비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
감사를 받은 공급업체 Vinyl용 Lab Magnetron 배수구 코터 With1500W DC 전원 공급 장치 니켈 코팅
마그네트론 스퍼터링: 개요
퍼터링(Sputtering)은 에너지 넘치는 이온이 표적을 향해 가속되는 플라즈마 기반 증착 과정입니다. 이온이 표적에 부딪침하고 원자가 표면에서 배출됩니다(또는 침을 뱉습니다). 이 원자는 기질 쪽으로 이동해서 성장하는 필름에 통합됩니다.
단일 표적 DC 마그네트론 스퍼터링 코터 장비는 우리 회사가 독자적으로 연구하고 개발한 비용 효율적인 마그네론 스퍼터링 코팅 장비입니다. 표준화, 모듈화, 맞춤화의 특징이 있습니다. 마그네트론 타깃은 1인치, 2인치, 3인치에서 선택할 수 있으며, 고객은 도금 기판 크기에 따라 선택할 수 있습니다. 전원 공급 장치는 1500W의 고전력 DC 전원 공급 장치로 고에너지 금속 스퍼터링 코팅에 사용할 수 있습니다. 실험 요건에 따라, 다양한 물질의 코팅 작업을 위해 다른 사양의 DC 또는 RF 전원 공급 장치를 선택할 수도 있습니다.
마그네트론 거터 코터 사양:
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단일 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터 |
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샘플 테이블 |
전체 치수 |
Φ 360mm |
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RPM 조절 가능 |
1-20rpm 조절 가능 |
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대상 |
대상 평면 |
원형 평면 대상 |
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퍼터링 진공 |
0.3Pa |
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타겟 직경 |
100 ~ 101.6mm |
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대상 두께 |
3mm |
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절연 전압 |
2000V 이상 |
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케이블 사양 |
SL-16 |
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목표 머리 온도 |
65°C 미만 |
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진공 챔버 |
내벽 치료 |
전해 광택 |
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캐비티 크기 |
안테나 500mm x 500mm |
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캐비티 재질 |
304 스테인리스 스틸 |
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보기 창 |
석영 창문, φ100mm 직경 |
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열기 방법 |
사이드 오프닝 |
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가스 제어 |
흐름 제어 |
질량 유량계, 측정 범위 0 ~ 100SCCM |
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가스 종류 |
아르곤, 질소, 산소 및 기타 가스를 사용할 수 있습니다 |
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레귤레이터 밸브 유형 |
솔레노이드 레귤레이터 |
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레귤레이터 밸브의 정적 상태 |
보통 닫기 |
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선형성 측정 |
1.5% 이상 F.S |
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측정 반복 정확도 |
0.2% 이상의 F.S |
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응답 시간을 측정합니다 |
≤ 8초(T95) |
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작동 압력 |
0.3MPa |
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내압 본체 |
3MPa |
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작동 주변 온도 |
(5 ~ 45) ºC |
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바디 재질 |
스테인리스 스틸 316L |
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차체 누출 비율 |
1 × 10 - 8Pa m3/s |
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파이프 이음쇠 |
1/4인치 잭으로 덮인 조인트 |
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입/출력 신호 |
0 ~ 5V |
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전원 공급 장치 |
±15V(±5%)(+15V 50mA, -15V 200mA) |
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전체 치수 mm |
130(W) x 102(H) x 28(H) |
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통신 인터페이스 |
RS485 MODBUS 프로토콜 |
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DC 전원 공급 장치 |
전원 공급 장치 |
1500W |
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필름 두께 측정 |
전원 요구 사항 |
DC: 5V(±10%) 최대 전류 400mA |
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해상도 |
±0.03Hz(5-6MHz), 0.0136A/측정(알루미늄) |
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측정 정확도 |
± 0.5% 두께 + 1 카운트 |
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측정 주기 |
100ms~1S/시간(설정 가능) |
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측정 범위 |
500,000A(알루미늄) |
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크리스털 주파수 |
6MHz |
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통신 인터페이스 |
RS-232/485 직렬 인터페이스 |
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표시 비트 |
8비트 LED 디스플레이 |
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분자 펌프 |
분자 펌핑 속도 |
1200L/S |
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정격 속도 |
24,000rpm |
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진동 값 |
0.1 um 미만 |
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시작 시간 |
5분 |
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가동 중지 시간 |
7분 |
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냉각 방법 |
수냉 + 공기 냉각 |
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냉각수 온도 |
37ºC |
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냉각수 유량 |
1L/min |
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장착 방향 |
수직 ±5. |
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공기 추출 인터페이스 |
150CF |
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배기 포트 |
KF40 |
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프론트 펌프 |
펌핑 속도 |
VRD-16 |
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최고의 진공 청소기 |
1Pa |
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전원 공급 장치 |
AC: 220V/50Hz |
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모터 전원 |
400W |
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소음 |
56db 미만 |
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공기 추출 인터페이스 |
KF40 |
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배기 포트 |
KF25 |
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밸브 |
게이트 밸브 |
게이트 밸브는 진공 사이에 배치됩니다 챔버 및 분자 펌프 |
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차단 밸브 |
차단 밸브는 사이에 장착됩니다 분자 펌프와 전단계 |
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측면 배출 밸브 |
측면 배출 밸브는 사이에 장착되어 있습니다 진공 챔버 및 프론트 스테이지 |
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블리더 밸브 |
전자기 블리더 밸브가 설치되어 있습니다 진공 챔버 |
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전체 기계의 궁극적 진공 |
5x10-4Pa 미만 |
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테스트 대상 |
직경 4인치 및 에 니켈이 1개 목표 3mm 두께 |
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1.우리는 마그네트론 스퍼터링 코터를 1 타겟, 2 타겟, 3 타겟, 4 타겟 등과 함께 가지고 있습니다. 타겟은 챔버의 상단 또는 하단에 설계할 수 있습니다.
2.0-1000W DC 또는 RF 전원 대상이 사용 가능합니다. 바이어스 기능은 선택 사항입니다
3.대상 크기: 1인치, 2인치, 3인치, 4인치 등
강한 자기 표적과 강한 자석을 사용하는 표적은 선택 사항입니다
5.증발과 함께 마그네트론 스퍼터링 코터, E-빔을 사용할 수 있습니다
6.맞춤형 서비스는 항상 이용 가능합니다!
우리는 육지, 바다, 공기, 급기로 마그네론 거퍼터 코터를 배송할 수 있으며, 또한 당신의 요구사항에 따라 포장과 배송을 준비할 수 있습니다.
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 실험실 기기의 전문 제조업체이며, 품질 및 판매 후 서비스를 약속할 수 있는 전문 R&D 팀과 워크샵이 있습니다.
Q. 보증 기간은 어떻게 됩니까?
A. 보증 기간은 12개월이며 , 평생 유지 보수를 제공합니다. 24시간 온라인 서비스를 제공합니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
a. 5-10일--- 매장 내. Customzied 제품 -- 사용자의 요구 사항에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 전원 공급 장치 및 플러그?
A. 현지 전압 및 플러그 표준에 맞는 제품을 제공할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A. T T, L/C, D/P 등
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A. 표준 수출 상품 포장 또는 요구 사항으로 포장 포장.
마자네트론이 작업에 적합한 과정을 거침합니까?
연락하시면 귀하의 프로젝트에 대해 협업할 수 있습니다.
어떻게 하면 목표를 달성할 수 있을까요? 당사의 엔지니어링 팀이 극복하는데 어떤 기술적 장애물을 극복할 수 있을까요? '터치 사용' 버튼을 눌러 연락주세요. 귀하의 연구에 대해 듣고 저희가 어떤 방법으로든 도움을 드릴 수 있게 되어 기쁩니다.
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
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