복합 실험실-on-a-칩 장치를 위한 다층 포토리소그래피 바이오칩 도매

제품 설명

광도색학 엔지니어링 칩 및 Bio-MEMS 파운드리(OEM/ODM 지원)

·제품 설명

ZEGOTA의 광도피조학 엔지니어드 칩은 차세대(NGS) 유전자 분석, 분자 진단 및 첨단 Bio-MEMS를 위해 설계된 최첨단 미세유체, 전극 및 센서 기반 플랫폼입니다. 고해상도 반도체 등급 투사 광도관ithography(Stepper Lithography) 및 정밀 건식/습식 에칭을 전문으로 하는 이 제품을 사용하면 완벽한 기하학적 충실도를 가진 미크론의 미크론적 미크론적 및 마이크로 스케일 구조를 제공합니다.
반도체 등급 제조 라인과 고급 표면 기능을 활용하는 ZEGOTA는 광자층 설계 및 광학 프로토타이핑에서 자동화된 고용량 웨이퍼 파운드리 생산에 이르는 완전히 통합된 OEM/ODM 파이프라인을 제공합니다. 리소그래피 기반 플랫폼은 대규모 병렬 처리 및 단일 분자 수준 생물학적 검출에 필요한 세계 최고 수준의 표면 균일성, 극한의 화학적 저항 및 정밀한 마이크로/나노 채널 충실도를 보장합니다.

·핵심 기술 장점 및 글로벌 벤치마크

마이크론 미만 광도관ithography Precision: 최첨단 I-line/DUV 스테퍼 리소그래피 및 고정밀 레이저 직접 쓰기를 활용하여 중요한 피처 크기를 350mm 이하로 만듭니다. 이 제품은 고급 미세유체 채널 네트워크 및 금속 마이크로 전극 어레이(Meas)에 대한 국제 Tier-1 표준을 준수합니다.
초고다중 계층 정렬(오버레이): 100mm 이하의 오버레이 정확도로 다중 마스크 정렬 프로세스를 지원합니다. 따라서 매우 복잡한 다중 계층 하이브리드 미세유체 구조와 통합된 CMOS 온칩 진단 센서가 가능합니다.
고급 딥 에칭 및 하이 종횡비: 실리콘용 딥 리액티브 이온 에칭(DRIE)과 쿼트/유리의 최적화된 습식 에칭을 갖추고 있어 최대 20:1의 화면 비율을 갖춘 채널을 생산합니다. 일반 필름 SU-8 광도석검사는 높은 종횡비 미세구조 복제에도 완벽하게 지원됩니다.

완벽한 표면 화학: 균일한 PEGylation, 아미노실란 정렬, 스트렙타비딘 고정화를 포함한 최상층 분자 표면 변형(CVD/액체 상)을 제공합니다. 표면 균일성 편차는 ±2% 이내로 유지되어 비특이적 결합을 최소화하고 생체 분자 캡처를 최적화합니다.
10/100급 클린룸 옐로우 룸: 모든 광도식, 노출, 개발 및 검사 프로세스는 Class 10/100급 규명 GMP 환경 내에서 매우 엄격한 Class 10/100의 현지 청정 구역에서 실행되므로 먼지 아첨화 없이 유동성이 뛰어납니다.

·대상 응용 프로그램

광도식각 엔지니어링 칩과 특수 주조 서비스는 중요한 글로벌 생명 과학 및 미소유학 분야를 지원합니다.
차세대 염기서열분석(NGS) 및 어레이: DNA 클러스터 증폭에 최적화된 Photolitho그래프로 작성된 고밀도 플로우 셀 및 패턴 마이크로 웰 어레이.
마이크로 전극 배열(Meas): 세포 전기 생리학 및 신경 신호 기록을 위한 석영/유리/실리콘의 초미세 금색, 백금 또는 크롬 전극 패턴
분자 진단 및 Droplet dPCR: 디지털 PCR 분할 및 드롭릿 기반 POCT(Point-of-Care Testing)용으로 설계된 정밀 고가로 세로 비율 미세유체 칩.
Organ-on-a-Chip & Bio-MEMS: 약물 검사를 위해 복잡한 생리학적 환경을 복제하는 다중 계층 마이크로 채널 네트워크.

·제품 매개변수(Tier-1 표준에 따라 벤치마킹)

기능 항목	설명 / 국제 표준 사양
주요 기술	고해상도 스테퍼 광도관ithography, 레이저 직접 쓰기, Silicon DRIE, 유리/석영 습식 에칭
칩 기판	실리콘 기반, Quartz 기반, Soda-LIME 유리, 붕규산염 유리 및 SU-8/PDMS/COP 폴리머
노출 해상도(CD)	350mm 이하(미크론 미만 이음 기능, 초미세 전극 피치, 마이크로필러 어레이)
오버레이 정렬 정확도	≤ 100mm(복합 다중 마스크, 다층 미세유체 구조의 경우)
화면 비율 가져오기	최대 20:1(실리콘 DRIE); 에칭 깊이 균일성 편차 ≤ ±2%
곡면 수정	친수성/소수성 튜닝, PEGylation, Silanization, Biotin-Streptavidin 코팅
청정실 표준	Class 10/100 photolithography Yellow 객실, GMP Class 10,000 포장
품질 관리	ISO 13485:2016(의료 기기 품질), FDA 등록, CE 준수
파운드리 서비스 모델	마스크 디자인 → 사진 마스킹 → 리소그래피 & 에칭 → 다이싱 → 표면 기능화 → 조립

·개요 소개

Zhejiang ZEGOTA Precision Technology Co., Ltd.는 고정밀 반도체 등급 마이크로 및 나노마멸을 전문으로 하는 기술 중심의 최고의 선구자입니다. 업계 최고의 프로젝션 광도피학 시스템, 고급 에칭 도구, 세계적인 다분야 R&D 팀을 갖춘 ZEGOTA는 글로벌 진단, 유전체학 및 정밀 의학의 엄격한 요구를 충족하는 맞춤형 파운드리 서비스를 제공합니다.
광도마기 디자인, 정밀 리소그래피, 딥 에칭, 표면 화학, 대량 생산을 하나의 지붕에 통합함으로써 하드웨어만 공급하는 것이 아니라 전 세계 차세대 생명공학 상용화를 가속화합니다.