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CY-600-2HD는 이중 2" 타겟 소스를 가진 컴팩트 마그네트론 스퍼터링 시스템입니다. 금속 필름 코팅용 DC 소스 및 비금속 재질 코팅용 기타 RF 소스. 이 코팅 시스템은 합금, 페로전기, 반도체, 세라믹 등의 필름 코팅과 같은 단일 또는 다중 필름 층 모두에 코팅되도록 설계되었습니다.
| 입력 전원 | 1.220VAC 50 / 60Hz, 단상 2.2000W ( 펌프 포함) |
| 소스 전원 | 1. 두 개의 스퍼터링 전원이 하나의 제어 박스에 통합되어 있습니다 |
| 2.DC 소스: 금속 코팅 재료용 500W | |
| 3.RF 소스: 비금속 재질 코팅용 자동 도료 장착 600W ( 중앙) | |
| 4.Compact 300 RF 소스는 추가 비용으로 제공됩니다 | |
| 마그네론 퍼터링 헤드 | 1.2" 마그네론 퍼터링 헤드 워터 쿨링 자켓이 있습니다 포함 한 개는 비전도성 물질에 대한 RF 전원 공급 장치에 연결되어 있습니다 또 다른 하나는 코팅을 위해 DC 스퍼터링 전원에 연결되어 있습니다 금속 재질 |
| 대상 크기 요구 사항: 2" 직경 | |
| 3.두께 범위: 금속 및 비전도성 표적에 대해 0.1 - 5mm | |
| 스테인리스 스틸 하나와 Al2O3 세라믹 타겟 하나가 포함되어 있습니다 데모 테스트용 | |
| 수냉이: 10ml/min 의 물 흐름이 필요하며 디지털 방식으로 16ml/min 한 개 제어 재순환 냉각수 냉각기는 양쪽 마그네트론을 냉각하기 위해 포함되어 있습니다 퍼터링 헤드 |
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| 맞춤형 코터: DC 헤드 2개(RF 스퍼터링 없음), RF 헤드 없음 요청 시 DC 스퍼링, 3개의 RF 헤드를 사용할 수 있습니다 |
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| 진공 챔버 | 1.진공 챔버: 300mm 지름 x 300mm 높이, 스테인리스 스틸로 제작 |
| 관찰 창: 직경 100mm | |
| 시료 홀더 | 1.샘플 홀더 크기: 직경 140mm 최대 4" 웨이퍼 |
| 2.시료 홀더 회전 속도는 조절 가능합니다. 1-20rpm으로 코팅이 균일합니다 | |
| 3.홀더 온도는 RT 에서 500°C 로 최대 조절할 수 있습니다 있습니다 정확도 +/- 1.0 °C |
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| 가스 흐름 제어 | 1.유량 : 200ml /min 최대 |
| 2.유속도는 6" 터치 스크린 컨트롤에서 조절할 수 있습니다 패널 | |
| 진공 펌프 스테이션 | 고속 터보 진공 펌프 시스템은 에 직접 장착되어 있습니다 진공 최대 진공 레벨을 위한 챔버 |
| 중부하 작업용 2 단 기계식 펌프가 터보에 연결되어 있습니다 더 빠른 펌프 펌프 속도 |
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| 이동식 펌프 스테이션이 포함되어 있고, 작은 스퍼터링 코터가 포함되어 있습니다 할 수 있습니다 역 꼭대기 |
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| 최대 진공 레벨: 챔버 베이킹 토르 10^-6 | |
| 두께 모니터 | 챔버에 정밀 석영 두께 센서 1 개가 내장되어 있습니다 코팅을 모니터링하려면 두께(정확도 0.10 Å |
| 챔버 외부의 LED 디스플레이 장치는 다음과 같은 기능을 수행합니다. | |
| 포함된 데이터베이스에 따라 코팅할 입력 재료 | |
| 코팅 전체 두께 및 코팅 속도를 표시합니다 | |
| 5개 석영 센서 (소모품 )가 포함되어 있습니다 | |
| 수냉이 필요합니다 | |
| 전체 치수 | L6600mm × W660mm × H1200mm |
| 응용 노트 | 챔버에서 산소를 제거하려면 5% Hytrogen + 95 %를 사용하는 것이 좋습니다 클랜 챔버에 질소를 2-3 배 더 공급하면 산소가 10ppm 이하로 감소할 수 있습니다 |
| 플라즈마 스퍼터링 시 5N 순도 아르곤 가스를 사용하십시오. 5N 순도 AR이 있더라도 일반적으로 산소 및 H2O가 10-100ppm으로 포함되어 있습니다 | |
| 순 중량 | 160kg |
| 보증 | 1년 제한 보증 및 평생 지원 |
참고:
1. 우리는 마자네론 스퍼터링 코터를 1 타겟, 2 타겟, 3 타겟, 타겟 챔버 상단 또는 하단에 설계할 수 있습니다.
DC 전원 또는 RF 전원 대상이 있습니다
3.다른 타겟 재질은 선택 사항입니다
강한 자기 표적과 영구 자기 표적은 선택 사항입니다
증발 원과의 마그네트론 스퍼터링 코터를 사용할 수 있습니다
6.맞춤형 서비스는 항상 이용 가능합니다!
DC 전력으로 코터를 타내는 단일 타겟 마그네트론 RF 파워로 코터를 내는 단일 타겟 마그네트론 스파터링
책상 밑에는 한쪽이 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터가 하나 있습니다
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 전문적인 실험실 기기 제조업체로서, 자체 설계 팀과 공장에서 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.
Q. 귀사의 제품 애프터 서비스 시스템은 어떻게 됩니까?
A. 제품 보증 기간은 12개월이며, 평생 유지 보수를 제공할 수 있습니다. 당사는 기술적 문제를 해결하기 위해 24시간 내에 대응할 수 있는 전문적인 사전 판매 및 애프터세일즈 부서를 보유하고 있습니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
A.1. 상품이 재고로 있다면 5-10일입니다. 2.고객에게 맞춤형 서비스를 제공할 수 있습니다. 사용자 지정 기기의 사양에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 우리 나라의 전원 공급 장치와 플러그는 다릅니다. 어떻게 해결합니까?
A. 다른 국가의 전원 플러그에 따라 현지 요구 사항에 따라 변압기와 플러그를 공급할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A.T., L/C, D/P 등, 중국 무역 보증에서 사용하는 것이 좋습니다.
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A.1. 표준 수출 포만화 표지판 나무 상자 포장 2. 고객의 요구 사항에 따라 익스프레스, 에어, 해상 배송 중에서 가장 적합한 방법을 찾아 보십시오.
더 많은 질문이 있으시면 저희에게 문의해 주십시오.
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