After-sales Service: | on-Line Service |
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Warranty: | One Year |
신청: | 산업, 학교, 실험실 |
사용자 정의: | 사용자 정의 |
인증: | CE |
구조: | 가지고 다닐 수 있는 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
1200C 단일 영역 로터리 PECVD 튜브 용광로 SiOx 증기 침착 용광로 중국 수집가
PECVD 시스템 사양:
1200ºC2 - 가열 구역 튜브 용광로 |
항목 | 세부 정보 |
전압 | AC220V, 50Hz | |
최대 전력 | 3KW | |
가열 구역 | 이중 구역 200mm + 200mm | |
작동 온도 | 1200ºC 이하 | |
온도 제어 정확도 | ±1ºC | |
온도 제어 방법 | AI-PID 30단계 프로세스 커브로 여러 개를 저장할 수 있습니다 | |
튜브 재질 | 고순도 석영 | |
튜브 크기 | φ80mm I.D x 1400mm L | |
씰링 모드 | 스테인리스 스틸 진공 플랜지 | |
진공 측정 | 저항 게이지 | |
작동 가스 | 수소, 질소, 아르곤, 산소 등의 비부식성 가스 | |
진공 펌프 | 양극 로터리 베인 진공 펌프 | |
최고의 진공 청소기 | 10^-1Pa | |
3방향 질량 유량계 |
항목 | 세부 정보 |
밸브 유형 | 스테인리스 스틸 니들 밸브 | |
가스 채널 | 3방향 | |
압력 범위 | 0.05 ~ 0.3MPa | |
범위 | 0~100개의 SCCM(AR) 200 SCCM(H2) 0~500개의 SCCM(CH4) |
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유량 제어 범위 | ±1.5% | |
탱크 용량 혼합 | 750ml | |
가스 경로 재질 | 304 스테인리스 스틸 | |
파이프 인터페이스 | 6.35mm 바이트 타입의 조인트 | |
전원 공급 장치 | AC220V 50Hz | |
RF 전원 공급 장치 |
항목 | 세부 정보 |
출력 전원 | 500W | |
출력 정확도 | ±1% | |
RF 주파수 | 13.56MHz | |
RF 안정성 | ±0.005% | |
냉각 방법 | 물 냉각 |
1.에어 프로덕츠는 CVD/PECVD 기계와 가스 공급 시스템 + 진공 시스템 + 튜브 용광로 + 플라즈마 발생기를 보유하고 있습니다.
2.튜브 용광로(온도): 1200C, 1400C, 1600C, 맞춤형 온도를 사용할 수 있습니다.
3.튜브 용광로(가열 구역): 단일 구역, 이중 구역, 삼중 구역, 사용자 지정된 가열 구역 번호를 사용할 수 있습니다.
4.튜브 재질: 석영, 코로나, 합금 및 기타 튜브 재질 사용자 지정 가능.
지름이 다른 튜브 및 길이를 사용자 지정할 수 있습니다.
6.플라즈마 발생기: 100W, 150W, 300W, 500W, 1000W, 또한 플라즈마 생성기의 다른 전력을 사용자 지정할 수 있습니다.
7.유량계: 1~3개 또는 다중 채널 유량계는 공정에 따라 선택 사항입니다.
정저우 타이노오 필름 재료 주식회사는 디자인, 연구 개발, 생산 및 판매를 통합하는 종합 회사입니다.
당사의 주요 제품은 스핀 코터, 열 증발 코터, 마그네트론 스파터 코터, 플라즈마 스파터 코터, E-빔 증발 코터, PLD 펄스 레이저 코팅 기계, 플라즈마 클리너, CVD 시스템, PECVD 시스템, 다이아몬드 와이어 절단 기계, 용광로/스토브, 아크 용해 용광로 등
당사의 제품은 재료과학 연구 분야에서 널리 사용되고 있습니다. 국내 대학, 실험실, 신소재 회사들과 폭넓은 협력을 하고 있습니다. 미국, 영국, 독일, 러시아, 스위스, 캐나다, 브라질 등 . 현지 딜러들과 장기적인 협력 관계를 구축하였습니다.
재료 연구를 수행하는 경우, 당사에 문의하시면 귀하의 연구 실험을 보다 원활하게 진행할 수 있도록 맞춤형 서비스를 제공해 드립니다!
우리는 CVD, PECVD 기계를 바다, 공기, 육지, 익스프레스를 통해 배송할 수 있습니다, 또한 우리는 당신의 요구사항에 따라 배송을 준비할 수 있습니다.
Q. 당신은 제조업체입니까, 아니면 무역 회사입니까?
A. 당사는 실험실 기기의 전문 제조업체이며, 품질 및 판매 후 서비스를 약속할 수 있는 전문 R&D 팀과 워크샵이 있습니다.
Q. 보증 기간은 어떻게 됩니까?
A. 보증 기간은 12개월이며 , 평생 유지 보수를 제공합니다. 24시간 온라인 서비스를 제공합니다.
Q. 배송 시간은 얼마나 됩니까? 기기를 사용자 정의하려는 경우, 시간이 얼마나 걸립니까?
a. 5-10일--- 매장 내. Customzied 제품 -- 사용자의 요구 사항에 따라 보통 30-60일이 걸립니다.
Q. 전원 공급 장치 및 플러그?
A. 현지 전압 및 플러그 표준에 맞는 제품을 제공할 수 있습니다.
Q. 결제 방법
A. T T, L/C, D/P 등
Q. 상품 패키지는 어떻게 됩니까? 배송 방법?
A. 표준 수출 상품 포장 또는 요구 사항으로 포장 포장.
프로젝트에 대해 논의해야 할까요?
연락하시면 필요한 답변과 솔루션을 얻을 수 있도록 협력할 수 있습니다.
어떻게 하면 목표를 달성할 수 있을까요? 당사의 엔지니어링 팀이 극복하는데 어떤 기술적 장애물을 극복할 수 있을까요? '터치 사용' 버튼을 눌러 연락주세요. 귀하의 연구에 대해 듣고 저희가 어떤 방법으로든 도움을 드릴 수 있게 되어 기쁩니다.
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