초저온 공기 분리 초순수 액체 산소 장비
에어 프로덕츠의 초저온 분리 장비는 초순수 액체 산소를 공급하도록 특별히 설계되었으며 의료, 항공 우주 및 산업 응용 분야와 같은 다양한 산업의 엄격한 요구 사항을 충족합니다. 에어 프로덕츠의 장비는 효율적이고 안정적인 분리 공정을 보장하고 고품질 액체 산소를 생산하기 위해 첨단 초저온 기술을 사용합니다. 액체 생산 용량 및 산소 비율에 따라 주변 온도 분자 거름망 정제, 저온 냉동 방식의 저압 순환 또는 고온/저온 확장 냉각이 있는 중간 압력 공기 순환 등의 공정을 활용하여 99.9999% 이상의 액체 산소 순도를 달성합니다.
당사의 장비에서 극저온 분리 과정은 산소가 포함된 공기를 흡입하는 것으로 시작됩니다. 에어 프로덕츠의 특수 초저온 분리 장비는 초순수 액체 산소를 추출하도록 설계되었으며 의료, 항공 우주 및 산업 응용 분야의 엄격한 요구 사항을 준수합니다.
첨단 초저온 기술을 채택한 아트라스콥코 장비는 효율적이고 안정적인 분리 공정을 보장하여 고품질의 액체 산소를 생산할 수 있습니다. 사용되는 특정 공정은 액체 생산 용량 및 산소 비율에 따라 달라집니다.
한 가지 방법으로, 우리는 주변 온도 분자 거름망 정제를 이용합니다. 이 과정에서 분자의 거름망을 통해 공기를 통과시켜 불순물을 선택적으로 흡수하고 산소가 통과하도록 하여 산소를 정제합니다.
또 다른 방법은 저압 순환과 초저온 냉각이 있습니다. 이 경우 공기는 낮은 압력에 노출되었다가 냉동 시스템을 사용하여 극저온 온도로 냉각됩니다. 냉각으로 인해 산소가 액체 상태로 응축되고, 그 다음 나머지 가스와 분리됩니다.
특정 응용 분야의 경우, 고압 공기 순환 방법과 고온 및 저온 팽창 냉기를 함께 사용합니다. 이 과정에서 공기는 중간 압력에서 순환한 다음 냉동 메커니즘을 사용하여 고온 및 저온 팽창을 받습니다. 팽창 단계에서 산소가 액화되며, 그 후에 다른 구성 요소와 분리됩니다.
사용된 특정 공정에 관계없이 당사의 초저온 분리 장비는 액체용 산소가 순도 99.9999%를 초과하는 초순수 상태를 달성할 수 있도록 보장합니다. 이 순도는 불순물이 최소로 요구되고 최고 품질의 액체 산소가 필요한 응용 분야에 필수적입니다.
최첨단 초저온 분리 장비를 통해 업계는 다양한 주요 응용 분야에 대한 엄격한 요구 사항을 충족하면서 초순수 액체 산소를 일관되고 안정적으로 공급할 수 있습니다.
| 해당 가스 |
O2 |
| 공예 |
촉매 + 흡수 |
| 불순물 |
입구 |
아웃릿 |
| ppm |
ppb |
| H2O |
3 |
1 미만 |
| CO2 |
1 미만 |
1 미만 |
| 있습니다 |
1 미만 |
1 미만 |
| H2 |
1 미만 |
1 미만 |
| NMHC |
1 미만 |
1 미만 |
| CH4 |
2 |
1 미만
|
| 입자 |
-- |
≤ 10pcs/m3 > 0.003μm |
| 표준 유속 |
1Nm3/H - 10000Nm3/H |
| |
1.고순도 이산화탄소, 액체 산소 추출 및 분리 장비를 독립적으로 개발, 설계 및 제조합니다.
이산화탄소 및 액체 산소의 순도는 모두 6N(99.9999%)에 달하며 반도체, 평면 패널 디스플레이, 항공, 의료 등의 산업 요구 사항을 완벽하게 충족합니다.
3.국내에서 생산 및 운영되는 최대 네온헬륨 분리 장비는 네온 가스 생산 능력이 연간 최대 90,000 Nm3에 달하며, 20세트 이상의 크립톤-제논 사전 농축 장비와 8세트 크립톤-제논 정제 장비를 국내외 제조업체에 제공했습니다.
4.초저온 공기 분리 장비는 필요한 생산 용량에 따라 확장하거나 축소할 수 있습니다. 소규모 실험실 설치든 대규모 산업 공장이든 초저온 증류 기술은 다양한 생산 요구 사항을 충족하는 유연성과 확장성을 제공합니다.
초저온 공기 분리 공정은 비교적 환경 영향이 낮습니다. 가스는 화학 반응이나 상당한 에너지 집약적 공정 없이 낮은 온도에서 냉각 및 증류됩니다. 회수된 가스, 특히 헬륨은 효과적으로 보호 및 활용할 수 있는 제한적이고 가치 있는 자원입니다.
6.고객별 다양한 요구를 충족하기 위해 맞춤형 생산을 달성할 수 있습니다.
초저온 공기 분리 장비는 다양한 산업의 다양한 응용 분야에 사용되는 초순수 액체 산소를 생산하는 데 중요한 역할을 합니다. 극저온 공기 분리 장비를 사용하는 주요 응용 분야는 다음과 같습니다.
에칭 공정: 에어 프로덕츠의 초저온 공기 분리 장비는 칩 제조 공정의 에칭 공정에 초순수 액체 산소를 안정적으로 공급합니다. 고순도의 액체 산소는 반도체 물질의 정밀하고 제어된 에칭을 보장하므로 칩 성능과 수율이 향상됩니다. 당사의 장비를 효율적으로 분리하는 프로세스는 순수한 액체 산소를 지속적으로 공급하여 원활하고 안정적인 에칭 작업을 가능하게 합니다.
2.SiO2 필름 생산 공정: 칩 제조 산업에서 SiO2 필름 생산은 중요한 단계입니다. 에어 프로덕츠의 초저온 공기 분리 장비는 반도체 표면에 얇은 층이 정밀하게 축적되는 SiO2 막 생산에 사용되는 초순수 액체 산소를 공급합니다. 액체 산소의 고순도 수준은 SiO2 막의 품질과 균일성에 기여하여 칩의 전반적인 성능과 안정성을 향상시킵니다.
청소 프로세스 및 O3 준비: 웨이퍼 제조는 웨이퍼 표면의 오염 물질을 제거하기 위해 엄격한 세척 과정을 거쳐야 합니다. 에어 프로덕츠의 초저온 공기 분리 장비는 세척 공정에 사용할 수 있는 초순수 액체 산소를 제공하여 웨이퍼에서 불순물과 입자를 효과적으로 제거합니다. 또한 액체 산소는 웨이퍼 제조 시 오존(O3)을 준비하는 데 사용할 수 있습니다. 오존은 반도체 산업에서 표면 세척, 살균 및 산화 공정에 흔히 사용됩니다. 액체 산소의 고순도로 이러한 중요한 제조 공정에 고품질 오존을 생성할 수 있습니다.
4.연구 및 개발: 초순수 액체 산소가 과학 실험, 재료 테스트 및 연구 목적으로 필요한 연구 실험실과 기관에서 초저온 공기 분리 장비를 찾습니다. 장비에서 달성되는 정밀도와 고순도 수준은 과학적 조사에서 정확하고 일관된 결과를 보장합니다.
환경 및 수처리: 초저온 공기 분리 장비는 폐수 처리 및 공기 오염 제어와 같은 환경 분야에 사용됩니다. 극저온 분리 공정을 통해 생산된 액체 산소는 산화 및 정제를 위해 사용할 수 있으며, 물과 공기원에서 오염물과 오염물질을 제거하는 데 도움이 됩니다.
6.에너지 및 연소 공정: 특정 에너지 및 연소 공정에서 초순수 액체 산소가 사용되어 효율을 개선하고 연소 반응을 최적화합니다. 초저온 공기 분리 장비는 고순도 액체 산소를 안정적으로 생산하여 이러한 공정에서 성능 및 에너지 최적화를 향상시킵니다.
에어 프로덕츠는 모든 종류의 중소 규모 공기 분리 장비, 질소 생산 장비, 산소 생산 장비 및 액화 장비 등을 공급합니다. Cryo 체인은 생산 효율성을 개선할 수 있도록 산업 응용 분야 및 관련 제품을 지속적으로 개발 및 홍보할 것입니다. Cryo 체인점에서도 다양한 산업 서비스를 제공하여 기업이 완벽한 지원을 제공할 수 있도록 합니다.
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에어 프로덕츠의 초저온 분리 장비는 초순수 액체 산소를 공급하도록 특별히 설계되었으며 의료, 항공 우주 및 산업 응용 분야와 같은 다양한 산업의 엄격한 요구 사항을 충족합니다. 에어 프로덕츠의 장비는 효율적이고 안정적인 분리 공정을 보장하고 고품질 액체 산소를 생산하기 위해 첨단 초저온 기술을 사용합니다. 액체 생산 용량 및 산소 비율에 따라 주변 온도 분자 거름망 정제, 저온 냉동 방식의 저압 순환 또는 고온/저온 확장 냉각이 있는 중간 압력 공기 순환 등의 공정을 활용하여 99.9999% 이상의 액체 산소 순도를 달성합니다.
