After-sales Service: | 12 Months |
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Warranty: | 12 Months |
유형: | Coating Sputtering |
인증: | CE |
샘플 크기: | Mobil 100mm |
온도 상승: | 최대 500ºc |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
이 제품은 당사의 독자적인 개발 과정을 통해 비용 효율적인 플라즈마 스퍼터 코팅 장비입니다. 이 구조는 컴팩트한 구조, 사용하기 쉽고, 높은 통합 및 강력한 디자인 감각의 장점을 지니고 있습니다. 플라즈마 스퍼터링 표적은 표준 크기 2 인치 입니다. 고객은 다양한 재질의 단일 레이어 필름 또는 다중 레이어 필름의 다양한 실험 요구를 충족하기 위해 필요에 따라 1~3개의 다양한 대상을 구성할 수 있습니다.
이 장비에는 150W DC 고전압 전원 공급 장치가 장착되어 있으며, 금속 거름간 코팅에 사용할 수 있습니다. 특히 금, 은, 구리 등의 금속 코팅에 사용됩니다. 이 필름 코터에는 보호 가스의 도입을 위한 가스 연결부가 장착되어 있습니다. 고객이 혼합 가스를 통과해야 하는 경우, 실험 요구에 맞게 고정밀 질량 유량계를 구성하기 위해 직원에게 연락할 수 있습니다.
이중 타겟 헤드 플라즈마 스퍼터링 코터의 적용:
금속 거름간 코팅에 사용할 수 있으며, 특히 금, 은, 구리 등의 금속 코팅에 사용할 수 있습니다.
제품 모델 | TN-PLZ180-II-DC-Q | |
샘플 단계 | 크기 | 100mm |
샘플 단계에서부터 대상 표면까지의 거리 | 높이 조절이 가능한 20~35mm | |
회전 속도 | 1 ~ 20rpm 조절이 가능합니다 | |
온도 상승 | ≤ 500ºC | |
온도 제어 정확도 | ±1ºC PID 온도 조절 | |
플라즈마 침을 튀는 소스 | 수량 | 2인치 * 2 |
냉각 방법 | 물 냉각 | |
진공 챔버 | 챔버 크기 | φ180mm x 200mm |
관찰 창 | 전방향 시야 | |
챔버 재료 | 고순도 석영 | |
열기 방법 | 상단 덮개 분리 가능 | |
상단 및 하단 덮개 소재 | 304 스테인리스 스틸 | |
펌핑 포트 | KF16 | |
흡기 포트 | 1/4인치 페룰 커넥터 | |
전원 구성 | 수량 | DC 전원 공급 장치 x1 |
출력 전원 | 최대 150W | |
스퍼터링 파워 | 1200V | |
최대 스퍼터링 전류 | 50mA | |
진공 시스템 | 진공 펌프 유형 | 2단 로터리 베인 진공 펌프 |
펌핑 포트 | KF16 | |
배기 인터페이스 | KF16 | |
펌핑 속도 | 1L/s(4m3/h) | |
최고의 진공 청소기 | ≥0.1Pa | |
진공 측정 | 저항 진공 게이지 | |
기타 | 전원 공급 장치 | AC 220V 50Hz |
총 전력 | 1.5kW/2kW | |
치수 | 570mm * 450mm * 500mm | |
무게 | 30kg |
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 전문 실험실 기기 제조업체이며 자체 설계 팀과 공장을 보유하고 있으며, 성숙한 기술 경험을 보유하고 있으며, 제품의 품질과 최적의 가격을 보장할 수 있습니다.비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체