반도체 필름을 위한 데스크탑 DC 마그네트론 스퍼터링 코팅 증착 시스템

• 커스터마이징: 사용 가능
• 판매 후 서비스: 온라인 서비스
• 보증: 1년
• 모델 번호.: Made-to-order
• 유형: 코팅 생산 라인
• 코팅: 진공 코팅
• 기판: 강철
• 인증: CE
• 조건: 새로운
• 운송 패키지: 나무 케이스
• 규격: 사용자 지정
• 등록상표: RJ
• 원산지: Zhengzhou, China

제품 설명

코팅 경험을 한 단계 끌어올리도록 설계된 컴팩트한 바닥 스탠딩 진공 코팅 시스템으로 혁신의 전형적 위치를 발견해 보세요.

이 최첨단 사용자 친화적인 시스템은 정교한 '플립탑' 진공 챔버를 통해 손쉬운 작동을 보장하며, 금속, 절연체, 유기 물질 등 다양한 물질의 열 증발 및 스퍼터 증착과 같은 다양한 응용 분야에 이상적입니다.

주요 특징:

• 진공 챔버가 지지형 프레임에 들어간 것처럼 안쪽으로 들어간 통합형 디자인으로 안정성과 접근성을 향상시킵니다.

• 챔버 옵션으로는 직관적인 플립탑 뚜껑 또는 클래식한 벨 용기 구성이 있습니다.

• 다중 침전 기술:

  • 금속 및 유기물의 열 증발을 통해 정밀도와 품질을 보장합니다.

  • 정밀한 제어를 통해 섬세한 유기 필름을 만드는 저온 증발

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    다양한 응용 분야에 사용할 수 있도록 금속, 산화물, 질산 및 절연체를 처리할 수 있는 마그네트론 스퍼터링

• 바닥에는 소스를 장착하여 전략적으로 설계된 침착 소스 레유티스(layyoutis)와, 바닥에는 최대 직경 6인치의 웨이퍼를 수용할 수 있는 상판에 기판이 배치되어 있어 사용성이 매우 좋습니다.

• 기판 핸들링에는 온도 조절, 회전, Z-시프트 조정 등의 기능이 있어 정밀하고 다양한 제어가 가능합니다.

• 글로브 박스 호환 설계로 기존 글로브 박스 시스템과의 원활한 통합을 통해 안전성과 효율성을 높여줍니다.

이용 가능한 증착 방법:

• 금속용으로 특별히 설계된 열 증발로 고품질 출력이 보장됩니다.

• 저온 열 증발은 무결성 및 정확성을 유지하면서 유기 응용 분야에 이상적입니다.

• 마그네트론 스퍼터링(magnetron sputtering)은 금속, 산화물, 질산 및 절연체를 효율적으로 처리하여 작업 범위를 넓힙니다.
  

진공 코팅 시스템 설명(영어 버전):

이 시스템은 당사의 코팅 시리즈 내에서 널리 인정받는 플랫폼으로, 편리한 전면 개방 박스 스타일 챔버를 갖추고 있어 열 증발 및 전자 빔 증발 방법 외에도 고급 멀티 소스 마그네트론 스퍼터링을 위한 완벽한 제품입니다.

주요 특징:

• 효율적인 작동을 위해 진공 챔버가 제어 시스템의 전자 캐비닛 바로 위에 꼼꼼하게 장착된 종합적인 통합 설계.

• 다중 증착 기술 지원:

  • 금속 및 유기 재료 모두에 열 증발 및 저온 증발이 통합되어 다기능성을 보장합니다.

  • 금속, 산화물, 질산 및 절연체를 손쉽게 다룰 수 있는 마그네트론 스퍼터링

  • 최적의 유연성을 위해 유기물을 제외한 다양한 물질과 호환되는 E-빔 증발.

• 유연한 소스 구성:

  • 바닥에 디포지션 소스(열, e-빔)를 표준 설치함으로써 공간과 기능을 최적화합니다.

  • 끊김 소스는 필요할 때 상단에 유연하게 장착할 수 있습니다.

• 기질 처리 우수성:

  • 최대 직경 11인치까지 웨이퍼 크기를 수용할 수 있습니다.

  • 다양한 선택사양은 고급 난방, 정밀한 회전, 맞춤형 바이어스 전압, Z-시프트 조정 등을 포함합니다.

  • 고효율 유성기어 샘플 스테이지, 정밀한 소스 셔터 및 고급 기질 셔터로 구성 가능

• 최첨단 자동화 옵션:

  • 수동 열 증발 공정에서 완전 자동화된 첨단 공정 제어 기술에 이르기까지 다양한 맞춤형 공정이 가능합니다.

  • 또한 고속 로딩 챔버(옵션)를 사용하여 시료를 빠르고 원활하게 교환할 수 있습니다.

다양한 디포지션 방법 제공:

• 고품질 열 증발(금속에 이상적)

• 저온 열 증발(유기물 에 적합)

• 최첨단 전자 빔(e-빔) 증발

• 고급 자전자 스퍼터링(금속, 산화물, 질산 및 절연체와 호환)
  

  대용량 진공 코팅 시스템: 선구적인 기술

  독특한 주요 기능:

• 열, 저온 열 및 전자 빔 증발을 위해 정밀하게 조정된 혁신적인 챔버 설계로 작업 거리가 길기 있어 탁월한 필름 균일성을 자랑합니다

• 제어 시스템 전자 장치에 전문적으로 장착된 진공 챔버 캐비닛

• 더 긴 작업 거리가 필요한 증발 기법에 적합합니다 뛰어난 균일성

• 90° 수준의 증발 입사각은 광도미석학 시 완벽한 리프트 오프 성능을 보장합니다 장치

• 혁신적인 다중 프로세스 증착 지원 가능:

  • 클래식 열 증발(금속)

  • 유기 열 증발을 개척하고 있습니다

  • 최첨단 E-빔 증발

  • 다기능 자그네론 스퍼터링(하이브리드 성장 시스템으로 작동)

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  종합적인 디포지션 방법:

• 기존 열 증발(금속)

• 저온 열 증발(유기물)

• 최첨단 전자 빔(e-빔) 증발

• 고급 자전자 스퍼터링(금속, 산화물, 질산, 절연체)

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  시스템 구성: 유연성이 최고

• 표준 수동 열 증발에서 완전 자동화로 다양합니다 다양한 요구를 충족하는 다양한 성장 레시피를 제공하는 공정 제어

• 고속 진입 로드 잠금 챔버(옵션)를 사용할 수 있습니다 원하는 경우

• 상단 장착 시료 스테이지에서는 최대 의 기질을 효율적으로 수용합니다 넓은 직경 11 인치

• 사용 가능한 옵션의 범위:

  • 프리미엄 기판 가열

  • 동적 회전 옵션

  • 맞춤형 바이어스 전압 사용 가능

  • Z-shift 조정

• 구성 가능:

   

   

  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
   

  • 유성 샘플 스테이지

  • 소스 셔터

  • 기판 셔터
    

    **글로브 박스 호환 박막 증착 시스템**
    
    ** 시스템 개요: **
    이 혁신적인 바닥 스탠딩 PVD 시스템은 글로브 박스 통합을 위해 마스터로 제조되었으며, 공기 민감 박막 증착을 용이하게 합니다. 이 제품의 높은 챔버 설계는 탁월한 고성능 증발 공정을 위해 꼼꼼하게 설계되었으며 자그론 스퍼터링 증착과 원활하게 통합되어 다용성과 탁월함을 보장합니다.
    
    ** 주요 기능: **
    금속, 유전체 및 유기 재료의 증착을 위해 전문적으로 설계되었습니다
    - 다음과 같은 특징을 가진 견고한 스테인리스 스틸 박스 스타일의 진공 챔버가 장착되어 있습니다.
    독창적인 듀얼 도어 디자인(프론트 및 리어) 최적의 글로브 박스 통합을 위해
    - 글로브 박스 연결 프론트 도어 또는 외부 리어 도어를 통해 편리하게 접근할 수 있어 기능이 극대화됩니다
    - 높은 종횡비로 최적화된 챔버 형상:
    - 장거리 작업 시 증발에 적합하며 뛰어난 코팅 균일성을 제공합니다
    - 마그네트론 스퍼터링 구성과 완벽하게 호환됩니다
    - 5 × 10mbar 미만의 기본 진공 압력을 달성합니다
    다양한 예산과 에 맞게 유연한 구성 옵션을 제공합니다 다양한 요구 사항
    - 간단한 수동 열 증발에서 다양한 성장 레시피를 통한 정교하고 완전 자동화된 공정 제어에 이르기까지 확장성이 뛰어납니다
    
    ** 디포지션 기능:**
    - 금속의 고성능 열 증발
    - 유기물을 위한 첨단 저온 열 증발
    -최첨단 전자 빔(e-빔) 증발
    - 금속, 산화물, 질산 및 절연체를 위한 다목적 마그네트론 스퍼터링
    
    **기술적 특징:**
    1.챔버의 높은 종횡비 설계는 다음에 대한 최적의 지오메트리를 제공합니다.
    - 도달 거리를 연장해야 하는 탁월한 증발 공정
    - 적절하게 구성된 경우 효과적으로 퍼지는 애플리케이션
    2.이중 도어 접근은 다음을 가능하게 하여 시스템 기능을 향상시킵니다.
    프론트 도어를 통한 원활한 글로브 박스 통합
    리어 도어를 통해 일반적인 적재 작업을 손쉽게 수행할 수 있습니다
    3.시스템은 초고진공 호환성을 유지하므로 다양한 응용 분야에 탁월한 구성 유연성을 제공합니다
    
    ** 모듈식 파일럿 스케일 진공 코팅 시스템**
    
    ** 시스템 개념:**
    이 첨단 계통은 파일럿 규모의 생산에 혁신적인 모듈식 설계 원칙을 도입하며 다음과 같은 특징이 있습니다.
    - 다음과 같은 기능을 제공하는 넉넉한 크기의 챔버 용량:
    - 부품 크기의 손쉬운 업스케일링
    넓은 면적용 코팅의 완벽한 숙박
    ?시료 개선을 위한 통합형 고속 출입 로드 잠금 챔버 처리량 및 효율성
    특정 코팅 요건을 정확하게 충족하는 포괄적인 맞춤 옵션
    
    ** 기술 사양:**
    금속, 유전체 및 유기 박막 필름용으로 설계된 독보적인 바닥 스탠딩 진공 증착 시스템
    내구성이 뛰어난 스테인리스 스틸 박스 스타일의 챔버로 전면 접근 가능 원활한 시료 처리를 위한 도어
    - 넓은 챔버 볼륨 지지대:
    - 다양한 범위의 파일럿 스케일 코팅 적용
    - 고급 연구를 위한 복잡한 실험 구성
    모든 주요 증착 구성 요소 및 사용자 지정 구성 요소와의 호환성을 보장합니다 구속
    - 5 × 10mbar 이하의 기본 진공 압력을 달성할 수 있습니다
    - 다음과 같은 맞춤형 구성 옵션을 제공합니다.
    다양한 사용자 예산
    최적화된 성능을 위한 특정 애플리케이션 요구 사항
    
    ** 사용 가능한 디포지션 방법: **
    - 금속의 고품질 열 증발
    유기 재료를 위한 혁신적인 저온 열 증발
    ?전자 빔(e-빔) 증발을 정밀하게 경험하세요. 박막 증착이 탁월합니다.
    금속, 산화물, 질산 및 절연체를 포함한 다양한 물질에 적합한 자그네론 스퍼터링 기능을 경험해 보십시오.
    
    **주요 장점:**
    1.탁월한 유연성을 제공하는 모듈식 아키텍처로 미래를 수용하여 다음을 지원합니다.
    원활한 부품 업그레이드를 통해 시스템을 최첨단 기술로 유지합니다.
    - 변화하는 요구에 쉽게 대응할 수 있는 탁월한 프로세스 확장성.
    2.넓은 챔버 크기는 다음과 같은 작업을 용이하게 하여 공정을 최적화하도록 설계되었습니다.
    다양한 다중 소스 구성으로 다기능성과 생산성을 향상시킵니다.
    일관되게 균일한 대규모 침전, 항상 품질과 효율성을 보장합니다.
    3.맞춤형 디자인으로 솔루션을 맞춤화하십시오. 다음 사항에 적합합니다.
    - 복잡한 연구 개발 요구 사항을 해결합니다.
    - 소규모 일괄 생산 요구 사항의 고유한 과제를 손쉽게 해결합니다.