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감사를 받은 공급업체 LAB SiO2 나노 필름 금속 코팅 기계 마그네트론 스퍼터링 코터
마그네트론 스퍼터링: 개요
퍼터링(Sputtering)은 에너지 넘치는 이온이 표적을 향해 가속되는 플라즈마 기반 증착 과정입니다. 이온이 표적에 부딪침하고 원자가 표면에서 배출됩니다(또는 침을 뱉습니다). 이 원자는 기질 쪽으로 이동해서 성장하는 필름에 통합됩니다.
마자네론 스퍼터링 코터의 특징:
1.트리플 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터란 비용 효율적인 자그론 스퍼터링 코팅 장비입니다. 표준화된 모듈식
사용자 지정 가능.
2.1인치, 2인치, 3인치 마그네트론 타겟이 있다. 기판의 크기에 따라 타겟을 선택할 수 있습니다
코팅.
3.마그네트론 스퍼터링 코터는 500W DC 전원과 500W RF 출력을 갖추고 있습니다. DC 전원은 에 사용됩니다
절연재에 컨덕터를 사용하고 RF 전력을 사용합니다. 에 따라 300W에서 1000W의 전력을 제공합니다
요구 사항.
4.마그네트론 스퍼터링 코터에는 2채널 고정밀 질량 유량계가 장착되어 있습니다. 4채널 질량 유량계는 입니다
사용 가능
5.자그네론 스퍼터링 코터에는 터보 분자 펌프가 장착되어 있으며, 궁극적인 진공은 최대 10E-5Pa, 기타 종류가 있습니다
분자 펌프 구매 가능.
6.분자 펌프 가스 경로는 여러 솔레노이드 밸브로 제어되며, 챔버를 열어 샘플을 빼낼 수 있습니다
펌프 종료
7. 이 제품에는 시스템을 제어하는 통합 산업용 컴퓨터가 장착되어 있습니다.
마그네트론 스퍼터링 코터의 사양:
| 제품 이름 | 트리플 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 | |
| 샘플 단계 | 크기 | 직경 150mm |
| 온도 상승 | 최대 500ºC | |
| 온도 정확도 | ±1ºC | |
| 회전 속도 | 1-20rpm 조절 가능 | |
| 마그네트론 스퍼터링 타겟 | 수량 | 2" × 3(1", 2" 선택 사항) |
| 냉각 모드 | 물 냉각 | |
| 물 냉각기 | 유속이 10L/min인 순환 수냉기 | |
| 진공 챔버 | 챔버 크기 | 직경 300 * 300mm |
| 챔버 재료 | 스테인리스 스틸 | |
| 시계 창 | 직경 100mm | |
| 열기 모드 | 상단 입구 | |
| 질량 유량계 | 2채널; 측정 범위 100SCCM; 100SCCM(고객의 요구에 따라 맞춤 구성 가능) | |
| 진공 시스템 | 모델 | CY-GZK103-A |
| 분자 펌프 | 600L/s | |
| 백업 펌프 | 1L/s | |
| 최고의 진공 청소기 | 1.0E-5Pa | |
| 펌프 인터페이스 | CF160 | |
| 배기 인터페이스 | KF40 | |
| 진공 측정 | 복합 진공 게이지 | |
| 전원 공급 장치 | AC; 220V 50 / 60Hz | |
| 펌핑 속도 | 20분 내에 최대 1.0E-3Pa 진공 청소가 가능합니다 | |
| 전원 구성 | 수량 | DC 전원 공급 장치 x2 RF 전원 공급 장치 x1 |
| 최대 출력 파워 | DC 500W, RF 300W | |
| 기타 매개변수 | 공급 전압 | AC220V, 50Hz |
| 총 전력 | 4kW | |
| 전체 크기 | 600mm × 650mm × 1280mm | |
| 총 무게 | 약 350kg | |
1. 타겟 1개, 타겟 2개, 타겟 3개, 타겟 4개 등으로 마그네론 스퍼터링 코터가 있습니다. 타겟 타겟 타겟 설계를 챔버 상단 또는 하단에 수행할 수 있습니다.
2.0-1000W DC 전원 또는 RF 전원 대상이 사용 가능합니다. 바이어스 기능은 선택 사항입니다.
3.대상 크기: 1인치, 2인치, 3인치, 4인치 등
강한 자기 표적과 강한 자석을 사용하는 표적은 선택 사항입니다
5.증발과 함께 마그네트론 스퍼터링 코터, E-빔을 사용할 수 있습니다
6.맞춤형 서비스는 항상 이용 가능합니다!
정저우 타이노오 필름 재료 주식회사는 디자인, 연구 개발, 생산 및 판매를 통합하는 종합 회사입니다.
당사의 주요 제품은 스핀 코터, 열 증발 코터, 마그네트론 스파터 코터, 플라즈마 스파터 코터, E-빔 증발 코터, PLD 펄스 레이저 코팅 기계, 플라즈마 클리너, CVD 시스템, PECVD 시스템, 다이아몬드 와이어 절단 기계, 용광로/스토브, 아크 용해 용광로 등
당사의 제품은 재료과학 연구 분야에서 널리 사용되고 있습니다. 국내 대학, 실험실, 신소재 회사들과 폭넓은 협력을 하고 있습니다. 미국, 영국, 독일, 러시아, 스위스, 캐나다, 브라질 등 . 현지 딜러들과 장기적인 협력 관계를 구축하였습니다.
재료 연구를 수행하는 경우, 당사에 문의하시면 귀하의 연구 실험을 보다 원활하게 진행할 수 있도록 맞춤형 서비스를 제공해 드립니다!
우리는 육지, 바다, 공기, 익스프레스 등으로 지각, 공기, 그리고 당신의 요구 사항에 따라 포장 및 배송을 준비할 수 있습니다.
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 실험실 기기의 전문 제조업체이며, 품질 및 판매 후 서비스를 약속할 수 있는 전문 R&D 팀과 워크샵이 있습니다.
Q. 보증 기간은 어떻게 됩니까?
A. 보증 기간은 12개월이며 , 평생 유지 보수를 제공합니다. 24시간 온라인 서비스를 제공합니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
a. 5-10일--- 매장 내. Customzied 제품 -- 사용자의 요구 사항에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 전원 공급 장치 및 플러그?
A. 현지 전압 및 플러그 표준에 맞는 제품을 제공할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A. T T, L/C, D/P 등
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A. 표준 수출 상품 포장 또는 요구 사항으로 포장 포장.
마자네트론이 작업에 적합한 과정을 거침합니까?
연락하시면 귀하의 프로젝트에 대해 협업할 수 있습니다.
어떻게 하면 목표를 달성할 수 있을까요? 당사의 엔지니어링 팀이 극복하는데 어떤 기술적 장애물을 극복할 수 있을까요? '터치 사용' 버튼을 눌러 연락주세요. 귀하의 연구에 대해 듣고 저희가 어떤 방법으로든 도움을 드릴 수 있게 되어 기쁩니다.
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