After-sales Service: | on-Line Service |
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Warranty: | One Year |
Application: | Industry, School, Lab |
Customized: | Customized |
Certification: | CE |
Structure: | Portable |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
절연 물질 SiO2 Si3n4용 실험실 CVD 진공로
PECVD 용광로의 사양
진공 튜브 용광로 | 모델 | TN-PECVD50-1200-Q |
총 전력 | 3kw | |
튜브 재질 | 고순도 석영 | |
튜브 직경 | 60mm | |
튜브 길이 | 1,200mm | |
용광로 챔버 길이 | 440mm | |
가열 구역 길이 | 200mm + 200mm | |
작동 온도 | 0 ~ 1150ºC | |
열전대 | K형 | |
온도 제어 정확도 | ±1ºC | |
온도 제어 모드 | 30 세그먼트 프로그램 온도 제어 | |
디스플레이 모드 | LED(하이라이트 디지털 튜브 디스플레이) | |
씰링 방식 | 304 스테인리스 스틸 진공 플랜지 | |
플랜지 인터페이스 | 1/4" 절단 슬리브 조인트(Ø8 파고다 조인트) | |
회전 속도 | 0-13rpm | |
진공 | 4.4 × 10E-3Pa | |
전원 공급 장치 | AC: 220V 50 / 60Hz | |
가스 시스템 | 모델 | TN-3F |
가스 채널 | 3채널 | |
측정 단위 | 질량 유량계 | |
측정 범위 | A 채널: 0 ~ 200scm H2 가스 | |
B 채널: 0 ~ 200scm N2 가스 | ||
C 채널: 0 ~ 500scm AR 가스 | ||
측정 정확도 | ±1.5% | |
파이프 압력 저항 | 3MPa | |
작동 압력 차이 | 0.1 - 0.5Mpa | |
연결 파이프 | 304 스테인리스 스틸 | |
가스 채널 | 304 스테인리스 스틸 니들 밸브 | |
인터페이스 사양 | 가스 입구 및 출구용 1/4" 절단 슬리브 조인트 | |
진공 시스템 | 기계식 펌프 | 로터리 베인 진공 펌프 |
펌핑 속도 | 1L/S | |
배기 인터페이스 | KF16 | |
진공 측정 | Pirani 게이지 | |
최고의 진공 청소기 | 10E-1Pa | |
전원 공급 장치 | AC: 220V 50 / 60Hz | |
펌프 인터페이스 | KF40 | |
RF 전원 공급 장치 | 주파수 | 13.56Mhz |
출력 | 0-500W | |
최대 반사 출력 | 100W | |
연결 | 50Ω, N형, 암 |
1.에어 프로덕츠는 CVD/PECVD 기계와 가스 공급 시스템 + 진공 시스템 + 튜브 용광로 + 플라즈마 발생기를 보유하고 있습니다.
2.튜브 용광로(온도): 1200C, 1400C, 1600C, 맞춤형 온도를 사용할 수 있습니다.
3.튜브 용광로(가열 구역): 단일 구역, 이중 구역, 삼중 구역, 사용자 지정된 가열 구역 번호를 사용할 수 있습니다.
4.튜브 재질: 석영, 코로나, 합금 및 기타 튜브 재질 사용자 지정 가능.
지름이 다른 튜브 및 길이를 사용자 지정할 수 있습니다.
6.플라즈마 발생기: 100W, 150W, 300W, 500W, 1000W, 또한 플라즈마 생성기의 다른 전력을 사용자 지정할 수 있습니다.
7.유량계: 1~3개 또는 다중 채널 유량계는 공정에 따라 선택 사항입니다.
우리는 CVD, PECVD 기계를 바다, 공기, 육지, 익스프레스를 통해 배송할 수 있습니다, 또한 우리는 당신의 요구사항에 따라 배송을 준비할 수 있습니다.
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 실험실 기기의 전문 제조업체이며, 품질 및 판매 후 서비스를 약속할 수 있는 전문 R&D 팀과 워크샵이 있습니다.
Q. 보증 기간은 어떻게 됩니까?
A. 보증 기간은 12개월이며 , 평생 유지 보수를 제공합니다. 24시간 온라인 서비스를 제공합니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
a. 5-10일--- 매장 내. Customzied 제품 -- 사용자의 요구 사항에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 전원 공급 장치 및 플러그?
A. 현지 전압 및 플러그 표준에 맞는 제품을 제공할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A. T T, L/C, D/P 등
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A. 표준 수출 상품 포장 또는 요구 사항으로 포장 포장.
프로젝트에 대해 논의해야 할까요?
연락하시면 필요한 답변과 솔루션을 얻을 수 있도록 협력할 수 있습니다.
어떻게 하면 목표를 달성할 수 있을까요? 당사의 엔지니어링 팀이 극복하는데 어떤 기술적 장애물을 극복할 수 있을까요? '터치 사용' 버튼을 눌러 연락주세요. 귀하의 연구에 대해 듣고 저희가 어떤 방법으로든 도움을 드릴 수 있게 되어 기쁩니다.
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