| 판매 후 서비스: | 온라인 서비스 |
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| 보증: | 1년 |
| 유형: | 스핀 코팅 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
감사를 받은 공급업체 독립적인 제3자 검사 기관의 감사를 받음
박막 실험실용 PLD 시스템 펄스 레이저 증착 시스템
PLD 시리즈 장비는 주로 광학 결정, 철제, 철자성, 초도체 및 유기 화합물 박막 물질을 성장시키는 데 사용되며, 특히 용융점이 높고 다중 원소 및 가스 원소가 포함된 복합 중첩 초격자 박막 물질의 성장에 적합합니다. 
이 장비는 외관 구조에 따라 PLD 증착 챔버, 진공 측정 시스템, 진공 펌핑 시스템, 워크벤치, 전기 제어 캐비닛 등 5개 부분으로 나눌 수 있습니다.
2.1 PLD 증착 챔버
원구형 진공 챔버 구조, 사이즈 중 92450mm, 1Cr18Ni9Ti 스테인리스 스틸 재질, 아르곤 아크 용접, 표면 스프레이 유리 샷 매트 처리로 제작. 진공 누출 비율은 5.0 × 10-8Pa.I/S 미만입니다 인터페이스는 금속 개스킷 또는 플루오르화 고무 링으로 씰링되고, 진공 챔버 아래의 놓으십시오 220 실린더는 작업면에 장착됩니다. CF150 나이프 엣지 플랜지가 아래에 연결되어 있고 CF150 수동 게이트 밸브가 연결되어 있습니다. CF150 바이패스 파이프 어셈블리를 연결하고 620 분자 펌프 시스템을 연결합니다. 진공 챔버 앞에는 고무 링이 있는 밀폐된 도어와 관찰 창이 있으며, 직경이 다른 것은 무엇입니까?150mm이며, 이는 샘플 입구와 출구에 사용되며 대상 재료 교체 및 유지보수에 사용됩니다. 관찰 창의 왼쪽에 회전 타겟 플랫폼을 설치합니다. 회전 대상 테이블 바로 맞은편에 샘플 가열 테이블을 설치합니다. 회전 대상 플랫폼과 동일한 수평 평면에서 135° 각도로 두 개의 사고 관찰 창이 정렬되며, 이는 각 각의 직경이 서로 다른 여러 개의 서로 다른 100mm 입니다. 적외선 및 자외선 석영 장착. 진공 챔버 위에는 지름 중 하나는? 100mm, 테스트 관찰 창은 두 개로 작동합니다. 장비 업그레이드를 위한 CF35 예비 플랜지 포트도 두 개 있습니다. 진공 챔버 본체에는 저항 게이지, 이온화 게이지, KF40 수동 사전 펌핑 각도 밸브, 다른 각 밸브, 즉 다른 각 밸브, 즉 각 밸브, CF35 베이킹 조명 전극이 장착되어 있습니다.
2.1.1 회전 대상 단계
1). 네 개의 타겟을 한 번에 설치할 수 있습니다. 타겟 크기는 (I) 중 하나입니다. (I) 중 하나입니다.
2). 각 대상 재료는 자체 회전, 속도는 5-50rpm이며, 스테퍼 모터로 구동되는 자기 커플링 메커니즘에 의해 연속적으로 조정되고 제어됩니다.
3). 대상 위치 회전 전위 메커니즘은 스테퍼 모터에 의해 구동되는 자기 커플링 메커니즘에 의해 제어됩니다.
4). 타겟 차폐 커버는 세 개의 타겟을 차폐하며 타겟 간의 교차 오염을 방지하기 위해 한 번에 한 표적만 스퍼터링 때문에 필름을 형성합니다.
2.1.2 샘플 가열 단계 구성품
1). 기질 크기: repl막 60mm, repl막 10mm-remm60mm 샘플을 배치하고 기계적 고정 방법을 채택하며 기질 덮개를 교체하여 샘플을 교체합니다.
2). 샘플 가열의 최대 온도는 800ºC ± 1ºC입니다. 열전쌍 폐쇄 루프 피드백에 의해 제어됩니다(산화 연구를 위해 특수 히터를 만들 수 있습니다).
3). 기질은 계속 회전할 수 있고 속도는 5~50rpm이며, 이 속도는 샤프트 메커니즘을 구동하는 스테핑 모터로 완성됩니다.
4). 표적과 기질 사이의 거리는 20-80mm로 조정할 수 있으며, 이는 움직이는 기질 캐비티 외부의 수동 벨로즈 조절 메커니즘에 의해 완료됩니다.
2.1.3 Window 액세서리
1). 924nm 석영 유리(레이저 발생률)
2). 9mm 석영 유리 창(적외선 밴드)
3). 9mm 100mm 광학 유리 창
2).1.4 진공 펌프 시스템
KYKY-160/620 분자 펌프 1개 장착
2XZ-8B 기계식 펌프 1개 장착
4 개의 (요)4 개의 (요)4 개의 벨로우즈 파이프.
공기 배출 밸브 1개 장착
벤트 솔레노이드 진공 앵글 밸브가 있는 KF40 2개 장착
팽창식 전자기 진공 앵글 밸브가 있는 KF40 1개 장착
CF150 수동 게이트 밸브 1개 장착
CF35 수동 앵글 밸브 2개 장착
분자 거름망 세트 장착
2.1.5 진공 경로
2채널 질량 유량계, N2 가스 보정 장착 100 SCCM 가스 혼합 탱크와 수동 각도 밸브를 통해 들어갑니다.
2.1.6 진공 측정 시스템
진공 측정 시스템은 측정 게이지와 진공 게이지로 구성됩니다. 장비에는 직접 삽입 저항 게이지와 금속 이온화 게이지가 장착되어 있습니다. 대기 진공 정도를 측정합니다. ~2x10-5Pa.
2.1.7 워크벤치
작업대는 프레임과 후드로 구성되어 있습니다. 랙은 장비의 골격, 지지 부품 설치. 가스 경로, 배수 장치 및 기타 구성 요소를 내부에 설치합니다.
2.1.8 전기 제어 캐비닛
전기 제어 캐비닛에는 터치스크린 제어 유닛, 흐름 디스플레이, 기판 가열 전원 공급, 이온화 전원 공급, 620L 분자 펌프 전원 공급 장치 및 총 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다.
1). 진공 컨트롤 유닛은 진공 펌프 시스템, 샘플 회전 이동 프로세스 및 조명 시스템을 제어하는 PLC + 터치 스크린에 의해 제어됩니다. 터치 스크린은 7인치 컬러 스크린입니다.
2). 기판과 유기 가열 제어 전원 공급 장치는 전도성 SR3 미터로 구성되어 있습니다. 온도 제어 정확도는 ±0.5ºC입니다. 최대 가열 온도는 800ºC입니다.
3). 흐름 표시기 1 벨트 2.
4). 이온화 전원 공급장치는 기판 3KW/1KW를 청소하는 데 사용됩니다.
5). FF160/620 분자 펌프 전원 공급 장치는 분자 펌프의 시작, 중지 및 작동을 제어합니다.
6). 하단에는 주 전원 영역 상자가 있습니다. 공기 스위치를 닫으면 장비 전원이 전체적으로 켜집니다. 위상 시퀀스 알람 포함.
PLD 코팅을 위한 기계 사양
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PLD 증착 챔버의 궁극적인 진공 |
5x10-5Pa 이상이다 |
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PLD 증착 챔버 펌핑 속도 |
40분 만에 7x10-4Pa 이상으로 좋은 곳 |
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PLD 증착 챔버 압력 유지 |
12시간<10Pa |
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기판 가열 |
800ºC |
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온도 제어 정확도 |
±0.5ºC |
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기판의 이동 속도 |
50 rpm |
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대상 위치 |
4개 위치 |
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기판 크기 |
안테나 60 |
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전원 공급 장치 |
최대 380V 3상 5선 전원 공급 장치 시스템, 전력 < 7kW |
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냉각수 |
순환 부피 > 15L/min, 냉각수 온도 15ºC~30ºC |
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작동 환경 온도 |
10ºC~40ºC |
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작동 환경 습도 |
30%~60% |
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바닥 공간 |
2000x2500mm |
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 실험실 기기의 전문 제조업체이며, 품질 및 판매 후 서비스를 약속할 수 있는 전문 R&D 팀과 워크샵이 있습니다.
Q. 보증 기간은 어떻게 됩니까?
A. 보증 기간은 12개월이며 , 평생 유지 보수를 제공합니다. 24시간 온라인 서비스를 제공합니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
a. 5-10일--- 매장 내. Customzied 제품 -- 사용자의 요구 사항에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 전원 공급 장치 및 플러그?
A. 현지 전압 및 플러그 표준에 맞는 제품을 제공할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A. T T, L/C, D/P 등
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A. 표준 수출 상품 포장 또는 요구 사항으로 포장 포장.
