After-sales Service: | 12 Months |
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Warranty: | 12 Months |
Type: | Coating Production Line |
Coating: | Vacuum Coating |
Substrate: | Steel |
Certification: | CE |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
단일 타겟 RF 마그네트론 스퍼터링 코터링(sputtering coater)은 우리 회사가 독자적으로 개발한 비용 효율적인 마그네론 스퍼터링 코팅 장비입니다. 소형화 및 표준화의 특성을 가지고 있습니다. 마그네트론 타겟 헤드는 1인치 2인치 3인치 중에서 선택할 수 있습니다. 고객은 도금할 기판의 크기에 따라 타겟을 선택할 수 있습니다. 이 장치에는 비금속 필름 및 광학 필름의 스퍼터링 시 사용할 수 있는 300W RF 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 실험 요건에 따라, 다양한 물질의 코팅 작동을 실현하기 위해 DC 또는 RF 전원 공급 장치의 다른 사양을 선택할 수 있습니다.
코팅 장비에는 2채널 고정밀 질량 유량계가 장착되어 있습니다. 다른 요구 사항이 있는 경우, 최대 4채널 질량 유량계 의 가스 경로를 사용자 지정하여 복잡한 가스 환경 구조 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 기기는 고급 탁아분자 펌프 세트를 갖추고 있으며, 최대 1.0E-5Pa 진공 상태가 되며, 다른 유형의 분자 펌프를 구매할 수 있습니다. 분자 펌프 가스 경로는 여러 솔레노이드 밸브로 제어되며, 펌프를 종료하지 않고도 챔버를 열어 샘플을 빼낼 수 있으므로 작업 효율이 크게 개선됩니다. 이 제품에는 시스템을 제어하는 통합 산업용 컴퓨터가 장착되어 있습니다. 컴퓨터 프로그램에서 진공 펌프 제어 및 스퍼터링 전원 제어 같은 대부분의 기능을 구현할 수 있으므로 실험 효율성을 더욱 높일 수 있습니다.
단일 타겟 RF 마그네트론 스퍼터링 코터 애플리케이션:
이 장치는 단층 세라믹 필름, 유전체 필름, 광막, 산화막, 하드필름 등을 준비하는 데 사용할 수 있습니다. PTFE 필름, 그리고 그런 것. 유사한 장비와 비교했을 때 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터가 널리 사용될 뿐만 아니라 작은 크기와 간편한 작동의 이점도 있습니다. 이 장비는 실험실에서 재료 필름을 준비하는 데 이상적인 장비로서 , 특히 실험실에서 고체 전해질과 OLED 연구에 적합합니다.
기술 매개변수
샘플 단계 | 크기 | φ185mm | 온도 제어 정확도 | ±1ºC |
온도 상승 | 최대 500ºC | 회전 속도 | 1-20rpm 조절 가능 | |
마그네트론 스퍼터링 타겟 헤드 | 수량 | 2" × 1(1", 2", 3" 선택 사항) | 물 냉각기 | 유속이 10L/min인 순환 수냉기 |
냉각 모드 | 물 냉각 | |||
진공 챔버 | 챔버 크기 | φ300mm × 300mm | 시계 창 | φ100mm |
챔버 재료 | 스테인리스 스틸 | 열기 모드 | 상단 덮개 분리 가능 | |
질량 유량계 | 2채널, 측정 범위 100sccm, 100sccm(고객의 요구에 따라 맞춤 구성 가능) | |||
진공 시스템 | 모델 | CY-GZK103-A | 펌프 인터페이스 | KF40 |
분자 펌프 | CY-600 | 배기 인터페이스 | KF16 | |
백업 펌프 | 로터리 베인 펌프 | 진공 측정 | 복합 진공 게이지 | |
최고의 진공 청소기 | 1.0E-5Pa | 전원 공급 장치 | AC; 220V 50 / 60Hz | |
펌핑 속도 | 분자 펌프: 600L/S 로터리 베인 펌프: 1.1L/S 포괄적인 가스 펌핑 성능: 20분 내에 최대 1.0E-3Pa 진공 청소 | |||
전원 구성 | 수량 | RF 전원 공급 장치 ×1 | 최대 출력 파워 | 300W |
기타 매개변수 | 공급 전압 | AC220V, 50Hz | 전체 크기 | 600mm × 650mm × 1280mm |
총 전력 | 2kW | 총 무게 | 300kg |
참고:
1. 우리는 마자네론 스퍼터링 코터를 1 타겟, 2 타겟, 3 타겟, 타겟 챔버 상단 또는 하단에 설계할 수 있습니다.
DC 전원 또는 RF 전원 대상이 있습니다.
3.다른 타겟 재질은 선택 사항입니다
강한 자기 표적과 영구 자기 표적은 선택 사항입니다
증발 원과의 마그네트론 스퍼터링 코터를 사용할 수 있습니다
맞춤형 서비스를 항상 이용할 수 있습니다.
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 전문 실험실 기기 제조업체이며, 자체 설계 팀과 공장을 보유하고 있으며, 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며, 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.
Q. 귀사의 제품 애프터 서비스 시스템은 어떻게 됩니까?
A. 제품 보증 기간은 12개월이며, 평생 유지 보수를 제공할 수 있습니다. 당사는 기술적 문제를 해결하기 위해 24시간 내에 대응할 수 있는 전문적인 사전 판매 및 애프터세일즈 부서를 보유하고 있습니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
A.1. 상품이 재고로 있다면 5-10일입니다. 2.고객에게 맞춤형 서비스를 제공할 수 있습니다. 사용자 지정 기기의 사양에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 우리 나라의 전원 공급 장치와 플러그는 다릅니다. 어떻게 해결합니까?
A. 다른 국가의 전원 플러그에 따라 현지 요구 사항에 따라 변압기와 플러그를 공급할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A.T., L/C, D/P 등, Alibaba 무역 보증서를 사용하는 것이 좋습니다.
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A.1. 표준 수출 포만화 표지판 나무 상자 포장 2. 고객의 요구 사항에 따라 익스프레스, 에어, 해상 배송 중에서 가장 적합한 방법을 찾아 보십시오.
더 많은 질문이 있으시면 저희에게 문의해 주십시오.
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