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감사를 받은 공급업체 마그네트론 스퍼터링: 개요
퍼터링(Sputtering)은 에너지 넘치는 이온이 표적을 향해 가속되는 플라즈마 기반 증착 과정입니다. 이온이 표적에 부딪침하고 원자가 표면에서 배출됩니다(또는 침을 뱉습니다). 이 원자는 기질 쪽으로 이동해서 성장하는 필름에 통합됩니다.
마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 우리 회사에서 개발한 특수 실험실 코팅 장비입니다. 이 장비에는 DC 전원 공급 장치와 RF 전원 공급 장치를 장착할 수 있습니다. 전력 범위는 500W에서 1000W입니다. 단일 또는 다층 퍼로전기 박막, 전도성 필름, 합금막, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광필름 등
기존의 플라즈마 스퍼터리와 비교했을 때, 마그네트론 스퍼터링에는 높은 에너지, 고속, 높은 축적 속도 및 낮은 시료 온도 상승의 장점이 있습니다. 마그네트론 표적에는 수냉식 층이 있습니다. 물 냉각기는 열을 효과적으로 빼앗고 대상 표면에 열이 축적되지 않도록 하여 마그네트론 코팅이 장기간 안정적으로 작동하도록 합니다.
마그네트론 스퍼터링 코터의 사양:
| 전원 공급 장치 | AC220V, 50Hz | |
| 전력 | 4kW | |
| 진공 정도를 제한하십시오 | 5x10-4Pa | |
| 샘플 테이블 매개 변수 | 크기 | φ150mm |
| 열 온도 | 최대 500ºC | |
| 온도 조절 | ±1ºC | |
| 회전 속도 | 1-20rpm 조절 가능 | |
| 마그네트론 스퍼터링 헤드 매개변수 | 수량: 1/2/3 | 크기: 2" |
| 냉각 모드 | 수냉식, 유량 10L/min 필요 | |
| 물 냉각기 | 10L/min 순환 수랭 | |
| 진공 챔버 | 크기 | φ325 * 500mm |
| 재질 | SUS304 | |
| 시계 창 | φ100mm | |
| 열기 모드 | 오픈 타입, 대상을 쉽게 교체 | |
| 가스 흐름 컨트롤러 | 단일 채널 , 200sccm AR | |
| 진공 펌프 | 600L/S를 펌핑하는 분자 펌프 시스템 | |
| 석영 진동막 두께 게이지 | 한 세트 , 해상도 0.10 옹스트롬 | |
| 퍼터 전원 | DC 전원 공급 장치: 500W - 1000W, 금속 필름 준비에 적합 500W~1000W의 RF 전원 공급 장치, 비금속 필름에 적합 |
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| 작동 모드 | 올인원 컴퓨터 작동 | |
| 전체 치수 | 1,090mm X 900mm X 1250mm | |
| 총 무게 | 350kg | |
정저우 타이노오 필름 재료 주식회사는 디자인, 연구 개발, 생산 및 판매를 통합하는 종합 회사입니다.
당사의 주요 제품은 스핀 코터, 열 증발 코터, 마그네트론 스파터 코터, 플라즈마 스파터 코터, E-빔 증발 코터, PLD 펄스 레이저 코팅 기계, 플라즈마 클리너, CVD 시스템, PECVD 시스템, 다이아몬드 와이어 절단 기계, 용광로/스토브, 아크 용해 용광로 등
당사의 제품은 재료과학 연구 분야에서 널리 사용되고 있습니다. 국내 대학, 실험실, 신소재 회사들과 폭넓은 협력을 하고 있습니다. 미국, 영국, 독일, 러시아, 스위스, 캐나다, 브라질 등 . 현지 딜러들과 장기적인 협력 관계를 구축하였습니다.
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Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
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