비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
감사를 받은 공급업체 실험실 1200C 플라즈마 고급 화학 증기 탈기 PECVD 시스템 실리콘 와퍼
플라스마 강화 화학증기 증착(PECVD) 은 화학무기 증착 반응을 향상시키기 위해 저온에서 플라즈마 활성화를 사용하는 것이 특징인 일종의 화학적 증기 증착입니다. 이 방법의 장점은 증착 온도가 낮고 증착 속도가 빠르며 , 생산된 필름은 우수한 전기적 특성, 우수한 기판 부착 및 우수한 스텝 적용 범위를 가지고 있다는 것입니다.
PECVD 시스템 사양
| 모델 번호 | TN-PECVD-200SST | ||
| 캐비티 크기 | Phi 500- | ||
| 따뜻한 구역 길이 | 200 | ||
| RF 전원 공급 장치 | 500W(1000W는 선택 사항) | ||
| 온도 | 1000ºC | ||
| 산림을 위한 펌프 | 분자 펌프 세트 | ||
| 표시 유형 | T형 | ||
| 따뜻한 구역 | 단일 영역 | ||
| 물 냉각기 | CW5200 | ||
| 캐비티 재질 | SS | ||
| SampleHeating 온도 |
RT-1000ºC 이상, 온도 조절 정확도 : ±1.C, 온도 조절을 위해 온도 조절 미터 사용; 조절 가능한 속도: 1 - 20rpm 조절 가능 |
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| 스프레이 헤드 크기 | 분말 헤드와 샘플 40-100mm 사이의 전극 간격( 공정에 따라 조정 가능) 및 눈금자 지수 디스플레이로 조정 가능 | ||
| 샘플 테이블 | 직경 200mm | ||
| 증착을 위한 작업 진공 | 0.133 - 133Pa(공정에 따라 조정 가능) | ||
| 상단 플랜지 | 모터에서 들어 올릴 수 있고 기질은 쉽게 바꿀 수 있으며 시각적인 포트가 있습니다 | ||
| 기질 테이블 | 기질 테이블의 선형 및 방위각 운동, 기질 가열 및 온도 제어, 장착 테이블과 터치스크린 제어, 기질 선형 모션은 수동으로 제어되고 기질 회전은 DC 모터에 의해 제어됩니다 | ||
| 진공 챔버 | 전면 도어 열림 유형 , φ500mm X 500mm 스테인리스 스틸 | ||
| 관찰 창 | φ100mm(배플 포함 | ||
| 질량 유량계 | 6방향 질량 유량계 | ||
| 가스 경로 수 | 6개 경로 | ||
| 압력 범위 | 0.15MPa ~ 0.15MPa | ||
| 범위 | 0 ~ 100 SCCM(산소) 0 ~ 100 SCCM(CF4) 0 ~ 200 SCCM(SF6) 0 ~ 200 SCCM(아르곤) 0 ~ 500 SCCM(기타 가스 공기) 0-500 SCCM(기타 가스 질소) |
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| 유량 제어 범위 | 1.5% 이하 | ||
| 가스 경로 재질 | 304 스테인리스 스틸 | ||
| 파이프 조인트 | 6.35mm 부싱 조인트 | ||
| 진공 시스템 | 프론트 펌프: 오일 프리 진공 펌프 4.7L/S 분자 펌프: 1200L/S |
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| 측정 범위 | 1 x 10-5 ~ 1 x 105Pa | ||
| 측정 정확도 | 1 x 10-5 ~ 1 x 10 - 4Pa ± 40% 판독값 1 x 10-4 ~ 1 x 105Pa ± 20% |
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1.에어 프로덕츠는 CVD/PECVD 기계와 가스 공급 시스템 + 진공 시스템 + 튜브 용광로 + 플라즈마 발생기를 보유하고 있습니다.
2.튜브 용광로(온도): 1200C, 1400C, 1600C, 맞춤형 온도를 사용할 수 있습니다.
3.튜브 용광로(가열 구역): 단일 구역, 이중 구역, 삼중 구역, 사용자 지정된 가열 구역 번호를 사용할 수 있습니다.
4.튜브 재질: 석영, 코로나, 합금 및 기타 튜브 재질 사용자 지정 가능.
지름이 다른 튜브 및 길이를 사용자 지정할 수 있습니다.
6.플라즈마 발생기: 100W, 150W, 300W, 500W, 1000W, 또한 플라즈마 생성기의 다른 전력을 사용자 지정할 수 있습니다.
7.유량계: 1~3개 또는 다중 채널 유량계는 공정에 따라 선택 사항입니다.
기타 기계:
우리는 CVD, PECVD 기계를 바다, 공기, 육지, 익스프레스를 통해 배송할 수 있습니다, 또한 우리는 당신의 요구사항에 따라 배송을 준비할 수 있습니다.
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 실험실 기기의 전문 제조업체이며, 품질 및 판매 후 서비스를 약속할 수 있는 전문 R&D 팀과 워크샵이 있습니다.
Q. 보증 기간은 어떻게 됩니까?
A. 보증 기간은 12개월이며 , 평생 유지 보수를 제공합니다. 24시간 온라인 서비스를 제공합니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
a. 5-10일--- 매장 내. Customzied 제품 -- 사용자의 요구 사항에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 전원 공급 장치 및 플러그?
A. 현지 전압 및 플러그 표준에 맞는 제품을 제공할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A. T T, L/C, D/P 등
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A. 표준 수출 상품 포장 또는 요구 사항으로 포장 포장.
프로젝트에 대해 논의해야 할까요?
연락하시면 필요한 답변과 솔루션을 얻을 수 있도록 협력할 수 있습니다.
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