| 커스터마이징: | 사용 가능 |
|---|---|
| CAS 번호: | 75-73-0 |
| 공식: | CF4 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
감사를 받은 공급업체 독립적인 제3자 검사 기관의 감사를 받음
| 항목 | 인덱스 | ||
| CF4, %(V/V) 이상 | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
| N2, 10-6(V/V) ≤ | 4 | 20 | 40 |
| O2, 10 - 6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| CO2, 10 - 6 (V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| CO, 10 - 6 (V/V) ≤ | 0.3 | 0.5 | 1 |
| SF6, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 | 5 |
| H2O, 10 - 6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| HF, 10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
| TFC(CH2F2, CHF3, C2F3, C3F8), 10-6(V/V) ≤ | 1 | 10 | 30 |
| 총 불순물, ppm(V/V) ≤ | 10 | 50 | 100 |
| 파라미터 중요 분석 |
단위 | 회사 사양 |
분석 결과 |
분석 방법 |
| 테트라플루오르메탄(CF4) | %(v/v) | 최소 99.999% | 99.999% 이상 | G. C |
| 산소(O2) | V. Ppm | 1.0 미만 | 0.2 미만 | G. C |
| 질소(N2) | V. Ppm | 1.0 미만 | 0.6 미만 | G. C |
| 일산화탄소(CO) | V. Ppm | 0.5 미만 | 0.2 미만 | G. C |
| 이산화탄소(CO2) | V. Ppm | 0.5 미만 | 0.2 미만 | G. C |
| 육불화황(SF6) | V. Ppm | 0.2 미만 | 0.1 미만 | G. C |
| 트리플루오르메탄(CHF3) | V. Ppm | 0.5 미만 | 0.1 미만 | G. C |
| 기타 할로카본(OFC) * | V. Ppm | 1.0 미만 | 0.7 미만 | G. C |
| 총 탄화수소(THC) * | V. Ppm | 0.5 미만 | 0.1 미만 | G. C |
| 수분(H2O) | V. Ppm | 0.5 미만 | 0.2 미만 | 수분 분석기 |
| 산도(HF) | V. Ppm | 0.1 미만 | 0.08미만 | 산도 분석기 |
| 불순물의 총 내용 | V. Ppm | ≤ 10.0 | 10.0 미만 | G. C |
| 파티칼레(> 0.1μm) | PCS/L | 10.0 미만 | 1.0 미만 | ICP-MS |
