RF 전원 공급 장치가 있는 데스크탑 단일 대상 마그넷론 코레이터

• 판매 후 서비스: 12개월
• 보증: 12개월
• 유형: 코팅 생산 라인
• 코팅: 진공 코팅
• 기판: 강철
• 인증: CE
• 모델 번호.: TN-MSZ180-I-RF-SS
• 조건: 새로운
• 냉각 모드: 물 냉각
• 온도 상승: 최대 500ºc
• 회전 속도: 1-20rpm 조절 가능
• 기판 크기: 직경 185mm
• 진공 챔버: 스테인리스 스틸
• Magnetron Sputtering Target Head: 1 Magnetron Sputtering Heads
• 샘플 스테이지 크기: 100mm
• 회전 속도: 1-20 Rpm (Adjustable)
• 최고 난방 온도: 500ºc
• 온도 제어 정확도: +/- 1.0 °c
• 뱅크 용량: 9L
• 진공 펌프: a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
• 냉각 시스템: 10L/min
• 운송 패키지: Fumigated Wooden Box
• 사양: 550*350*400
• 등록상표: TN
• 원산지: 중국
• 세관코드: 8486209000
• 생산 능력: 200/Month

제품 설명

RF 전원 공급 장치가 있는 데스크탑 단일 대상 마그넷론 코터

제품 설명

이 장비는 데스크톱 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터이며 금속 필름 준비에 사용할 수 있으며 전자 필드, 광시야, 특수 세라믹 준비 분야에도 사용할 수 있습니다. 실험실에서 SEM 샘플 준비에 사용할 수 있습니다. 이 모델에는 RF 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 비금속 또는 기타 비전도성 물질의 코팅에 특히 적합합니다.  

이 세팅에는 진공 스테인리스 강 캐비티가 장착되어 있고, 실험의 관찰 및 기록을 쉽게 할 수 있는 석영 관찰 윈도우 배플이 설치되어 있습니다. 진공 성능이 뛰어나고 모양이 작은 캐비티 설계로 실험실용으로 매우 적합합니다. 동시에 이 장비에는 회전 가열 샘플 테이블이 장착되어 있어 필름 균일성과 필름 품질을 효과적으로 개선할 수 있습니다. 이 장비는 모듈식 설계, 간단한 작동 논리, 직관적인 작동 인터페이스, 손쉬운 시동에 사용됩니다.

제품 매개변수

제품 이름	RF 전원 공급 장치가 있는 데스크탑 단일 대상 마그넷론 코터
제품 모델	TN-MSZ180-I-RF-SS
설치 조건	1, 작동 환경 온도: 25ºC ± 15ºC, 습도: 55% RH ± 10% RH; 2, 장비 전원 공급 장치: AC220V, 50Hz, 반드시 접지해야 함; 3, 정격 출력: 1500W; 4, 가스 장비: 장비 챔버는 청소를 위해 아르곤 가스로 채워야 합니다. 순도 99.99% 이상의 아르곤 가스를 준비해야 합니다. 5, 테이블 크기 요구 사항: 600mm × 600mm × 700mm, 베어링 용량 ≥ 80kg; 6, 위치는 통풍이 잘 되고 냉각되어야 합니다.
기술 지표	스퍼터링 전원 공급 장치: DC 전원 공급 장치 300W; 최대 출력 전압 600V, 제한된 전류 출력 500mA 마그네트론 타겟: 2인치 밸런스 타겟, 자기 커플링 배플; 적합한 대상 재료: 자재의 두께: 자재의 경우, 자재의 경우 직경: 자재의 경우 캐비티 크기: 바깥 지름194, 안쪽 지름 186mm x 높이 230mm 캐비티 재질: 304 스테인리스 강 가열 샘플 테이블 회전: 1~20rpm 의 회전 속도 연속 조절 가능; 최고 온도 500ºC, 최저 권장 온도 10ºC/min, 최고 권장 온도 20ºC/min 냉각 모드: 자기 표적과 분자 펌프에는 순환수가 필요합니다 쿨러 수냉식 기계: 탱크 용량 9L, 유량 10L/min 가스 공급 시스템: 질량 유량계, 가스 아르곤 유형, 유량 1 ~ 30scm(사용자 지정 가능) 유량계의 정확도: ±1.5% 측정 범위 진공실의 공기 펌핑 인터페이스는 KF25입니다 흡기 인터페이스는 1/4인치 이중 페룰 조인트임 터치 스크린은 7인치 컬러 터치 스크린입니다 조절 가능한 스퍼터링 전류, 스퍼터링 안전 전류 값 및 안전 진공 값을 설정할 수 있습니다.  안전 보호: 과전류, 진공이 너무 낮으면 자동으로 스퍼터링 전류가 차단됩니다 극한 진공: 5E-4Pa(매칭 분자 펌프); 진공 측정은 파라나 진공 게이지이고 범위는 1 ~ 105Pa 입니다
주의	1, Magnetron 스퍼터링 진공 청소기는 2Pa 내에 주로 고성능이 유지되기 때문에 분자 펌프와 함께 사용해야 합니다.   2 산소 공급이 많은 환경을 조성하려면 진공 챔버를 고순도 불활성 가스로 3회 이상 청소해야 합니다. 3, 마그네트론 스퍼터링(Magnetron Sputtering)은 흡기에 민감하므로 흡입 조절에 흡입 공기량 미터가 필요합니다
옵션 액세서리
필름 두께 모니터	1, 필름 두께 해상도: 0.0136Å(알루미늄) 2, 필름 두께의 정확도: ±0.5%, 특히 센서 위치, 재료 응력, 온도 및 밀도 등 공정 조건에 따라 달라집니다   3, 측정 속도: 100ms-1s/times, 측정 범위 설정 가능: 500000Å(알루미늄) 4, 표준 센서 크리스털: 6MHz 5, 웨이퍼 주파수에 적합: 6MHz 웨이퍼 크기에 적합: 중 14mm 장착 플랜지: CF35
다른 액세서리	1, CY-CZK103 시리즈 고성능 분자 펌프 세트(복합 진공 게이지, 측정 범위 10-5Pa~105Pa) CY-GZK60 시리즈 소형 분자 펌프 세트(복합 진공 게이지 포함, 측정 범위 10-5Pa~102Pa) VRD-4 양극 로터리 베인 진공 펌프 2, KF25 진공 벨로우즈; 길이는 0.5m, 1m 또는 1.5m가 될 수 있습니다. KF40 클램프 브래킷 3, 필름 두께 미터 크리스탈 오실레이터;

상세 사진

 

FAQ

Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?

A. 당사는 전문 실험실 기기 제조업체이며, 자체 설계 팀과 공장을 보유하고 있으며, 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며, 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.

Q. 귀사의 제품 애프터 서비스 시스템은 어떻게 됩니까?

A.  제품 보증 기간은 12개월이며, 평생 유지 보수를 제공할 수 있습니다. 당사는 기술적 문제를 해결하기 위해 24시간 내에 대응할 수 있는 전문적인 사전 판매 및 애프터세일즈 부서를 보유하고 있습니다.

Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?

A.1. 상품이 재고로 있다면 5-10일입니다. 2.고객에게 맞춤형 서비스를 제공할 수 있습니다. 사용자 지정 기기의 사양에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.

Q. 우리 나라의 전원 공급 장치와 플러그는 다릅니다. 어떻게 해결합니까?

A. 다른 국가의 전원 플러그에 따라 현지 요구 사항에 따라 변압기와 플러그를 공급할 수 있습니다.

Q. 결제 방법

A.T., L/C, D/P 등, 중국 내 무료 무역 보증서를 사용하는 것이 좋습니다.

Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?

A.1. 표준 수출 포만화 표지판 나무 상자 포장 2. 고객의 요구 사항에 따라 익스프레스, 에어, 해상 배송 중에서 가장 적합한 방법을 찾아 보십시오.

더 많은 질문이 있으시면 저희에게 문의해 주십시오.

 세계 제의를 위한 노력에 감사 드립니다!
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