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제품 설명
장비 메인 유닛 치수 610mm(L) × 420mm(W) × 490mm(H) 진공 챔버 사양 고성능 금속 챔버: 외부 치수: Ø260mm × H500mm 내부 치수: Ø210mm × H270mm 고급 음극 구성: 이중 타겟 시스템 기질 단계 넉넉한 직경: 200mm 가스 시스템 공정 가스 유연성: AR 또는 기타 불활성 가스를 수용합니다(사용자 제공 실린더 및 조절기 필요). 가스 제어: 수동 오버라이드가 포함된 ...