• 3개의 1인치 또는 2인치 마그네트론이 있는 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비 대상
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3개의 1인치 또는 2인치 마그네트론이 있는 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비 대상

After-sales Service: 12 Months
Warranty: 12 Months
Type: Coating Production Line
Coating: Vacuum Coating
Substrate: Steel
Certification: CE

공급 업체에 문의

골드 멤버 이후 2023

비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체

Henan, 중국
확인된 강도 라벨(15)을 모두 보려면 하세요.
  • 개요
  • 제품 설명
  • 제품 매개변수
  • 상세 사진
  • FAQ
개요

기본 정보

모델 번호.
TN-MSH300-III-DCDCRF-SS
Condition
New
냉각 모드
물 냉각
온도 상승
최대 500ºc
회전 속도
1-20rpm 조절 가능
기판 크기
직경 185mm
진공 챔버
스테인리스 스틸
Magnetron Sputtering Target Head
3 Magnetron Sputtering Heads
샘플 스테이지 크기
Maximum 4" Substrate Can Be Placed
회전 속도
1-20 Rpm (Adjustable)
최고 난방 온도
500ºc
온도 제어 정확도
+/- 1.0 °c
가스 흐름 컨트롤러
2 Mass Flow Meters Installed Inside The Instrument
진공 펌프
a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
냉각 시스템
16L/min
운송 패키지
Fumigated Wooden Box
사양
290mmx365mmx260mm
등록상표
TN
원산지
China
세관코드
8486209000
생산 능력
200/Month

제품 설명

비용 효율적인 Magnetron 스퍼터링 코팅 장비
 1인치 또는 2인치 마그넷론 타겟 3개

 
제품 설명

세 가지 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 소개:
세 개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터링(sputtering coater)은 우리 회사가 독자적으로 개발한 비용 효율적인 마그네론 스퍼터링 코팅 장비입니다. 표준화되고 모듈식이며 사용자 지정할 수 있습니다. 1인치 또는 2인치 마그네트론 타겟을 선택할 수 있습니다.

고객은 코팅할 기판의 크기에 따라 대상을 선택할 수 있습니다. 이 장치에는 500W DC 전원 공급 장치와 300W RF 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. DC 전원 공급 장치는 금속 필름을 준비하는 데 사용할 수 있으며, RF 전원 공급 장치는 비금속 필름을 준비하는 데 사용할 수 있습니다. 세 가지 표적은 다층 또는 다중 코팅의 요구를 충족할 수 있습니다. 고객이 다른 코팅을 필요로 하는 경우 DC 전원 공급 장치와 펄스 전원 공급 장치를 맞춤 설정할 수 있습니다. 다양한 사양의 300W~1000W의 다양한 전원 공급 장치를 사용할 수 있습니다.


코팅 장비에는 2채널 고정밀 질량 유량계가 장착되어 있습니다. 다른 요구 사항이 있는 경우, 최대 4채널 질량 유량계 의 가스 경로를 사용자 지정하여 복잡한 가스 환경 구조 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 기기는 고급 탁아분자 펌프 세트를 갖추고 있으며, 최대 1.0E-5Pa 진공 상태가 되며, 다른 유형의 분자 펌프를 구매할 수 있습니다. 분자 펌프 가스 경로는 여러 솔레노이드 밸브로 제어되며, 펌프를 종료하지 않고도 챔버를 열어 샘플을 빼낼 수 있으므로 작업 효율이 크게 개선됩니다. 이 제품에는 시스템을 제어하는 통합 산업용 컴퓨터가 장착되어 있습니다. 컴퓨터 프로그램에서 진공 펌프 제어 및 스퍼터링 전원 제어 같은 대부분의 기능을 구현할 수 있으므로 실험 효율성을 더욱 높일 수 있습니다.

세 가지 대상은 마그네트론 스퍼터링 코터 응용 분야입니다.
이 장치는 단일 레이어 또는 다중 레이어 페로전기 박막, 전도성 필름, 합금막, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학막, 옥사이드 필름, 하드필름, PTFE 필름, 그리고 그런 것 같아요. 유사한 장비와 비교했을 때 이 3개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터가 널리 사용될 뿐만 아니라 작은 크기와 간편한 작동의 이점도 있습니다. 이 장비는 실험실에서 재료 필름을 준비할 때 이상적인 장비입니다.

 
제품 매개변수
샘플 단계 크기 φ185mm 온도 제어 정확도 ±1ºC
온도 상승 최대 500ºC 회전 속도 1-20rpm 조절 가능
마그네트론 스퍼터링 타겟 헤드 수량 2" × 3(1", 2" 선택 사항) 물 냉각기  유속이 10L/min인 순환 수냉기
냉각 모드 물 냉각    
진공 챔버 챔버 크기 φ300mm × 300mm 시계 창 φ100mm
챔버 재료 스테인리스 스틸 열기 모드 상단 덮개가 열려 있습니다
질량 유량계 2채널, 측정 범위 100sccm, 100sccm(고객의 요구에 따라 맞춤 구성 가능)
진공 시스템 모델 CY-GZK103-A 펌프 인터페이스 KF40
분자 펌프 CY-600 배기 인터페이스 KF16
백업 펌프 로터리 베인 펌프 진공 측정 복합 진공 게이지
최고의 진공 청소기 1.0E-5Pa 전원 공급 장치 AC; 220V 50 / 60Hz
펌핑 속도 분자 펌프: 600L/S 로터리 베인 펌프: 1.1L/S 포괄적인 가스 펌핑 성능: 20분 내에 최대 1.0E-3Pa 진공 청소
전원 구성 수량 DC 전원 공급 장치 ×2
RF 전원 공급 장치 ×1
최대 출력 파워 DC 500W, RF 300W
기타 매개변수 공급 전압 AC220V, 50Hz 전체 크기 600mm × 650mm × 1280mm
총 전력 3.5KW 총 무게 약 300kg
 
상세 사진

 

세 개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 제품 사진: Magnetron Sputtering Coating Equipment with Three 1-Inch or 2-Inch Magnetron TargetsMagnetron Sputtering Coating Equipment with Three 1-Inch or 2-Inch Magnetron Targets
 

 

 

FAQ

 


Magnetron Sputtering Coating Equipment with Three 1-Inch or 2-Inch Magnetron Targets
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?

A. 당사는 전문 실험실 기기 제조업체이며, 자체 설계 팀과 공장을 보유하고 있으며, 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며, 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.

Q. 귀사의 제품 애프터 서비스 시스템은 어떻게 됩니까?

A.  제품 보증 기간은 12개월이며, 평생 유지 보수를 제공할 수 있습니다. 당사는 기술적 문제를 해결하기 위해 24시간 내에 대응할 수 있는 전문적인 사전 판매 및 애프터세일즈 부서를 보유하고 있습니다.

Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?

A.1. 상품이 재고로 있다면 5-10일입니다. 2.고객에게 맞춤형 서비스를 제공할 수 있습니다. 사용자 지정 기기의 사양에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.

Q. 우리 나라의 전원 공급 장치와 플러그는 다릅니다. 어떻게 해결합니까?

A. 다른 국가의 전원 플러그에 따라 현지 요구 사항에 따라 변압기와 플러그를 공급할 수 있습니다.

Q. 결제 방법

A.T., L/C, D/P 등, Alibaba 무역 보증서를 사용하는 것이 좋습니다.

Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?

A.1. 표준 수출 포만화 표지판 나무 상자 포장 2. 고객의 요구 사항에 따라 익스프레스, 에어, 해상 배송 중에서 가장 적합한 방법을 찾아 보십시오.

더 많은 질문이 있으시면 저희에게 문의해 주십시오.

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 세계 제의를 위한 노력에 감사 드립니다!
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