N2/H2/O2/AR/He/NH3/CO2/클린 드라이 에어/사용 시점 7N-9N 정제 공장
99.9999999% 7N 크립톤 제논 네온 정제 장치
7N 불활성 가스 정제 시스템
7N 불활성 가스 정제 시스템은 두 가지 주요 요소인 가스 회로와 전자 제어로 구성됩니다. 가스 회로에는 고온 촉매 정제 장치, 다중 병렬 저온 촉매 정제 장치, 일련의 공압 밸브, 가스 파이프라인 및 열 교환기가 포함됩니다. 이 시스템은 고온 촉매 및 저온 흡착 기능을 결합하여 H2O, O2, CO, CO2, CH4, NMHC와 프로세스 가스에서 나온 H2 로 인해 10억 개당 5개(ppb) 미만으로 감소되었습니다. 0.003미크론의 여과 정밀도가 있는 입자 필터를 장착할 수 있습니다.
전자 제어 부품에는 PLC(Programmable Logic Controller), 온도 컨트롤러 및 터치 스크린이 포함됩니다. 이 부분은 정화, 재생 및 안전 알람 프로세스를 관리하여 정화 시스템이 지속적으로 안전하고 안정적으로 작동하도록 보장합니다.
유량 범위: 30-6,000 Nm³/시
불순물 수준: 출력 가스의 모든 불순물에 대해 5ppb 미만
메탄 제거: 불활성 가스에서 메탄을 제거할 수 있습니다
필터 옵션: 0.003미크론 필터로 구성할 수 있습니다
정제 탱크 재료: 316L 스테인리스 스틸
촉매 유닛: 고온 촉매 유닛 1개와 저온 흡착 유닛 여러 개. 초기 단계에서는 재생이 필요하지 않고, 이후 단계에서는 제자리에서 재생됩니다
작동: 완전 자동화 및 연속 가스 공급
제품 모델 |
7N-30-I |
7N-300-I |
7N-1000-I |
퓨어성 가스 |
N2, AR, He, XE, Ne, KR |
표준 유속 |
30Nm3/h, 40Nm3/h, 60Nm3/h,
100Nm3/h, 150Nm3/h, 200Nm3/h |
300Nm3/h, 400Nm3/h,
600Nm3/h, 800Nm3/h |
1000Nm3/h, 1500Nm3/h, 2000Nm3/h,
3000Nm3/h, 4000Nm3/h, 6000Nm3/h |
최대 압력 |
1.0 |
1.0 |
1.0 |
최대 압력 강하 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
입자 필터 |
1 |
해당 없음 |
해당 없음 |
불순물을 제거했습니다 |
H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4, NMHC |
정제 성능 |
5ppb 미만 |
9N 불활성 가스 정제 시스템
9N 불활성 가스 정제 시스템은 두 가지 주요 요소인 가스 회로와 전자 제어로 구성됩니다. 가스 회로에는 고온 촉매 정제 장치, 다중 병렬 저온 촉매 정제 장치, 일련의 공압 밸브, 가스 파이프라인 및 열 교환기가 포함됩니다. 이 시스템은 고온 촉매 및 저온 흡착 기능을 결합하여 H2O, O2, CO, CO2, CH4, NMHC와 프로세스 가스에서 나온 H2 로 인해 10억 개당 1개(ppb) 미만으로 감소되었습니다. 0.003미크론의 여과 정밀도가 있는 입자 필터를 장착할 수 있습니다.
전자 제어 부품에는 PLC(Programmable Logic Controller), 온도 컨트롤러 및 터치 스크린이 포함됩니다. 이 부분은 정화, 재생 및 안전 알람 프로세스를 관리하여 정화 시스템이 지속적으로 안전하고 안정적으로 작동하도록 보장합니다.
유량 범위: 30-6,000 Nm³/시
불순물 수준: 출력 가스의 모든 불순물에 대해 1ppb 미만
메탄 제거: 불활성 가스에서 메탄을 제거할 수 있습니다
필터 옵션: 0.003미크론 필터로 구성할 수 있습니다
정제 탱크 재료: 316L 스테인리스 스틸
촉매 유닛: 고온 촉매 유닛 1개와 저온 흡착 유닛 여러 개. 초기 단계에서는 재생이 필요하지 않고, 이후 단계에서는 제자리에서 재생됩니다
작동: 완전 자동화 및 연속 가스 공급
제품 모델 |
9N-30-I |
9N-300-I |
9N-1000-I |
퓨어성 가스 |
N2, AR, He, XE, Ne, KR |
표준 유속 |
30Nm3/h, 40Nm3/h, 60Nm3/h,
100Nm3/h, 150Nm3/h, 200Nm3/h |
300Nm3/h, 400Nm3/h,
600Nm3/h, 800Nm3/h |
1000Nm3/h, 1500Nm3/h, 2000Nm3/h,
3000Nm3/h, 4000Nm3/h, 6000Nm3/h |
최대 압력 |
1.0 |
1.0 |
1.0 |
최대 압력 강하 |
0.1 |
0.1 |
0.1 |
입자 필터 |
0.003 |
해당 없음 |
해당 없음 |
불순물을 제거했습니다 |
H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4, NMHC |
정제 성능 |
1ppb 미만 |




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