다 스퍼터링 타겟; 중앙 상단 설정 샘플 홀더, 셔터 1개 |
샘플 홀더 | φ150mm | |
컨트롤 정확도 | ±1ºC | |
난방 범위 | 실내 온도 ~500ºC | |
조절 가능한 속도 | 1-20rpm 조절 가능 | |
대상 베이스 거리 조절 가능 |
표적과 기질 사이의 거리는 일 수 있습니다 전기적으로 조정됨 | |
마그네트론 표적 총 |
대상 평면 | 원형 평면 대상 |
퍼터링 진공 | 10Pa ~ 0.2Pa | |
타겟 직경 | 50 ~ 50.8mm | |
대상 두께 | 2 ~ 5mm 참고: 표적이 자기 물질인 경우(예: Fe, Co, Ni) 두께가 1.5mm 이상일 수 없으며 강한 자기 스퍼터링 건이 필요합니다. 추가 요금이 필요합니다. |
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절연 전압 | 2000V 이상 | |
수량 | 2 인치 * 3; 각 건마다 셔터가 있습니다 | |
케이블 사양 | SL-16 | |
목표 머리 온도 | 65°C 이하 | |
진공 챔버 |
내벽 치료 | 전해 광택 |
챔버 크기 | φ325mm * 500mm | |
챔버 재료 | 304 스테인리스 스틸 | |
관찰 창 | 석영 창문, 직경, 직경, 100mm(셔터 포함 | |
열기 방법 | 상단 개구부, 실린더 보조 지지대 | |
가스 제어 시스템 |
흐름 제어 | 단방향 질량 유량계: 산소: 0 ~ 100SCCM 또는 범위 아르곤 가스 : 0 ~ 200SCCM 또는 질소: 0 ~ 500SCCM 범위 (참고: 산소가 없는 환경을 더 높은 상태로 유지하기 위해 진공 상태가 필요합니다 챔버는 고순도 불활성 가스로 3 번 이상 청소해야 합니다.) |
가스 종류 | 아르곤, 질소, 산소 및 기타 불활성 가스 | |
제어 밸브 유형 | 솔레노이드 밸브 | |
제어 밸브 정적 상태 | 보통 닫혀요 | |
선형성 측정 | ± 1.5% F.S | |
측정 반복성 | ± 0.2% F.S | |
응답 시간 측정 | ≤ 8초(T95) | |
작동 압력 범위 | 0.3MPa | |
밸브 본체 압력 | 3MPa | |
작동 온도 | (5 ~ 45) ºC | |
바디 재질 | 스테인리스 스틸 316L | |
밸브 본체 누출 비율 | 1 × 10 - 8Pa m3/s | |
파이프 조인트 | 압축력 조정 중 1/4이(가) 실패했습니다 | |
입력 및 출력 신호 | 0 ~ 5V | |
전원 공급 장치 | ±15V(±5%)(+15V 50mA, -15V 200mA) | |
전체 치수(mm) | 130(폭) × 102(높이) × 28(두께) | |
통신 인터페이스 | RS485 MODBUS 프로토콜 | |
DC 전원 공급 장치 | 전원 공급 장치 | 500W |
출력 전압 | 0 ~ 600V | |
최대 출력 전류 | 1A | |
타이밍 길이 | 65000 S | |
시작 시간 | 10 S | |
수량 | 2세트 | |
RF 전력 공급 |
전원 공급 장치 | 500W |
전원 출력 범위 | 0W-500W, 자동 일치 | |
최대 반사 출력 | 100W | |
RF 주파수 | 13.56MHz +/- 0.005% 안정성 | |
파워 안정성 | 5W 이하 | |
조화 부품 | 50dbc 미만 | |
수량 | 1세트 |
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 전문적인 실험실 기기 제조업체로서, 자체 설계 팀과 공장에서 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.
Q. 귀사의 제품 애프터 서비스 시스템은 어떻게 됩니까?
A. 제품 보증 기간은 12개월이며, 평생 유지 보수를 제공할 수 있습니다. 당사는 기술적 문제를 해결하기 위해 24시간 내에 대응할 수 있는 전문적인 사전 판매 및 애프터세일즈 부서를 보유하고 있습니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
A.1. 상품이 재고로 있다면 5-10일입니다. 2.고객에게 맞춤형 서비스를 제공할 수 있습니다. 사용자 지정 기기의 사양에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 우리 나라의 전원 공급 장치와 플러그는 다릅니다. 어떻게 해결합니까?
A. 다른 국가의 전원 플러그에 따라 현지 요구 사항에 따라 변압기와 플러그를 공급할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A.T., L/C, D/P 등, 중국 내 무료 무역 보증서를 사용하는 것이 좋습니다.
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A.1. 표준 수출 포만화 표지판 나무 상자 포장 2. 고객의 요구 사항에 따라 익스프레스, 에어, 해상 배송 중에서 가장 적합한 방법을 찾아 보십시오.
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