비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
감사를 받은 공급업체 실험실은 단일 표적 마그네트론 스퍼터링 코터 진공 탈지 시스템을 사용했습니다 SEM 연구용
마그네트론 스퍼터링: 개요
퍼터링(Sputtering)은 에너지 넘치는 이온이 표적을 향해 가속되는 플라즈마 기반 증착 과정입니다. 이온이 표적에 부딪침하고 원자가 표면에서 배출됩니다(또는 침을 뱉습니다). 이 원자는 기질 쪽으로 이동해서 성장하는 필름에 통합됩니다.
마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 우리 회사에서 개발한 특수 실험실 코팅 장비입니다. 이 장비에는 DC 전원 공급 장치와 RF 전원 공급 장치를 장착할 수 있습니다. 전력 범위는 500W에서 1000W입니다. 단일 또는 다층 퍼로전기 박막, 전도성 필름, 합금막, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광필름 등
마그네트론 스퍼터링 코터의 사양:
| 제품 이름 | 마그네트론 거터 코터 | ||
| 샘플 단계 | 크기 | 직경 150mm | |
| 온도 상승 | 최대 500ºC | ||
| 온도 정확도 | ±1ºC | ||
| 회전 속도 | 1-20rpm 조절 가능 | ||
| 마그네트론 스퍼터링 타겟 | 수량 | 2" * 1 (1", 2", 3", 4" 선택 사항) | |
| 냉각 모드 | 물 냉각 | ||
| 물 냉각기 | 유속이 10L/min인 순환 수냉기 | ||
| 진공 챔버 | 챔버 크기 | 직경 325 * 500mm | |
| 챔버 재료 | 스테인리스 스틸 | ||
| 시계 창 | 직경 100mm | ||
| 열기 모드 | 전면 도어가 열립니다 | ||
| 질량 유량계 | 2채널; 측정 범위 100SCCM; 100SCCM(고객의 요구에 따라 맞춤 구성 가능) | ||
| 진공 시스템 | 모델 | CY-GZK103-A | |
| 분자 펌프 | 600L/s | ||
| 백업 펌프 | 1L/s | ||
| 최고의 진공 청소기 | 1.0E-5Pa | ||
| 펌프 인터페이스 | CF160 | ||
| 배기 인터페이스 | KF40 | ||
| 진공 측정 | 복합 진공 게이지 | ||
| 전원 공급 장치 | AC; 220V, 50/60Hz | ||
| 펌핑 속도 | 20분 내에 최대 1.0E-3Pa 진공 청소가 가능합니다 | ||
| 전원 구성 | 수량 | RF 전원 공급 장치 x1 | |
| 최대 출력 파워 | RF 300W | ||
| 필름 두께 | 석영 수정막 두께 모니터, 해상도 : 0.1 Å | ||
| 기타 매개변수 | 공급 전압 | AC220V, 50Hz | |
| 총 전력 | 4kW | ||
| 전체 크기 | 600mm × 650mm × 1280mm | ||
| 총 무게 | 약 350kg | ||
1. 타겟 1개, 타겟 2개, 타겟 3개, 타겟 4개 등으로 마그네론 스퍼터링 코터가 있습니다. 타겟 타겟 타겟 설계를 챔버 상단 또는 하단에 수행할 수 있습니다.
2.0-1000W DC 전원 또는 RF 전원 대상이 사용 가능합니다. 바이어스 기능은 선택 사항입니다.
3.대상 크기: 1인치, 2인치, 3인치, 4인치 등
강한 자기 표적과 강한 자석을 사용하는 표적은 선택 사항입니다.
5.증발과 함께 마그네트론 스퍼터링 코터, E-빔을 사용할 수 있습니다.
6.맞춤형 서비스는 항상 이용 가능합니다!
1. 우리는 마그네트론 스퍼터링 코터를 1 타겟, 2 타겟, 3 타겟, 4 타겟 등과 함께 가지고 있습니다. 목표는 챔버의 상단 또는 하단에 설계할 수 있습니다.
2.0-1000W DC 전원 또는 RF 전원 대상이 사용 가능합니다. 바이어스 기능은 선택 사항입니다.
3.대상 크기: 1인치, 2인치, 3인치, 4인치 등
강한 자기 표적과 영구 자기 표적은 선택 사항입니다.
5.증발과 함께 마그네트론 스퍼터링 코터, E-빔을 사용할 수 있습니다.
6.맞춤형 서비스는 항상 이용 가능합니다!
우리는 육지, 바다, 공기, 익스프레스 등으로 지각, 공기, 그리고 당신의 요구 사항에 따라 포장 및 배송을 준비할 수 있습니다.
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 실험실 기기의 전문 제조업체이며, 품질 및 판매 후 서비스를 약속할 수 있는 전문 R&D 팀과 워크샵이 있습니다.
Q. 보증 기간은 어떻게 됩니까?
A. 보증 기간은 12개월이며 , 평생 유지 보수를 제공합니다. 24시간 온라인 서비스를 제공합니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
a. 5-10일--- 매장 내. Customzied 제품 -- 사용자의 요구 사항에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 전원 공급 장치 및 플러그?
A. 현지 전압 및 플러그 표준에 맞는 제품을 제공할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A. T T, L/C, D/P 등
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A. 표준 수출 상품 포장 또는 요구 사항으로 포장 포장.
마자네트론이 작업에 적합한 과정을 거침합니까?
연락하시면 귀하의 프로젝트에 대해 협업할 수 있습니다.
어떻게 하면 목표를 달성할 수 있을까요? 당사의 엔지니어링 팀이 극복하는데 어떤 기술적 장애물을 극복할 수 있을까요? '터치 사용' 버튼을 눌러 연락주세요. 귀하의 연구에 대해 듣고 저희가 어떤 방법으로든 도움을 드릴 수 있게 되어 기쁩니다.
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