용광로 구조 |
- 이중 공기 냉각 팬이 있는 이중 강철 구조
- 한 쌍의 슬라이딩 레일이 용광로 바닥에 설치되어 있어 용광로를 좌우로 수동으로 이동할 수 있습니다
- 진공 플랜지와 진공 게이지가 설치되어 즉시 사용할 수 있습니다.
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파워 |
1.5kW |
전압 |
용광로: AC 208V~240V 단상, 50/60Hz
슬라이딩 메커니즘: AC 208V~240V 단상, 50/60Hz |
최대 온도 |
흐름 가스가 있는 1200°C(<1시간 |
연속 온도 |
1100°C |
난방 및 냉방 요금
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난방 요금: 15°C/sec(RT - 150°C), 10°C/sec(150°C - 250°C) 7°C/sec(250°C~350°C) 4°C/sec(350°C - 500°C); 3°C/sec(500°C - 550°C); 2°C/sec(550°C - 650°C)
1°C/sec(650°C - 800°C)
0.5°C/sec(800°C - 1000°C) |
냉각 속도: 15°C/sec(1000-950°C) 10°C/sec(950°C - 900°C) 7°C/sec(900°C - 850°C) 4°C/sec(850°C - 750°C), 2°C/sec(750°C - 600°C),
1.5°C/sec(600°C~500°C)
1°C/sec(500°C - 400°C); 0.5°C/sec(400°C~300°C) |
참고: 최대 가열 및 냉각 속도는 처리 튜브의 한 면을 목표 온도로 예열한 다음 용광로를 다른 쪽으로 밀어 올립니다. 샘플을 예열 영역에 배치할지 여부를 선택할 수 있습니다. |
가열 구역 길이 |
8"(200mm), 단일 영역 다음 그림은 가열 구역의 온도 분포를 보여줍니다. 확대하려면 클릭하십시오.
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일정한 온도 영역 |
1000 °C에서 60mm(+/- 1°C |
가열 요소 |
FE-CR-Al Alloy가 Mo에 의해 도핑되었습니다 |
처리 튜브
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- 고순도 용융 석영 튜브
- 크기: OD: 2" x ID: 1.8." x 길이: 39"(인치) (50mm OD x 46mm ID x 1000mm L)
- 2개의 폼 세라믹 블록이 포함되어 있으며, 이 블록이 반드시 배치되어 있어야 합니다 O-링에 손상을 주는 열 복사를 방지하기 위한 내부 튜브
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온도 컨트롤러
슬라이딩 컨트롤(&sliding Control |
- 열 속도, 냉각 속도 및 체류 시간을 정밀하게 제어하기 위한 30개의 프로그래밍 가능 세그먼트
- 내장 과열 알람 및 보호 기능으로 교환원 없이 작동할 수 있습니다.
- K형 열전쌍은 용광로를 제어하도록 용광로에 내장되어 있습니다 온도
- 선택 사항:
- 용광로에서는 제어 모듈을 설치하여 PC에서 작동할 수 있습니다. 추가 비용으로 용광로와 함께 MTS-02 컨트롤 모듈과 컴퓨터를 주문하세요. 소프트웨어 설치 문제를 방지하기 위해 컴퓨터(노트북)를 주문하실 것을 권장합니다.
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온도 정확도 |
/- 1°C |
진공 플랜지 |
- SS 니들 밸브와 진공 게이지가 있는 진공 밀폐 플랜지 즉시 사용할 수 있도록 포함되어 있습니다
- 옵션: 50mm Dia Tube Furnace용 진공 밀봉 어셈블리(KF-25 진공 포트 포함) 및 1/4페드스루(디지털 게이지 포함)를 추가 비용으로 사용할 수 있습니다
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진공 수준 |
- 펌프 제한(펌프는 포함되지 않음, 주문할 사진 클릭)
- 10e-5 토르는 분자 펌프로 연결할 수 있습니다
- 기계식 펌프에 의한 10e-2 토르
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슬라이딩 레일/테이블 |
- CR 도금 강철로 만든 이중 슬라이딩 레일
- 슬라이딩 길이: 1200mm
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치수 |
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순 중량 |
90kg |
배송 패키지 크기 |
51" x 40" x 36" |
선적 중량 |
230lbs |
보증 |
2년 제한 제조업체 보증 (처리관, O-링, 가열 부품과 같은 소모품은 보증이 적용되지 않습니다. 아래의 관련 제품에 대한 교체를 주문하십시오.) |
노트북, 소프트웨어 및 WiFi 컨트롤(옵션) |
- Microsoft Window 10 및 Microsoft Office 2013(30일 무료 평가판)이 포함된 최신 노트북으로 즉시 사용할 수 있습니다.
- LabVIEW 기반 온도 제어 시스템을 통해 온도 프로파일을 편집하고 열 처리 레시피를 관리하고 MTI 용광로의 데이터를 기록 및 플롯할 수 있습니다.
- 무선 리모콘은 최대 300m 작동 범위를 제공합니다.
- 위의 기능은 요청 시 추가 비용(최대 1,000달러)으로 제공됩니다. 자세한 내용은 당사에 문의하십시오.
- 참고: 이 소프트웨어는 MTI의 Yudian Temperature Controller에서만 호환됩니다
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규정 준수 |
- CE 인증
- 모든 전기 구성품(>24V) UL/MET/CSA 인증을 받았습니다
- 용광로를 사용하면 추가 비용으로 TUV(UL61010) 또는 CSA 인증을 통과할 수 있습니다.
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응용 프로그램 노트
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- 석영 튜브가 있는 튜브 용광로는 아래에 사용하도록 설계되었습니다 진공 및 저압 < 0.2bar/3psi / 0.02 MPa
- 주의: 안전한 작동을 위해 압력을 3PSI 미만으로 제한하려면 가스 실린더에 2단계 압력 레귤레이터를 장착해야 합니다.
- 가스의 유량은 < 로 제한해야 합니다 200 SCCM(또는 200 ml/min) 튜브에 대한 열 충격을 줄이기 위한 것입니다
- 모든 석영 튜브 용광로의 진공 제한 정의: * 진공 압력은 최대 1000°C에서만 안전하게 사용할 수 있습니다
- MTI 튜브 용광로에 대한 석영/세라믹 튜브 및 진공 플랜지를 설정하는 방법을 알아보려면 여기를 클릭하십시오.
- 더 빠른 냉각이 필요한 경우 아래 그림을 클릭하여 휴대용 스팟 공기 냉각 컨디셔너를 주문하십시오 .
- CVD 후 대부분의 응용 분야에서 그래프를 금속 촉매에서 다른 기판으로 옮겨야 합니다. 그래프 전송 테이프를 사용하면 잔류물이 부족할 수 있습니다.
- 수평 방향 결정화 (HDC)의 경우, 가스 피드트로프를 오른쪽 아래 그림과 같이 사용할 수 있습니다.
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경고 |
- 가열 챔버를 밀어서 샘플을 빠르게 냉각할 수 있습니다. 방열 정장 및 장갑과 같은 보호 장구를 착용하십시오.
- 뜨거운 튜브 표면을 만지지 마십시오!
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