• TMAXCN 브랜드 1200c 3존 CVD 튜브 용광로, 높음 진공 스테이션 및 4 채널 MFC 가스 스테이션
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TMAXCN 브랜드 1200c 3존 CVD 튜브 용광로, 높음 진공 스테이션 및 4 채널 MFC 가스 스테이션

신청: 산업, 학교, Hospital, 실험실
사용자 정의: 사용자 정의
인증: CE, ISO
구조: Tubular
자료: 스테인리스 강
유형: 관상로

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기본 정보

모델 번호.
TMAX-3-1200
운송 패키지
Wood Packing
등록상표
TMAX
원산지
China

제품 설명

TMAXCN Brand 1200c Three Zones CVD Tube Furnace with High Vacuum Station & 4 Channel MFC Gas Station
1200C 3구역 CVD 튜브 용광로, 고압 진공 스테이션 포함 & 4 채널 MFC 가스 스테이션

 TMAX-3-1200  시리즈 용광로 워크스테이션은 3구역 튜브 용광로, 정밀 질량 유량 가스 제어 스테이션, 높은 진공 스테이션 및 기타 조립 부품으로 구성되어 있습니다. 이 워크스테이션의 최대 작동 온도는 1200°C입니다 최고의 진공률은 10^-5 토르입니다(밀봉 어셈블리 제공). 흡입 공기량 가스 컨트롤 스테이션은 여러 종류의 가스를 혼합한 후 혼합 가스를 용광로 내부의 퓨즈형 석영 튜브에 입력합니다. CVD, 확산 및 기타 열 치료로 진공 상태 및 보호 가스 보호 하에서 실험을 할 수 있습니다. 용광로에는 4채널 디지털 LED 디스플레이 mAs 유량 가스 제어 스테이션이 제공됩니다.

사양
 튜브 용광로
TMAXCN Brand 1200c Three Zones CVD Tube Furnace with High Vacuum Station & 4 Channel MFC Gas Station
케이싱 공기 냉각이 있는 이중 강철 케이스
온도가 55°C를 초과하면 자동으로 냉각 작동을 제어하는 내장 서모스탯
처리 튜브 재질: 석영관 사용

열 블록 배치
TMAXCN Brand 1200c Three Zones CVD Tube Furnace with High Vacuum Station & 4 Channel MFC Gas Station
 
파워 7kW
정격 전압 AC 208-240V 단상, 50/60Hz
가열 요소 FE-CR-Al Alloy가 Mo에 의해 도핑되었습니다
작동 온도 최대 가열 온도: 1200°C
연속 작동 온도: 1100°C
가열 속도   가열 속도: 1 ~ 20°C/min 프로그래밍 가능
가열 구역 길이 총 가열 구역: 900mm  (300mm + 300mm + 300mm)
온도 컨트롤러
  •   세 구역을 개별적으로 제어하기 위한 세 개의 정밀 온도 제어기.
  • 30단계 프로그래밍 가능 세그먼트를 포함하는 PID 자동 제어
  • 온도 정확도 : ±1°C
  • 열전대: 용광로 내부에 장착된 K형
진공 씰 스테인리스 스틸 진공 플랜지 한 쌍:
- 기계식 압력 게이지 1개
- 니들 밸브 2개  
-고압 진공 스테이터용 KF-40 커넥터 1개.
정격 전압 AC 208-240V 단상, 50/60Hz
치수 1100(L) x 450(W) x 670(H), mm
진공 스테이션 높음
TMAXCN Brand 1200c Three Zones CVD Tube Furnace with High Vacuum Station & 4 Channel MFC Gas Station
구조 이동식 카트 크기: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
최대 적재:      상단에 600lbs
분자 펌프 컨트롤 패널:  LCD 디지털
내부:   독일에서 만들어진 Pfeiffer 진공 펌프
진공 센서가 포함되어 있습니다
체적 유량 질소  N2    33L/s
헬륨    He    39L/s  (2340L/분)
수소 H2  32L/s
작동 범위 1000mbar ~ < 1E-7mbar
최고의 압력 1E-8mbar 미만(누출 없음)
전압 및 전력 110Vac 또는 220VAC, 110W
흡입 공기량 가스 컨트롤

 
구조
  • 2-9채널 가스 제어 시스템(PLC 터치 패널 및 포함 PC 작동 소프트웨어
  • LED 디스플레이
  • 가스 흐름 범위가 있는 316 스테인리스 스틸로 제조된 4채널 MFC:
    • 컨트롤러 1:0 ~ 100SCCM
    • 컨트롤러 2: 1~199 sccm
    • 컨트롤러 3: 1~199 sccm
    • 컨트롤러 4: 1~499개의 SCCM
  • 4 채널 가스는 기체 혼합 탱크를 통과합니다.  즉, 9mm 80X120mm입니다  
  • 치수: 600(L) x 745(W) x 700(H), mm
파워 18W
정격 전압 AC 208-240V, 단상, 50/60Hz

 배송 및 보증
배송 차원 총 3개의 팔레트 ( #1:60" x 45" x 40"  #2:48" x 40" x 42" #3:48" x 40" x 42")
선적 중량 850lbs
보증 1년 제한 보증  
(처리관, O-링, 가열 요소와 같은 소모품은 보증이 적용되지 않습니다.  
아래에서 관련 제품을 교체해 주십시오.)
규정 준수
  • CE 인증
  • 모든 전기 구성품(>24V) UL/MET/CSA 인증을 받았습니다
  • 용광로를  사용하면 추가 비용으로 TUV(UL61010) 또는 CSA 인증을 통과할 수 있습니다.  (표시를 클릭하십시오
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