비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
감사를 받은 공급업체 핫 음극 직류 플라즈마 화학 증기 증착 장비(DCCVD)는 기존의 콜드 음극 광선 방전을 기반으로 개발되었으며, 주로 다이아몬드 단일 결정 또는 다결정 필름의 증착 및 증식 용도로 사용됩니다.
뜨거운 음극 직류 플라즈마 화학 증기 침착 장비의 글로우 방전이 음극의 축을 따라 양극에 대한 네 개의 영역으로 나눌 수 있습니다. 음극 글로우 레이어, 패러데이 다크 존, 포지티브 컬럼 글로우 플라즈마 볼 및 양극 글로우 레이어입니다. 그 중에서도 음극선광층은 음극과 가까운 얇은 발광 층이며, 음극에서 큰 파동이 방출되어 광선 방출 과정에서 중요한 역할을 합니다. 패러데이의 어두운 영역은 음극과 양의 컬럼 영역 사이의 전이 영역입니다. 전자가 음극 영역에서 충돌하여 에너지가 손실되고, 느린 전자는 이온화와 가진을 일으키기에 충분하지 않으므로 빛을 방출하지 않는 어두운 영역을 표시합니다. 양극 컬럼 영역의 글로우 플라즈마 볼은 글로우 방전(글로우 방전)의 가장 분명한 위치에 있으며, 그 너비는 음극(Cathode)에 관한 것입니다. 양극 간격은 약 4/5이며, 양극 및 음극 간격의 변화에 따라 길이가 변합니다. 밝은 양의 컬럼 영역과 비교했을 때 양극 광층에서 약간 어두운 빛이 방출됩니다.
고온 음극, 높은 가스 압력 및 높은 전류 밀도는 기존의 냉음극 예열 방출과 다른 고온 음극 예열 방출의 기본 특성입니다. 방전 중에는 전극 간에 광선 세기, 색상 및 밝기가 분포되어 있으며, 이 분포는 4개의 뚜렷한 영역으로 나뉩니다. 광선 방출은 전체 음극 표면을 덮고 방전 전류가 증가하면 배출 전압이 증가합니다. 음극 전자 방출은 열 방출 및 γ 프로세스에 결합되며 두 사이의 바이어스 정도는 주로 음극 온도에 의해 결정됩니다. 음극강하존은 광방출의 필수 부분인 광선을 유지하는 것입니다. 이 영역의 두께는 매우 얇으며 , 높은 잠재적 강하도 있습니다. 따라서 이 영역의 자기장 강도가 매우 높고 , 큰 파장을 생성합니다. 뜨거운 음극 광선 방출의 전류 밀도는 차가운 음극 광선 방출보다 훨씬 큽니다.
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eposition chamber(epos |
스테인리스 강 수냉식 레이어 |
전극 크기에 따라 적절한 캐비티 크기를 설계합니다 캐비티 사이에 배출이 없는지 확인합니다 벽면과 전극 |
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캐비티 웨이 열기 |
구멍을 들어올려 캐비티를 열거나 앞쪽의 문을 열어 로프트와 청소에 편리합니다 |
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관찰 창 |
음극, 양극 및 침전 테이블을 관찰할 수 있도록 여러 개의 관찰 창을 설정합니다 |
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진공 시스템 |
진공 펌프 |
진공은 기계식 펌프에 의해 펌핑되며 분자 펌프를 구성할 필요가 없습니다 |
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최고의 진공 청소기 |
0.1 ~ 1Pa |
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펌프 다운 시간 |
5 ~ 15분 |
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환기 설정 |
펌핑 균일성을 보장합니다 |
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공기 압력 조정 범위 |
0.1Pa~30KPa |
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밸브를 분리하십시오 |
대기로 복구할 수 있습니다 |
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진공 게이지 |
고정밀 진공 게이지는 의 압력 값을 정확하게 측정합니다 캐비티 |
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가스 분배 시스템 |
에어 소스 구성 |
수소, 메탄, 질소, 아르곤, 산소의 가스 공급원 5곳 백업용으로 예약된 추가 1개 포함 |
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가스 흐름 제어 |
볼륨 흐름은 MFC에 의해 제어되며 , 적당한 범위의 유량계가 캐비티 크기에 따라 선택됩니다. 유량 크기가 다르면 압력 상승 시간에 영향을 미칩니다. 일반적으로 수소:메탄: 질소:아르곤:산소의 유량은 40:1:1:40:1입니다 |
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흡기 설정 |
공기 흡입구 균일성을 보장하는 적절한 공기 흡입구 설정 |
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수냉 시스템 |
물 냉각기 전원 |
냉각기의 냉각력과 수두는 장비의 열 발생과 냉각수 유량과 일치해야 하며 , 온도는 일반적으로 약 20°C로 설정된 상태에서 조절해야 합니다 |
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밸브 |
침착 챔버, 음극 및 양극은 모두 냉각되어야 하며 , 수분 분리기는 설치되어야 하며, 수동 밸브는 워터 분리기의 각 분기의 입구와 출구에 설정되어 있습니다. |
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작동 온도 |
양극 작동 온도는 600-1100ºC이고 음극 작동 온도는 700-1100ºC입니다 |
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파워 |
작동 전압 |
600 ~ 1200V, 출력 전압 조절 가능 |
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작동 전류 |
6 ~ 15A |
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제어 시스템 |
가스 유량 제어; 전극 리프팅 제어, 음극과 양극 거리의 실시간 표시, 제어 정확도 1mm 음극, 양극 및 기질 온도의 모니터링 및 표시 공기 압력 등 일부 기능은 수동으로 조정할 수 있습니다. 오작동을 방지하기 위한 고장 알람 |
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전극 |
양극 직경은 60mm이고, 소재는 구리입니다 2) 음극의 직경은 80100mm, 그리고 그 재질은 몰리브덴입니다. 장기간 사용 후 탄소는 음극의 표면에 쉽게 침전되고 배출은 불안정합니다. 따라서 교체 가능한 구조로 설계되어야 합니다. 음극과 양극 사이의 거리를 조정할 수 있고 범위는 10 ~ 60mm이며 , 거리는 실시간으로 표시되고 조정 정확도는 1mm입니다. 4) 음극과 양극의 가장자리를 둥글게 하여 가장자리 방전을 방지할 수 있습니다. 양극이 음파적으로 치우쳐 있고 바이어스 전압 범위는 0 ~ 400V입니다. 전극 가장자리가 절연되어 가장자리 방전을 방지합니다. |
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Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 전문 실험실 기기 제조업체이며 자체 설계 팀과 공장을 보유하고 있으며, 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며, 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.
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