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감사를 받은 공급업체 마그네트론 스퍼터링: 개요
퍼터링(Sputtering)은 에너지 넘치는 이온이 표적을 향해 가속되는 플라즈마 기반 증착 과정입니다. 이온이 표적에 부딪침하고 원자가 표면에서 배출됩니다(또는 침을 뱉습니다). 이 원자는 기질 쪽으로 이동해서 성장하는 필름에 통합됩니다.
마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 우리 회사에서 개발한 특수 실험실 코팅 장비입니다. 이 장비에는 DC 전원 공급 장치와 RF 전원 공급 장치를 장착할 수 있습니다. 전력 범위는 500W에서 1000W입니다. 단일 또는 다층 퍼로전기 박막, 전도성 필름, 합금막, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광필름 등
실험실용 티타늄 니트라이드 금속 세라믹 골드 진공 코팅 머신
기존의 플라즈마 스퍼터리와 비교했을 때, 마그네트론 스퍼터링에는 높은 에너지, 고속, 높은 축적 속도 및 낮은 시료 온도 상승의 장점이 있습니다. 마그네트론 표적에는 수냉식 층이 있습니다. 물 냉각기는 열을 효과적으로 빼앗고 대상 표면에 열이 축적되지 않도록 하여 마그네트론 코팅이 장기간 안정적으로 작동하도록 합니다.
단일 마그네트론 타겟 거터 코터 사양
| 전원 공급 장치 | AC220V, 50Hz | |
| 전력 | 6kW | |
| 진공 정도를 제한하십시오 | 5x10-4Pa | |
| 샘플 테이블 매개 변수 | 크기 | φ150mm |
| 열 온도 | 최대 500ºC | |
| 온도 조절 | ±1ºC | |
| 회전 속도 | 1-20rpm 조절 가능 | |
| 마그네트론 스퍼터링 헤드 매개변수 | 수량: 1/2/3 | 크기: 2" |
| 냉각 모드 | 수냉식, 유량 10L/min 필요 | |
| 물 냉각기 | 10L/min 순환 수랭 | |
| 진공 챔버 | 크기 | φ300mm X 340mm H |
| 재질 | SUS | |
| 시계 창 | φ100mm | |
| 열기 모드 | 오픈 타입, 대상을 쉽게 교체 | |
| 가스 흐름 컨트롤러 | 단일 채널, 200sccm AR | |
| 진공 펌프 | 600L/S를 펌핑하는 분자 펌프 시스템 | |
| 석영 진동막 두께 게이지 | 한 세트 , 해상도 0.10 옹스트롬 | |
| 퍼터 전원 | DC 전원 공급 장치: 500W - 1000W, 금속 필름 준비에 적합 500W~1000W의 RF 전원 공급 장치, 비금속 필름에 적합 |
|
| 작동 모드 | 올인원 컴퓨터 작동 | |
| 전체 치수 | 1,090mm X 900mm X 1250mm | |
| 총 무게 | 350kg | |
1.1.타겟 1개, 타겟 2개, 타겟 3개, 타겟 3개를 포함하는 마그네트론 스퍼터링 코터가 의 상단 또는 하단에 설계될 수 있습니다
챔버.
DC 전원 또는 RF 전원 대상이 있습니다.
3.다른 타겟 재질은 선택 사항입니다
강한 자기 표적과 강한 자석을 사용하는 표적은 선택 사항입니다
증발 원과의 마그네트론 스퍼터링 코터를 사용할 수 있습니다
6.맞춤형 서비스는 항상 이용 가능합니다!
DC 전력으로 코터를 타내는 단일 타겟 마그네트론 RF 파워로 코터를 내는 단일 타겟 마그네트론 스파터링
책상 밑에는 한쪽이 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터가 하나 있습니다
우리는 육지, 바다, 공기, 급기로 마그네론 거퍼터 코터를 배송할 수 있으며, 또한 당신의 요구사항에 따라 포장과 배송을 준비할 수 있습니다.
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 실험실 기기의 전문 제조업체이며, 품질 및 판매 후 서비스를 약속할 수 있는 전문 R&D 팀과 워크샵이 있습니다.
Q. 보증 기간은 어떻게 됩니까?
A. 보증 기간은 12개월이며 , 평생 유지 보수를 제공합니다. 24시간 온라인 서비스를 제공합니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
a. 5-10일--- 매장 내. Customzied 제품 -- 사용자의 요구 사항에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 전원 공급 장치 및 플러그?
A. 현지 전압 및 플러그 표준에 맞는 제품을 제공할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A. T T, L/C, D/P 등
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A. 표준 수출 상품 포장 또는 요구 사항으로 포장 포장.
마자네트론이 작업에 적합한 과정을 거침합니까?
연락하시면 귀하의 프로젝트에 대해 협업할 수 있습니다.
어떻게 하면 목표를 달성할 수 있을까요? 당사의 엔지니어링 팀이 극복하는데 어떤 기술적 장애물을 극복할 수 있을까요? '터치 사용' 버튼을 눌러 연락주세요. 귀하의 연구에 대해 듣고 저희가 어떤 방법으로든 도움을 드릴 수 있게 되어 기쁩니다.
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