실험실 고정밀 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비 금속 코팅 시스템

• 커스터마이징: 사용 가능
• 판매 후 서비스: 온라인 서비스
• 보증: 1년
• 모델 번호.: Made-to-order
• 유형: 코팅 생산 라인
• 코팅: 진공 코팅
• 기판: 강철
• 인증: CE
• 조건: 새로운
• 샘플 단계: 지름 100mm
• 온도 상승: 최대 500ºc
• 회전 속도: 1-30rpm Adjustable
• 챔버 재료: 고순도 석영
• 운송 패키지: 나무 케이스
• 규격: 사용자 지정
• 등록상표: RJ
• 원산지: Zhengzhou, China

제품 설명

데스크탑 듀얼 타겟 Magnetron 스퍼터링 시스템
(고급 박막 증착 모듈식 Co-Sputtering System)

 

주요 사양

부품	파라미터
샘플 스테이지	- 직경: 100 - 150mm -가열: ≤ 500°C(±1°C) 회전: 1-20rpm 조절 가능
마그네트론 타겟	수량: 2 × 2인치 냉각: 수냉식(10L/min 유량)
진공 챔버	치수:?219mm × 280mm(스테인리스 스틸) 뷰포트: φ40mm 석영 창 적재:  전면/상단 개구부 디자인, 대상 전환을 위한 회전 가능한 셔터
전원 공급 장치	-DC+RF:1×300W(최대), ≤ 600V, 응답 시간 < 5ms
냉각 계통	-물탱크: 9L 용량, 10L/min 유량
두께 모니터	정확도: 0.1Å(옵션, 수냉식)
진공 펌프	기본: 로터리 베인 펌프(1.1L/s) 2차: 터보 분자 펌프(60L/s, import-grade) 포트: KF40(입구), KF16(출구)
일반	전원: AC 220V, 50Hz, 총 4.5kW

 

피처

1. 다중 계층 해제
   •  순차/펄스 증착을 위한 기계식 셔터와 함께 듀얼 타겟 코퍼터링
   • 가열 회전 단계는 필름 균일성을 보장합니다(예: 합금/산화물 스택).
2. 진공 성능이 높음
   • 스테인리스 스틸 챔버 ( 베이스 압력 <10^-5 Pa, 권장 펌프).
   • 소형 가져오기 등급 터보 펌프는 60L/s 속도를 유지하면서 설치 공간을 최소화합니다.
3. 공정 제어
   • 옵션  실시간 두께 모니터링 (0.1Å 분해능)
   •  현장 관찰을 위한 석영 창이 있는 전면 적재 설계

 

응용 프로그램

• 전자제품: 전도성/금속 필름(예: Au, Al, Cu)
• 광학: 반반사/IR 코팅
• 연구: 다층 SEM 샘플, 세라믹 박막(RF 출력)

 

기술 노트

• 펌프는 포함되지 않음 - 수입 터보 분자 펌프(예: Pfeiffer HiPace 80)와 호환.
• 업그레이드 가능: 무효 스퍼터링 시 펄스 DC 또는 추가 RF 전원을 추가합니다.

 

이 시스템을 선택해야 하는 이유
 공간 절약: 데스크탑 설계(공간이 제한된 실험실에 최적화)
 유연한 디포지션: 진공 파손 없이 목표 전환
 산업용 정밀: ±1°C 온도 제어, 빠른 펌프 다운
OEM 구성(예: 4개 대상 시스템)은 엔지니어링 팀에 문의하십시오.

 

* 참고: 모든 사양은 ISO 9001을 준수합니다. 요청 시 맞춤형 가스 매니폴드(예: 4채널 MFC)를 사용할 수 있습니다.