CAS No.: | 75-73-0 |
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Formula: | CF4 |
EINECS: | 200-896-5 |
Constituent: | Industrial Pure Air |
Grade Standard: | Electronic Grade |
Chemical Property: | Non-Flammable Gas |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
탄소 사플루오르리데는 산소 디스플레이서인 일반적인 조건에서 비교적 비활성인 초저온 냉매이며 다양한 웨이퍼 에칭 공정에도 사용됩니다.
사양:
사양 | 회사 표준 |
CF4 | 99.999% 이상 |
O2 + AR | ≤ 1ppm |
N2 | ≤ 2ppm |
H2 | ≤ 0.3ppm |
있습니다 | ≤ 0.3ppm |
CO2 | ≤ 0.3ppm |
SF6 | ≤ 0.3ppm |
THC | ≤ 0.3ppm |
OFC | ≤ 1ppm |
습기 | ≤ 1ppm |
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