초박형 미니 환경 장비 팬 필터 유닛 EFU
일반적인 응용 분야
평면 패널 디스플레이 |
마이크로일렉트로닉스 |
반도체 |
제약 |
제품 개요
초박형, 저소음
EFU의 케이스 두께는 최대 180mm까지 낮을 수 있으며 고강도 케이스 및 방해 흐름을 효과적으로 줄일 수 있도록 특별히 설계된 구조와 결합되어 소음을 최대한 줄일 수 있습니다. 내부 또는 외부 구조의 옵션, 손쉬운 설치, 작동 및 정비
지능형 시스템 제어
EC EFU는 대규모 통합 제어를 달성하고 동시에 각 EFU를 개별적으로 제어할 수 있는 원격 제어 시스템을 채택하며, 이 시스템은 작업자 로깅, 에너지 소비 분석, 진단, 오류 메시지 등을 나타낼 수도 있습니다
무시해도 될 만한 부가스 특성
채택된 모든 구성 요소는 가스 제거 물질이 적고 꼼꼼하게 테스트되었습니다. 케이스, 스테인리스 스틸, 은연강, SPCC 또는 알루미늄을 선택할 수 있습니다. 작은 보론, 나트륨, 칼륨, 실리콘 또는 기타 요소를 포함하는 PTFE 필터가 장착되어 있습니다