• 고진공 분자 펌프(250mm 시리즈)
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고진공 분자 펌프(250mm 시리즈)

자료: 스테인리스 강
힘: 전기의
밸브 바디 타입: 나비
기능: 지능형 유형
다이어프램 재질: FPM
공연: 부식

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기본 정보

모델 번호.
F
이론
진공 펌프
구조
1단 펌프
입력합니다
블레이드 펌프
운송 패키지
Wooden Case
등록상표
SUOTO
원산지
Shanghai, China
세관코드
8414100090
생산 능력
20, 000 PCS/Year

제품 설명

터보 분자 펌프는 기계식 진공 펌프이며, 빠른 회전 터빈 블레이드, 나선형 홈 또는 이 두 가지를 조합하여 만든 로터가 있습니다. 가스 분자는 터보 분자 펌프로 들어가 로터 표면과 충돌하여 운동 에너지를 생성하며 가스 분자가 터보 펌프 배기 쪽으로 이동합니다.

이 펌프는 오늘날의 반도체 및 태양열 산업에 깨끗하고 안정적인 진공을 제공하는 완전 자성 제수 로터를 제공합니다. 이 베어링은 튜닝 또는 배터리 백업이 필요 없고 압축력이 높고 내부식성이 강하므로 5축 마그네틱 베어링과 하프랙 컨트롤러가 장착되어 있습니다.
모델 F-250/1500 FF-250/1600 F-250/1800
용량(l/s) 1500 1600 1800
H2 압축비 3×10 3 3×10 3 3×10 3
N2 압축률 1×10 8 1×10 8 1×10 8
극한 압력(Pa) ≤ 6 × 10 -6 ≤ 1 × 10 -6 ≤ 1 × 10 -6
회전 속도(RPM) 21000 27000 27000
가동 시간(분) 8개 미만 8개 미만 8개 미만
출구 플랜지 KF50(DN50 ISO-KF) KF50(DN50 ISO-KF) KF40(DN40 ISO-KF)
입구 플랜지 LF250(DN250 ISO-K)              LF250(DN250 ISO-K)               LF250(DN250 ISO-K)  
베어링 표준 세라믹 베어링 세라믹 베어링
배킹 펌프(l/s) 15 15 15
냉각수(º C) ≤ 25 ≤ 25 ≤ 25
온도 T(º C) ≤ 100 ≤ 100 ≤ 100
주변 T(º C) 5~40개 5~40개 5~40개
오일 주입(ml) 150 150 그리스 윤활
설치 방향 수직 ±5° 수직 ±5º 있습니다
중량(kg) 60 47 42

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