| 커스터마이징: | 사용 가능 |
|---|---|
| 응용 분야: | 항공우주공학, 자동차산업, 전자제품, 해병대, 의료 기기, 석유 및 가스, 발전량생산, 철도 |
| 운송 패키지: | 나무 케이스 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
감사를 받은 공급업체 독립적인 제3자 검사 기관의 감사를 받음
| 파라미터 | 사양 |
|---|---|
| 재질 | 스테인리스 스틸 |
| 전원 공급 장치 | DC 전원 공급 장치 |
| 전력 등급 | 3000W |
| 입력합니다 | 코팅 시스템 |
| 응용 프로그램 | 과학 연구/배터리 전극 |
| 모델 | SD-650MHT |
| Foreline 펌프 | 2L/min(로터리 베인 펌프) |
| 최고의 진공 청소기 | 5 × 10 <sup>-5 </sup> 파 |
| 오일미스트 필터 | 필터 카트리지 |
| 치수 | 610 × 420 × 490mm(W × D × H) |
| 포장재 | 목재 케이스 |
| 전극 구조 | 평면 |
| 누수 속도 | 1.0 × 10 <sup>-8</sup> Pa·m³/s |
| 인증 | CE |
| 맞춤형 제조 | 사용 가능 |
| 대상 구성 | 이중 음극 |
| 전원 공급 장치 옵션 | RF 전원 공급 장치 |
| 샘플 스테이지 | 200mm 회전 가능 단계 |
| 대상 크기 | 2인치 |
| 냉각 계통 | 수랭식 |
| 두께 모니터 | 선택 사항 |
| 챔버 크기 | Ø210 × 270mm(내부 치수) |
| 펌핑 시간 | 10Pa → 3Pa |
610mm(L) × 420mm(W) × 490mm(H)
고성능 금속 챔버:
외부 치수: Ø260mm × H500mm
내부 치수: Ø210mm × H270mm
| 대상 사양 | 세부 정보 |
|---|---|
| 대상 크기 | Ø50mm × 3mm(재료에 따라 두께가 다름) |
| 표준 타겟 | Ø50mm × 3mm 강철 타겟 1개 + Ø50mm × 3mm 알루미늄 타겟 1개 포함 |
| 대상 냉각 | 수냉식 |
| 최고의 진공 청소기 | 5 × 10 <sup>-5 </sup> Pa( 10분 후 5 × 10 <sup>-3 </sup>Pa에 도달) |
| 전원 공급 장치 | DC 정전류 공급: 입력: 220V AC 출력: 0-600V, 0-1.6A RF 공급 및 매처: 500W |
넉넉한 직경: 200mm
공정 가스 유연성: AR 또는 기타 불활성 가스를 수용합니다(사용자 제공 실린더 및 조절기 필요).
가스 제어: 수동 오버라이드가 포함된 솔레노이드 유량 밸브를 통한 정밀 자동 제어
최첨단 자가 순환형 냉각기
정밀 코팅 제어를 위한 실시간 두께 모니터링
사용자 친화적인 터치스크린 인터페이스
다양한 용도: 전자동/전도성/합금/반도체/세라믹/절연체/광학/불화물/하드/PTFE 박막
신뢰성 있는 전압: 220V 50Hz
시동 전력: 강력한 3KW
위치 요건:
견고한 테이블에 배치했는지 확인합니다(최소 130cm × 60cm, 적재 용량 200kg 이상).
외부 로터리 펌프와 냉각기를 최적의 위치에 놓습니다 (바닥/메인 유니트 근처)
총 시스템 무게: 구성 가능 208 - 240kg 4인 팀이 필요합니다.
작동 조건:
이상적인 온도 범위: 15 ~ 25°C
습도 조절: ≤ 75% RH
안정적인 작동을 위해 전용 220V, 16A 회로 차단기를 제공합니다.
작동 환경 내에서 적절한 환기를 보장하고 최적의 성능을 유지하기 위해 직사광선에 노출되지 않도록 기기를 보호하십시오.
아르곤/헬륨 가스 실린더 및 압력 레귤레이터는 다양한 용도로 사용할 수 있도록 사용자가 제공해야 합니다.
