플라스마 표면에 사용되는 중국 토치 인라인 진공 플라즈마 클리너 비품 포함 처리 공정 MEMS 센서

• After-sales Service: 1 Year
• Warranty: 1 Year
• Cleaning Process: Vacuum Plasma Cleaning
• Style: Integrated Style
• Clean Type: Automatic in Line
• Usage: Auto Industry, Power Industry, Petrochemical Industry, Mechanical Engineering, Metallurgical Industry
• 모델 번호.: VPC3i
• Principle: Chemical Cleaning
• Certification: CE, ISO
• Control: CNC
• Automation: Automatic
• Condition: New
• Remote Control: With Remote Control
• Customized: Customized
• 운송 패키지: Plywooden Case
• 사양: CE
• 등록상표: TORCH
• 원산지: Beijing, China
• 세관코드: 8479899990
• 생산 능력: 10set/Month

제품 설명

플라즈마 표면에 사용되는 중국식 토치 인라인 진공 플라즈마 청소기 고정 장치가 있는 공정 MEMS 센서

인라인 진공 플라즈마 청소 기계
모듈 번호: VPC3i
제조업체: Beijing Torch SMT Incorporated Company


i. 장비 이름, 유형 번호, 출처 및 배송 날짜
1.1 장비 이름: 인라인 진공 플라즈마 청소 장비
1.2 모델 번호: VPC3i
1.3 출처(국가, 제조업체): Beijing Torch SMT Incorporated Company
1.4 배송일: 계약이 발효된 후 4-8주
1.5 실리콘 웨이퍼, 유리 기판, 세라믹 기판, IC 캐리어 플레이트, 구리 리드 프레임 등 반도체 외함 분야에서 주로 플라즈마 표면 처리 공정에 사용됩니다. 대형 단면 기판 전원 보드, IGBT 모듈, 고정 장치가 있는 MEMS 센서, 마이크로웨이브 장치, 필터, RF 장치 등
II 주요 기술 성능 매개변수:
2.1 진공 챔버 용량: 3L
2.2 진공도:
VPC3i 진공 플라즈마 청소기의 최대 진공도란 입니다 10Pa 미만(기계식 건식 펌프 8L)
2.3 효과적인 청소 구역:
단일 청소 구역: 350 * 100 * 85mm
혈장 주파수: 13.56hz 300W  RF(용량 처리, 수냉식)
2.4 진공실 높이:
용광로 높이: 100mm(유효 크기)
2.5 청소 온도:
저온 청소(실내 온도 미만)
2.6 세척 빈도: 30-120초
2.7 청소 효과: dyne 값은 70에 도달할 수 있습니다. 물 떨어짐 각도는 15도이고  10 도 이내로 최적으로 제어할 수 있습니다(Class 100 먼지 없는 공기 청결 작업장 , 4시간 내에 청소 가능).
2.8 가스 사용 가능:
아르곤, 질소, 산소, 질소 수소 혼합물, 수소 및 포름산 등
2.9 VPC3i 진공 플라즈마 청소기에는 소프트웨어 제어 시스템이 장착되어 있습니다.
소프트웨어 제어 시스템은  작동이 쉽고, 제어 장비 연결이 가능하며 , 다양한 청소 프로세스 곡선을 설정할 수 있으며, 다양한 공정에 따라 곡선을 설정, 수정, 저장 및 선택할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 공정 곡선을 분석할 수 있는 자체 분석 기능이 있습니다. 소프트웨어 제어 시스템은 청소 프로세스, 온도 곡선, 시간 및 알람 관련 데이터를 실시간으로 자동 기록하여 제품 청소 프로세스의 추적 가능성을 보장합니다.
2.10 따라서 장비를 보정할 필요가 없습니다  더 이상 보정 수수료가 부과되지 않습니다
2.11 작동 전력 소비량: 2.2kW, 칠러 전력 소비량 제외
2.12 과온 알람 및 레코딩 기능 (표준 구성)
VPC3i 진공 플라즈마 청소 기계는     청소 프로세스 중에 작업물 표면 과열 방지, 경보, 온도 안전 보호 및 전체 기계의 기록 기능을 갖추고 있습니다.
2.13 질소, 아르곤 및 기타 흐름 관리 및 분석 시스템(소프트웨어 + 하드웨어) (선택 사항)
VPC3i 진공 플라즈마 청소 기계는  전체 기계에서 소비되는 질소 및 아르곤 같은 공정 가스를 실시간으로 관리 및 분석함으로써 기능하며 가스 소비량, 일일 소비, 주간 소비 및 다양한 시간 소비를 실시간으로 기록 및 분석할 수 있습니다.
2.14 공정 가스 압력 알람 기능 및 분석 시스템(소프트웨어 + 하드웨어) (선택 사항)
VPC3i 진공 플라즈마 청소 기계는  전체 기계의 생산 공정에서 공정 가스 공급원의 기록 및 분석을 통해 저전압 알람으로 기능하여 제품 품질 추적에 매우 유용합니다.
2.15 에너지 관리 및 분석 시스템(소프트웨어 + 하드웨어) (선택 사항)
VPC3i 진공 플라즈마 청소 기계는  에너지 소비에 대한 실시간 관리 및 분석을 통해 작동되며 실시간 전력 소비, 일일 전력 소비, 주간 전력 소비, 시간 전력 소비 등의 기록을 분석할 수 있습니다
2.16 산소 함량 관리 및 분석 시스템(소프트웨어 + 하드웨어) (선택 사항)
VPC3i 진공 플라즈마 청소 기계는  전체 기계의 진공 챔버에서 실시간으로 산소 농도를 관리하고 분석함으로써 작동합니다. 산소의 PPM 가치를 실시간으로 분석, 기록, 분석하여 제품 품질 추적성과 분석을 수행할 수 있습니다.
2.17 MES 데이터 인터페이스 하위 시스템(소프트웨어 + 하드웨어) (선택 사항)
VPC3i 진공 플라즈마 청소 기계는 전체 기계의 MES 데이터 인터페이스에 의해서도 작동되며, 지능형 장비의 다양한 데이터 수집 및 분석을 완료하도록 MES 시스템을 선택 및 구성할 수 있습니다.
2.18 전체 크기:
550 * 1260 * 1480mm(알람 표시등 제외)
2.19 내부 구조: 올바른 그림을 참조하십시오

III 기본 구성 및 구성:

아닙니다	설명	구성	수량
1	진공 플라즈마 청소 기계	주 기계	1세트
2	플라즈마 전원 시스템	표준 구성	1세트
3	온도 측정 시스템	표준 구성(4개 온도 측정 커플러 그룹)	1세트
4	진공 시스템	표준 구성	1세트
5	기계식 펌프	표준 구성	1세트
6	수냉 시스템	표준 구성(산업용 냉각 장비는 제외됨)	1세트
7	산업용 냉각 기계	선택 사항	1세트
8	포름산 시스템	표준 구성(Formic acid, 가스 파이프라인 및 연결)	1세트
9	질소 대기 보호 시스템	표준 구성(질소 수세 공급 제외)	1세트
10	진공 플라즈마 청소 기계 소프트웨어 시스템	표준 구성(제어 소프트웨어)	1세트
11	산업용 컴퓨터	표준 구성	1세트
12	혈장	표준 구성	1개
13	온도 측정 센서(예비 부품)	표준 구성	2
14	냉각 파이프라인 (예비 부품)	표준 구성	2
15	공정 가스 부피 관리 및 분석 시스템	선택 사항	1세트
16	공정 가스  압력 알람 및 분석 시스템	선택 사항	1세트
17	전원 관리 및 분석 시스템	선택 사항	1세트
18	산소 함량 관리 및 분석 시스템	선택 사항	1세트
19	MES 데이터 인터페이스 시스템	선택 사항

IV VPC3i 기술 매개변수

브랜드	제조업체	Beijing Torch SMT Incorporated Company	비고
간략한 소개	원점	베이징
주요 구성 요소	온도 센서	미국 오메가
	진공 펌프	KYKY/BSC
	글로브 밸브	일본 브랜드
	코로션 저항성 밸브	일본 브랜드
	저전압 전기 시스템	슈나이더
	보튼 스위치	대만 JICTEN/Schneider
	광전기	Omron
	플라즈마 전력	토치
주요 기술 지수	온도	저온 세척, 실내 온도 미만으로 온도가 유지됩니다
	최소 진공도	10파
	산소 함량	1ppm 미만
	생산 효율성	20-120초
키 프로세스 인덱스	품질 추적 기능	가스 압력 알람 기록을 처리합니다. 산소 함량 알람 기록. 온도 초과 알람 기록. 진공 값 미준수에 대한 알람 기록
	정보 및 정보화	1.지능형 기능 위의 4 개 표시등 중 하나가 표준을 충족하지 못하거나 알람을 제공하는 경우 전체 알람 및 생산 품질을 보장하기 위해 생산을 중단하라는 메시지가 표시됩니다. 에너지 관리 시스템, 전력 소비 및 질소 소비가 계산되어 에너지 관리 시스템에 실시간으로 표시됩니다. 3.위의 모든 정보는 데이터 인터페이스를 통해 MES 시스템에 원활하게 연결되어 관리팀의 의사 결정 및 관리를 용이하게 합니다.
시설	파워	380VAC, 20A
	가스	압축 공기(CDA) 0.5Mpa
	질소	0.5Mpa
	진공	진공 건식 펌프 장착

참고:
Beijing Torch SMT Incorporated Company의 진공 플라즈마 청소기에 대한 제어 소프트웨어는 Beijing Torch SMT Incorporated 와 Beijing Torch SMT Incorporated가 독자적으로 개발한 것으로, 타사 인증 없이 소프트웨어 등록 권한을 인정받았습니다.

 Beijing Torch SMT Incorporated의 진공 플라즈마 청소 기계는  이미 여러 국가 특허를 취득했습니다. 복사하지 마세요!!