제품 설명
터보 분자 펌프는 기계식 진공 펌프이며, 빠른 회전 터빈 블레이드, 나선형 홈 또는 이 두 가지를 조합하여 만든 로터가 있습니다. 가스 분자는 터보 분자 펌프로 들어가 로터 표면과 충돌하여 운동 에너지를 생성하며 가스 분자가 터보 펌프 배기 쪽으로 이동합니다.
이 펌프는 오늘날의 반도체 및 태양열 산업에 깨끗하고 안정적인 진공을 제공하는 완전 자성 제수 로터를 제공합니다. 이 베어링은 튜닝 또는 배터리 백업이 필요 없고 압축력이 높고 내부식성이 강하므로 5축 마그네틱 베어링과 하프랙 컨트롤러가 장착되어 있습니다.