• 실험실 PECVD 절연체 물질용 진공 용광로 SiO2 Si3n4
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실험실 PECVD 절연체 물질용 진공 용광로 SiO2 Si3n4

After-sales Service: on-Line Service
Warranty: One Year
Application: Industry, School, Lab
Customized: Customized
Certification: CE
Structure: Portable

공급 업체에 문의

골드 멤버 이후 2023

비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체

Henan, 중국
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개요

기본 정보

모델 번호.
TN-PECVD50-1200-Q
Material
Stainless Steel
Type
Tubular Furnace
제품 이름
CVD Tuber Furnace
튜브 재질
고순도 석영
온도
1200c
가열 구역
200mm*1
용광로 튜브 크기
50 * 450mm
온도 정확도
1C
RF 전력
150W
운송 패키지
Fumigated Wooden Box
사양
1000*800*1500mm
등록상표
TN
원산지
China
세관코드
8401200000
생산 능력
20 Sets Per Month

제품 설명

 절연 물질 SiO2 Si3n4용 실험실 CVD 진공로
 

제품 설명

 

Lab Pecvd Vacuum Furnace for Insulator Material Sio2 Si3n4

1.이 CVD 시스템은 고온으로 된 1200ºC 미니 튜브 용광로를 사용하여 그래프 생산을 위해 특별히 설계되었습니다.
   정밀 질량 유량계와 박막 진공 게이지

2.기존의 Pirani 저항 게이지와 비교했을 때 박막 게이지의 판독값은 정확하며 의 영향을 받지 않습니다
   진공 코팅 공정에 매우 적합한 가스 종류

3.CVD 튜브 용광로에는 공기 중의 솔레노이드 밸브와 연결되는 가연성 가스 감지 장치가 장착되어 있습니다
   출구. 누출이 있는 경우 안전을 위해 솔레노이드 밸브를 닫을 수 있습니다.


4.CVD 튜브 용광로에는 설치 공간이 포함되어 있어 CVD 실험실 준비에 매우 적합합니다.
제품 매개변수

PECVD 용광로의 사양

진공 튜브 용광로 모델 TN-PECVD50-1200-Q
총 전력 3kw
튜브 재질 고순도 석영
튜브 직경 60mm
튜브 길이 1,200mm
용광로 챔버 길이 440mm
가열 구역 길이 200mm + 200mm
작동 온도 0 ~ 1150ºC
열전대 K형
온도 제어 정확도 ±1ºC
온도 제어 모드 30 세그먼트 프로그램 온도 제어
디스플레이 모드 LED(하이라이트 디지털 튜브 디스플레이)
씰링 방식 304 스테인리스 스틸 진공 플랜지
플랜지 인터페이스 1/4" 절단 슬리브 조인트(Ø8 파고다 조인트)
회전 속도 0-13rpm
진공 4.4 × 10E-3Pa
전원 공급 장치 AC: 220V 50 / 60Hz
가스  시스템 모델 TN-3F
가스 채널 3채널
측정 단위 질량   유량계
측정 범위  A 채널:  0 ~ 200scm   H2 가스
B 채널:  0 ~ 200scm  N2 가스
C 채널:  0 ~ 500scm   AR 가스
측정 정확도 ±1.5%
파이프 압력 저항 3MPa
작동 압력 차이 0.1 - 0.5Mpa
연결 파이프 304 스테인리스 스틸
가스 채널 304 스테인리스 스틸 니들 밸브
인터페이스 사양 가스 입구 및 출구용 1/4" 절단 슬리브 조인트
진공 시스템 기계식 펌프 로터리 베인 진공 펌프
펌핑 속도 1L/S     
배기 인터페이스 KF16
진공 측정 Pirani 게이지
최고의 진공 청소기 10E-1Pa
전원 공급 장치 AC: 220V 50 / 60Hz
펌프 인터페이스 KF40
RF 전원 공급 장치 주파수 13.56Mhz
출력 0-500W
최대 반사 출력 100W
연결 50Ω, N형, 암

 

상세 사진

1.에어 프로덕츠는 CVD/PECVD 기계와 가스 공급 시스템 + 진공 시스템 + 튜브 용광로 + 플라즈마 발생기를 보유하고 있습니다.
2.튜브 용광로(온도): 1200C, 1400C, 1600C, 맞춤형 온도를 사용할 수 있습니다.
 3.튜브 용광로(가열 구역): 단일 구역, 이중 구역, 삼중 구역, 사용자 지정된 가열 구역 번호를 사용할 수 있습니다.
4.튜브 재질: 석영, 코로나, 합금 및 기타 튜브 재질 사용자 지정 가능.
지름이 다른 튜브 및 길이를 사용자 지정할 수 있습니다.
6.플라즈마 발생기: 100W, 150W, 300W, 500W, 1000W, 또한 플라즈마 생성기의 다른 전력을 사용자 지정할 수 있습니다.
7.유량계: 1~3개 또는 다중 채널 유량계는 공정에 따라 선택 사항입니다.
Lab Pecvd Vacuum Furnace for Insulator Material Sio2 Si3n4Lab Pecvd Vacuum Furnace for Insulator Material Sio2 Si3n4Lab Pecvd Vacuum Furnace for Insulator Material Sio2 Si3n4
Lab Pecvd Vacuum Furnace for Insulator Material Sio2 Si3n4

회사 프로필

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포장 및 배송

우리는 CVD, PECVD 기계를 바다, 공기, 육지, 익스프레스를 통해 배송할 수 있습니다, 또한 우리는 당신의 요구사항에 따라 배송을 준비할 수 있습니다.
Lab Pecvd Vacuum Furnace for Insulator Material Sio2 Si3n4

FAQ

Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A.  당사는 실험실 기기의 전문 제조업체이며, 품질 및 판매 후 서비스를 약속할 수 있는 전문 R&D 팀과 워크샵이 있습니다.  

Q. 보증 기간은 어떻게 됩니까?
A.  보증 기간은 12개월이며 , 평생 유지 보수를 제공합니다. 24시간 온라인 서비스를 제공합니다.

Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
a. 5-10일--- 매장 내. Customzied 제품 -- 사용자의 요구 사항에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.

Q. 전원 공급 장치 및 플러그?
A. 현지 전압 및 플러그 표준에 맞는 제품을 제공할 수 있습니다.

Q. 결제 방법
A.  T T, L/C, D/P 등

Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A.  표준 수출 상품 포장 또는 요구 사항으로 포장 포장.

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