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감사를 받은 공급업체 이 유형의 소형 플라즈마 스퍼터링 코팅 기계는 SEM 샘플 준비 또는 금속 코팅 실험에 널리 사용되는 2단계 스퍼터링 방법을 채택합니다. 저온 플라즈마 스퍼터링 공정을 사용하면 코팅 과정에서 고온이 발생하지 않으며 열 손상을 쉽게 생성할 수 없습니다.
이 작은 플라즈마 스퍼터링 코터에서는 PLC 제어 시스템, 모든 터치 스크린 작동, 쉬운 학습 및 사용이 가능합니다. 이 모델 기계에는 또한 회전 가능한 샘플 단계가 장착되어 있어 코팅의 균일성을 효과적으로 개선할 수 있습니다. 이 작은 플라즈마 스퍼터링 기기는 PLC 제어 시스템을 사용하며, 모든 터치 스크린 작동을 하고, 배우고 사용하기 쉽습니다. 장비의 크기는 작고 외관이 아름다워 실험실 코팅 실험에 가장 적합합니다.
응용 프로그램
금속 거름간 코팅에 사용할 수 있으며, 특히 금, 은, 구리 등의 금속 코팅에 사용할 수 있습니다.
기술 매개변수:
| 제품 모델 | TN-PLZ180-III-DC-Q | |
| 샘플 단계 | 크기 | 100mm |
| 샘플 단계에서부터 대상 표면까지의 거리 | 높이 조절이 가능한 20~35mm | |
| 회전 속도 | 1 ~ 20rpm 조절이 가능합니다 | |
| 온도 상승 | / | |
| 온도 제어 정확도 | / | |
| 플라즈마 침을 튀는 소스 | 수량 | 2인치 * 3 |
| 냉각 방법 | 자연스러운 냉각 | |
| 진공 챔버 | 챔버 크기 | φ180mm x 200mm |
| 관찰 창 | 전방향 시야 | |
| 챔버 재료 | 고순도 석영 | |
| 열기 방법 | 상단 덮개 분리 가능 | |
| 상단 및 하단 덮개 소재 | 304 스테인리스 스틸 | |
| 펌핑 포트 | KF16 | |
| 흡기 포트 | 1/4인치 페룰 커넥터 | |
| 전원 구성 | 수량 | DC 전원 공급 장치 x1 |
| 출력 전원 | 최대 150W | |
| 스퍼터링 파워 | 1200V | |
| 최대 스퍼터링 전류 | 50mA | |
| 진공 시스템 | 진공 펌프 유형 | 2단 로터리 베인 진공 펌프 |
| 펌핑 포트 | KF16 | |
| 배기 인터페이스 | KF16 | |
| 펌핑 속도 | 1L/s(4m3/h) | |
| 최고의 진공 청소기 | ≥0.1Pa | |
| 진공 측정 | 저항 진공 게이지 | |
| 기타 | 전원 공급 장치 | AC 220V 50Hz |
| 총 전력 | 1.5kW/2kW | |
| 치수 | 570mm * 450mm * 500mm | |
| 무게 | 30kg | |
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 전문 실험실 기기 제조업체이며 자체 설계 팀과 공장을 보유하고 있으며, 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며, 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.
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