이중 타겟 마그네트론 스퍼터 및 열 증발 복합 코터를 이용한 반도체 샘플 준비

제품 세부 정보
판매 후 서비스: 12개월
보증: 12개월
유형: 코팅 생산 라인
골드 멤버 이후 2023

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개요

기본 정보

모델 번호.
TN-MS325S-2TA1S
코팅
진공 코팅
기판
강철
인증
CE
조건
새로운
냉각 모드
물 냉각
온도 상승
최대 500ºc
회전 속도
1-20rpm 조절 가능
기판 크기
직경 185mm
진공 챔버
스테인리스 스틸
마그네트론 스퍼터링 타겟 헤드
마자론 퍼터링 헤드 2개
샘플 스테이지 크기
최대 4" 기질을 배치할 수 있습니다
회전 속도
1-20rpm(조절식)
최고 난방 온도
500ºc
온도 제어 정확도
/- 1.0°C
가스 흐름 컨트롤러
2개의 질량 유량계는 기기 내부에 설치되어 있습니다
진공 펌프
원버튼 o 를 사용하는 분자 펌프 시스템 세트
냉각 시스템
16L/min
운송 패키지
푸만화된 나무 상자
사양
290mmx365mmx260mm
등록상표
TN
원산지
중국
세관코드
8486209000
생산 능력
200개월

제품 설명

듀얼 타겟 Magnetron 퍼터 및 열 증발 복합 코터
SEM 샘플 준비

제품 설명
이중 표적 자전자 거터 및 열 증발 투인원 코팅 장비는 전자 제품, 유리, 세라믹 샘플, 금속 및 기타 시료의 코팅에 사용할 수 있으며, 특히 실험실의 SEM(전자 현미경 스캔)의 시료 준비에 적합합니다. 이 장비는 주로 스테인리스 스틸 진공 챔버, 자간 스퍼터링 타겟, 증발 소스, 로터리 가열 샘플 테이블, 진공 펌프 유닛, 진공 측정 게이지, 흡기 시스템 및 컨트롤 시스템
  1. 터치 스크린 작동, 온도 컨트롤 미터 감지 디지털 매개변수 인터페이스와 자동 작동 모드는 사용자에게 우수한 연구 및 개발 플랫폼을 제공합니다.
  2. 진공 챔버는 304개의 스테인리스 스틸로 만들어져 있으며, 관찰 창과 배플이 있습니다. 아름다운 형태, 섬세한 기술, 탁월한 진공 성능. 메인 씰링 플랜지는 CF 시리즈 고압 진공 씰링 플랜지입니다. 진공 챔버의 각 인터페이스는 진공 성능이 뛰어나고 코팅 품질을 효과적으로 보장할 수 있는 고무 씰 링으로 씰링됩니다.
  3. 타겟은 캐비티 하단에 있고 타겟은 위쪽을 향하고 있습니다. 샘플 표에는 가열 및 회전 기능이 있어 코팅 효과가 더욱 균일할 수 있습니다.
  4. 진공 획득 시스템은 2단 진공 펌프 그룹을 채택합니다. 배킹  펌프는 펌핑 속도가 빠른 기계식 펌프이며, 이를 통해 대기 압력에서 진공 낮음으로 시간을 효과적으로 줄일 수 있습니다. 메인 펌프는 펌프 속도가 빠르고 진공 획득 속도가 빠른 터빈 분자 펌프입니다. 전체 진공 획득 시스템이 깨끗하고 빠릅니다.
제품 매개변수

 

기술 매개변수
모델 TN-MS325S-2TA1S
예제 표 크기 150mm 지름 난방 ≤ 500ºC
  회전 속도 1-20R/min 온도 조절 ±1ºC
마그네트론 거터 헤드 수량 2인치 × 2 냉각 모드 수냉식
열 증발 증발기 소스 텅스텐 와이어 바스켓 최대 온도 1800ºC
열전대 S 유형      
진공 챔버 크기 300mmDia. × 300mmH 시계 창 100mm 지름
재질 304 SUS 열기 모드 프론트 오프닝 도어
 
진공 시스템 기계식 펌프 로터리 베인 펌프 추출 인터페이스 KF16
펌핑 1L/s    
분자 펌프 터보 분자 펌프 추출 인터페이스 CF150
펌핑 600L/s 배기 인터페이스 KF40
진공 게이지 저항 게이지 + 이온화 게이지    
최고의 진공 상태 1.3x10-4Pa 전원 공급 장치 AC; 220V 50 / 60Hz
퍼터 전원 공급 장치 DC 전원 공급 장치 1세트 출력 전원 ≤ 1000W
출력 전압 ≤ 600W 응답 시간 5ms 미만
RF 전원 공급 장치 1세트 출력 전원 ≤ 1000W
파워 안정성 5W 이하    
RF 주파수 13.56MHz RF 안정성
 
±0.005%
필름 두께 게이지 해상도 ±0.03Hz 정확성 ±0.5%
상한 범위
 
50000 속도 100 ~ 1000ms
수냉식 시스템 탱크 용량 9L 흐름 10L/min
가스 시스템 유량계 유형 MFC(질량 유량계) 범위 200scm
가스 종류 AR    

기타
입력 공급 AC220V, 50Hz 크기 1400x750x1300mm
총 전력 4kW(호스트 + 진공 펌프) 무게 295kg

새로운 샘플 테이블을 사용할 수 있습니다
샘플 크기 Dia.150mm 샘플 최대 높이 70mm 조정 가능
  회전 속도 1 ~ 20rpm 난방 0 ~ 500ºC
 
상세 사진

Dual Target Magnetron Sputter and Thermal Evaporation Composite Coater for Sem Sample PreparationDual Target Magnetron Sputter and Thermal Evaporation Composite Coater for Sem Sample PreparationDual Target Magnetron Sputter and Thermal Evaporation Composite Coater for Sem Sample PreparationDual Target Magnetron Sputter and Thermal Evaporation Composite Coater for Sem Sample Preparation

 
회사 프로필

 

 
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Dual Target Magnetron Sputter and Thermal Evaporation Composite Coater for Sem Sample Preparation
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?

A. 당사는 전문적인 실험실 기기 제조업체로서, 자체 설계 팀과 공장에서 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.

Q. 귀사의 제품 애프터 서비스 시스템은 어떻게 됩니까?

A.  제품 보증 기간은 12개월이며, 평생 유지 보수를 제공할 수 있습니다. 당사는 기술적 문제를 해결하기 위해 24시간 내에 대응할 수 있는 전문적인 사전 판매 및 애프터세일즈 부서를 보유하고 있습니다.

Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?

A.1. 상품이 재고로 있다면 5-10일입니다. 2.고객에게 맞춤형 서비스를 제공할 수 있습니다. 사용자 지정 기기의 사양에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.

Q. 우리 나라의 전원 공급 장치와 플러그는 다릅니다. 어떻게 해결합니까?

A. 다른 국가의 전원 플러그에 따라 현지 요구 사항에 따라 변압기와 플러그를 공급할 수 있습니다.

Q. 결제 방법

A.T., L/C, D/P 등, 중국 무역 보증에서 Made를 사용하는 것이 좋습니다.

Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?

A.1. 표준 수출 포만화 표지판 나무 상자 포장 2. 고객의 요구 사항에 따라 익스프레스, 에어, 해상 배송 중에서 가장 적합한 방법을 찾아 보십시오.

더 많은 질문이 있으시면 저희에게 문의해 주십시오.

 

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