비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
감사를 받은 공급업체 당사는 물질 과학 및 시료 전처리를 위해 이상적이고 설계된 고진공 마그네트론 이온 스퍼터링 코터(DC/RF 모델)를 공급/제공합니다. 이 물질은 금속, 세라믹, 반도체, 절연체 또는 기타 막 재료 준비 용도로 대부분의 대학 및 과학 재료 과학 및 엔지니어링 연구소에 널리 사용됩니다.
고진공 마그네트론 이온 스퍼터링 코터로 가장 안정적인 스퍼터링 환경을 제공하며 아주 짧은 시간 내에 마그네론 스퍼터링 기본 실험 조건을 달성합니다. 이 제품은 DC/RF 두 가지 유형의 스퍼터링 전원 옵션을 제공하여, 스퍼터링 전도성 또는 비전도성 물질을 검체에 가하여 물리적 증기 침착(PVD) 성능을 향상시킵니다. 표면 처리 및 코팅에도 매우 좋습니다. 또한 작동이 쉽고 사용자 친화적입니다. 
진공 펌프와 냉각기가 포함되어 있습니다.
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기술 사양 |
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진공 펌프 세트 |
(오일 필요) 로터리 진공 펌프 + (오일 프리) 터보 몰렉쿨라펌프 세트 |
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회전 펌핑 속도 |
50Hz: 16M3/h(4.4L/s)/60Hz 19.2m3/h(5.2L/s) |
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분자 펌핑 속도 |
300L/S |
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진공 제한 |
5 * 105Pa |
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작동 압력 |
0.5 - 5Pa |
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진공 청소 시간 |
10분 이상(10-3Pa) |
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진공 측정 |
대기 중 - 10 - 6Pa |
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가스 제어 |
가스 흐름 제어기 |
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챔버 크기 |
φ260 * 200mm(높이) 메탈 |
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마그네트론 타겟 소스 |
대상 크기 φ50 * 3mm(Cu) l 대상 소스: 약한 자성 물질/재료 |
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작동 방법 |
지침 설명서 |
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무게/크기 |
100kg/610mm 길이 x 420mm 너비 x 490mm 높이 |
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전원 공급 장치 |
AC 110V 60Hz 또는 AC 220V 50Hz |
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전력 소비량 |
300ow 미만 |
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냉각 방법 |
공기 냉각(펌프) + 수냉식(스퍼터링 타겟) |
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보증 |
1년 제한 보증 및 평생 제품 지원 |
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