비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
99.7% Al2O3 알루미늄 기질은 고순도 재질이자 크기가 큰 새 재질로서, 물리적 특성이 뛰어나고 화학적 특성이 안정적이어서 다른 재료에 비해 가격이 저렴합니다. 고순도 알루미늄 은 항상 세계 최고의 연구 및 고급 세라믹 및 미세 세라믹 공장에서 계속 발전합니다. Farcera 99.7% Alumina 세라믹 시리즈 제품은 주로 CMP 공정의 연삭 패널로 반전도체 산업에서 사용되고, LCD 산업에서 사용되는 대형 알루미늄 세라믹 기질 및 세라믹 패널로 사용되는 리소그래피 방식을 사용합니다.
여기에서는 반도체 산업의 CMP 공정에 사용되는 Chemshun 고순도 99.7% Alumina 웨이퍼/사파이어 연마판을 소개합니다.
적용 분야:
반전도성, 다이아몬드 폴리싱 등에 사용되는 알루미늄 세라믹 웨이퍼 광택 및 사파이어 랩핑 디스크
프로세스: CMP 화학 기계식 폴리싱, 기계식 폴리싱, 정밀 폴리싱 등 모든 유형의 연마 및 마무리 프로세스
특징:
고순도 및 화학적 내구성
높은 기계적 강도 및 경도
내부식성이 높습니다
고전압 저항
최고 1700ºC의 높은 온도 저항성
극도로 내마모성 성능
뛰어난 절연 성능
모든 유형의 사이즈 180,360, 450, 600mm 등
| 제품 이름 | 99.7 고순도 알루미늄 세라믹 연마 랩핑 디스크 |
| 재질 | 99.7% 알루미늄 |
| 보통 크기 | D180, 360, 450, 600mm, 사용자 지정 크기 허용. |
| 색상 | 아이보리 |
| 응용 프로그램 | 반도체 산업에서 웨이퍼 및 사파이어 CMP 프로세스 |
| 최소 주문 | 1인치 |
| 단위 | 99.7 알루미늄 세라믹 | ||
| 일반 속성 | Al2O3 콘텐츠 | WT% | 99.7-99.9 |
| 밀도 | GM/cc | 3.94-3.97 | |
| 색상 | - | 아이보리 | |
| 물 흡수 | % | 0 | |
| 기계적 속성 | 경막강도 (MOR) 20 °C | MPa(p60 10^3) | 440-550 |
| 탄성계수 20ºC | GPA(60년대 10^6) | 375 | |
| 비커 경도 | GPA(kg/mm2) R45N | >= 17 | |
| 굽힘 강도 | GPA | 390 | |
| 인장 강도 25ºC | MPa(p60 10^3) | 248개 | |
| 골절 인성(K I c) | MPa * m^1 | 4-5 | |
| 열 속성 | 열 전도율(20ºC) | W/MK | 30 |
| 열팽창 계수(25-1000ºC) | 10^-6/ºC 1개 | 7.6 | |
| 열 충격 저항 | ºC | 200 | |
| 최대 사용 온도 | ºC | 1700 | |
| 전기 관련 문제 | 유전체 강도 (1MHz) | AC-kV/mm(AC v/mil) | 8.7 |
| 유전체 상수(1MHz) | 25ºC | 9.7 | |
| 볼륨 저항입니다 | Ohm-cm(25ºC) | 10^14 | |
| Ohm-cm(500ºC) | 2x10^12 | ||
| Ohm-cm(1000ºC) | 2x10^7 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
