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감사를 받은 공급업체 실험실의 진공 500W DC 양면 공급 장치 듀얼 타겟 Magnetron 코터 침을 뱉습니다
마그네트론 스퍼터링: 개요
퍼터링(Sputtering)은 에너지 넘치는 이온이 표적을 향해 가속되는 플라즈마 기반 증착 과정입니다. 이온이 표적에 부딪침하고 원자가 표면에서 배출됩니다(또는 침을 뱉습니다). 이 원자는 기질 쪽으로 이동해서 성장하는 필름에 통합됩니다.
랩 듀얼 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터:
1.듀얼 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터는 비용 효율적인 자그론 스퍼터링 코팅 장비이며 표준화되어 있습니다.
모듈식으로 사용자 지정 가능. 이 두 표적은 다층 또는 다중 코팅의 요구를 충족할 수 있습니다.
2.1인치, 2인치, 3인치, 마그네트론 타겟 옵션이 있습니다. 의 크기에 따라 대상을 선택할 수 있습니다
기질. 코터는 500W DC 전원 2개가 장착되어 있으며 전도성 물질의 준비에 사용됩니다.
3.코팅 장비에는 2채널 고정밀 질량 유량계가 장착되어 있습니다. 4채널 질량 유량계를 사용할 수 있습니다.
4.진공 시스템은 터보 분자 펌프이며, 궁극적인 진공은 최대 1.0E-5Pa, 맞춤형 펌프를 사용할 수 있습니다.
분자 펌프의 가스 경로는 여러 솔레노이드 밸브에 의해 제어되며, 펌프를 종료하지 않고 챔버를 열어 샘플을 가져올 수 있습니다.
통합 컨트롤 컴퓨터를 사용할 수 있습니다. 모든 기능을 컴퓨터에서 다시 사용할 수 있습니다
듀얼 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터의 사양:
| 제품 이름 | 듀얼 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 | |
| 모델 | TN-MSZ300S-II-DCDC-SS | |
| volatge | AC220V, 50Hz | |
| 총 전력 | 6kW | |
| 시스템 진공 | 5 × 10 - 4Pa | |
| 샘플 스테이지 | 크기 | φ150mm |
| 온도 상승 | = 500ºC | |
| 정확성 | ±1ºC | |
| 로테이 스피드 | 0 ~ 20rpm, 조절 가능 | |
| 퍼터덕거리는 총 | 대상 크기 | ≤ 50.8mm, 두께 <= 3mm |
| 냉각 | 물 냉각 | |
| 흐름 | 10L/min | |
| 진공 챔버 | 챔버 크기 | φ325mm * 500mm |
| 챔버 재료 | SUS304 | |
| 오바레이션 | φ100mm | |
| 개방 | 맨 위로 열기 | |
| 가스 시스템 | 단방향 질량 유량계, AR-200SCCM | |
| 진공 시스템 | 분자 펌프 시스템 -- 600L/s | |
| 필름 두께 | 석영 수정막 두께 모니터, 주파수 0.10 Å | |
| 스퍼터링 파워 | DC 웨이크업 공급 500W * 2 | |
| 코넬 | PLC + 터치 스크린 | |
| 전체 크기 | 600 * 650 * 1080mm | |
| 무게 | 1,45kg | |
1. 우리는 마그네트론 스퍼터링 코터를 1 타겟, 2 타겟, 3 타겟, 4 타겟 등과 함께 가지고 있습니다. 목표는 챔버의 상단 또는 하단에 설계할 수 있습니다.
2.0-1000W DC 전원 또는 RF 전원 대상이 사용 가능합니다. 바이어스 기능은 선택 사항입니다.
3.대상 크기: 1인치, 2인치, 3인치, 4인치 등
강한 자기 표적과 영구 자기 표적은 선택 사항입니다.
5.증발과 함께 마그네트론 스퍼터링 코터, E-빔을 사용할 수 있습니다.
6.맞춤형 서비스는 항상 이용 가능합니다!
정저우 타이노오 필름 재료 주식회사는 디자인, 연구 개발, 생산 및 판매를 통합하는 종합 회사입니다.
당사의 주요 제품은 스핀 코터, 열 증발 코터, 마그네트론 스파터 코터, 플라즈마 스파터 코터, E-빔 증발 코터, PLD 펄스 레이저 코팅 기계, 플라즈마 클리너, CVD 시스템, PECVD 시스템, 다이아몬드 와이어 절단 기계, 용광로/스토브, 아크 용해 용광로 등
당사의 제품은 재료과학 연구 분야에서 널리 사용되고 있습니다. 국내 대학, 실험실, 신소재 회사들과 폭넓은 협력을 하고 있습니다. 미국, 영국, 독일, 러시아, 스위스, 캐나다, 브라질 등 . 현지 딜러들과 장기적인 협력 관계를 구축하였습니다.
재료 연구를 수행하는 경우, 당사에 문의하시면 귀하의 연구 실험을 보다 원활하게 진행할 수 있도록 맞춤형 서비스를 제공해 드립니다!
우리는 육지, 바다, 공기, 급기로 마그네론 거퍼터 코터를 배송할 수 있으며, 또한 당신의 요구사항에 따라 포장과 배송을 준비할 수 있습니다.
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 실험실 기기의 전문 제조업체이며, 품질 및 판매 후 서비스를 약속할 수 있는 전문 R&D 팀과 워크샵이 있습니다.
Q. 보증 기간은 어떻게 됩니까?
A. 보증 기간은 12개월이며 , 평생 유지 보수를 제공합니다. 24시간 온라인 서비스를 제공합니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
a. 5-10일--- 매장 내. Customzied 제품 -- 사용자의 요구 사항에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 전원 공급 장치 및 플러그?
A. 현지 전압 및 플러그 표준에 맞는 제품을 제공할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A. T T, L/C, D/P 등
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A. 표준 수출 상품 포장 또는 요구 사항으로 포장 포장.
마자네트론이 작업에 적합한 과정을 거침합니까?
연락하시면 귀하의 프로젝트에 대해 협업할 수 있습니다.
어떻게 하면 목표를 달성할 수 있을까요? 당사의 엔지니어링 팀이 극복하는데 어떤 기술적 장애물을 극복할 수 있을까요? '터치 사용' 버튼을 눌러 연락주세요. 귀하의 연구에 대해 듣고 저희가 어떤 방법으로든 도움을 드릴 수 있게 되어 기쁩니다.
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