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감사를 받은 공급업체 FDC 웨이퍼 가장자리 그라인더는 웨이퍼의 가장자리 챔퍼링 작업에 주로 사용됩니다. 칩 제조 과정에서, 가장자리의 불균일성과 선명도에 문제가 있을 수 있으며, 이는 후속 처리 및 사용에 영향을 미칠 수 있습니다. 웨이퍼 가장자리 반올림 기계를 사용하면 웨이퍼 가장자리를 둥글게 하여 보다 균일하고 매끄러워지는 동시에 날카로운 가장자리를 제거하고 후속 공정 및 장비의 손상을 줄일 수 있습니다.
가장자리 연삭(챔퍼링)의 이점은 다음과 같은 세 가지입니다.
웨이퍼 가장자리 조각화를 방지합니다. 웨이퍼를 제조하고 사용하는 동안 종종 로봇 암에 부딪히기도 합니다. 웨이퍼 가장자리가 갈라져 응력 집중된 영역을 형성할 수 있습니다. 이러한 응력 집중부는 웨이퍼가 사용 중에 오염 입자를 지속적으로 방출하게 하며, 이는 제품의 수량에 영향을 미칩니다.
2.열응력 집중을 방지합니다. 웨이퍼는 사용 중에 산화와 확산 등 고온 프로세스를 거칩니다. 이러한 과정에서 발생하는 열 응력이 실리콘 격자 응력을 초과합니다. 강도가 높으면 분해 및 적재 결함 결함이 발생하고 그레인 반올림 때문에 이러한 결함을 피할 수 있습니다. 결정 엣지에서 생산됩니다.
웨이퍼 가장자리의 에피택시 층과 광자 층의 편평도를 높입니다. 에피택시 과정에서 각진 코너 부위의 성장률은 평평한 면적보다 높으므로 접지되지 않은 웨이퍼를 사용하면 가장자리에 돌출부가 발생하기 쉽습니다. 마찬가지로, 회전식 코팅 기계를 사용하여 포토레지스트제를 적용하면 웨이퍼 가장자리에도 포토레지스트 용액이 축적되고 이러한 울퉁불퉁한 가장자리는 마스크 포커스의 정확도에 영향을 줍니다.
| 기간 | PRAMETER |
| 해당 와퍼 크기 | 2/4/6인치 4/6/8인치 |
| G. 휠 직경 | 중간 205mm |
| G. 휠 우측 속도 | 500-3000 분-1 |
| G. 휠 모터 전원 | 1KW |
| 최대 Travserse 요금 | 10mm/s |
| 피드 내 해상도 | 0.5μm/s |
| 모터 전원 공급 | 0.4kW |
| 작업 테이블 수 | 2 |
| 작업 가능한 로타트. 속도 | 0-400 분 - 1 |
| 두껍습니다. 검사. 정확성 | 0.5μm |
| CCD 위치 정확성 | 2.5μm |
| 챔퍼링 라운드니스 | 10μm 이하 |
| 모따기 각도 | ±0.05° |
| 지름 컨트롤 | 15μm 이하 |
| 외부 치수 | 2000 × 1150 × 1950 |
| 총 무게 | 1,000kg |
| 웨이퍼 | G. 금액 | 와퍼 NE | 지름 그라인드 사용 전 | 지름 연마 후 | 원동도 변수 |
| 사파이어 4인치 | 0.01mm | 1 | 99.632 | 99.613 | 6 |
| 2 | 99.61 | 99.599 | 7 | ||
| 3 | 99.6 | 99.589 | 7 | ||
| 4 | 99.592 | 99.579 | 4 | ||
| 5 | 99.58 | 99.571 | 4 |
Shenzhen Ponda Grinding Technology Co., Ltd.는 2007년에 설립되었으며, 공밍 샹춘 유안산 산업 구역 B에 위치해 있으며, 다양한 정밀 연삭 장비, 연마 장비, 지원 제품 및 하이테크 기업의 재료 소비에 종사하는 전문가입니다. 이 회사는 연구 개발, 설계, 제조, 판매 및 애프터세일즈 서비스를 통합합니다. 이 제품은 광학 유리 렌즈, 휴대폰 부품, LED 사파이어, 몰드, 다양한 통신 전자 제품 부품, 평면 금속 부품 및 다양한 하드웨어 산업에서 널리 사용됩니다. 국가 및 유럽, 미국, 일본 및 기타 지역 내 고객 기반 그 대표로는 Huawei, CLP Group, America's Apple, Japan's Dashin, Panasonic, 독일 보투, 대만 폭스콘과 기타 유명한 중국 및 외국 기업 Ponda는 지금까지 기계, 전자, 항공, 항공, 자동차, 원자에너지, 광학; 금속, SiC 웨이퍼, 세라믹, 유리, 산업용 사파이어, 플라스틱, 기타 모든 복합재.
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