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마이크로파 플라즈마 청소 시스템인 SPMV-100H는 저압 마이크로파 플라즈마 청소 시스템으로, SMT, 와이어 본딩, 포장 및 기타 공정 전에 표면 전처리에 사용됩니다. 자유롭게 움직이는 전자는 혈장을 생성하고 공정 청소를 위해 캐비티가 있는 잡지로 들어갑니다. 진공 공간 벽의 창에 2.45GHz 주파수의 마이크로파를 적용하여 다량의 혈장을 유지할 수 있습니다. 캐비티는 다른 크기의 카트리지에 적합합니다. SPMV-100H는 빠르고 비파괴적인 플라즈마 청소 효과를 제공합니다. 시스템의 플라즈마 청소 효과는 카트리지를 통해 활성화된 프리 라디칼을 발생시켜 얻을 수 있습니다.
산업 응용 프로그램
| 전원 시스템 | 전원 유형 | 전자레인지 |
| 파워 | 0 ~ 1250W | |
| 주파수 | 2.45GHz | |
| 진공 시스템 | 2단계 로터리 베인 펌프(오일 펌프) | 60m3/h(선택사양 건식 펌프) |
| 진공 라인 | 모든 스테인리스 스틸 파이프 및 고강도 진공 벨로우즈 | |
| 재질 | 알루미늄 합금(맞춤형 스테인리스 강) | |
| 두께 | 25mm | |
| 조임 | 등급 용접 씰 | |
| 내부 챔버 크기 | 450 × 450 × 450mm(W × H × D) | |
| 작업 공간 | 6개의 잡지 섹션 | |
| ECR | Slotted Magazine 및 ECR 강화 치료 제공 | |
| 트레이 회전 | 마그네틱 오일 컨트롤 트레이 회전 | |
| 가스 시스템 | 유량 범위 | 0 ~ 300SCCM |
| 공정 가스 회로 | 표준 양방향 CF4 가스 옵션 |
|
| 제어 시스템 | 시스템 제어 | PLC |
| 대화형 모드 | 7인치 터치 스크린 | |
| 기타 사양 | 기계 크기 | 1300 × 2100 × 1200mm(W × H × D) |
| 무게 | 250kg | |
| 색상 | 실버 그레이 |
| AC 전원 사양 | 전원 공급 장치: AC380V, 50/60Hz, 5선, 50A |
| 기본 배기 | 유량: 2.0m³/분 |
| 공장 작업 가스 요구 사항 | 유량: 1~10L/min 압력: 3~7kg/cm² 파이프 직경: 6 × 4mm 재료: PU 튜브 순도: 99.99% 이상 |
| 공장 압축 공기 요구 사항 | 유량: 1~10L/min 압력: 3~7kg/cm² 파이프 직경: 8 × 5mm 재료: PU 튜브 이슬점: -40ºC 미만 파티클 >0.3μm:10Pcs/ft³ |
| 위험 표지 | 고전압 위험 표지 |
| 사용 환경 | 온도: 15 ~ 30ºC 습도: 30 ~ 70% |
| 기타 고려 사항 | 가연성 가스, 부식성 가스, 폭발성 또는 반응성 먼지 없음 실린더를 고정해야 합니다 |
| 아닙니다 | 이름 | 설명 | 단위 | 수량 |
| 1 | 호스트 | 치수: 1300 × 2100 × 1200mm(W × H × D) | 설정 | 1 |
| 2 | 진공 챔버 | 진공 챔버 내부 크기 450 × 450 × 450mm(W × H × D) |
설정 | 1 |
| 3 | 여기 전력 | 전자레인지 플라즈마 | 설정 | 1 |
| 주파수: 2.45GHz 전원 0 ~ 1250W |
||||
| 4 | PLC | Siemens, Germany, S7-200 | PC | 1 |
| 5 | 터치 스크린 | MCGS, 7인치 스크린 | PC | 1 |
| 6 | 유량계 | WAWICK | PC | 2 |
| 7 | 진공 펌프 세트 | 2단 로터리 베인 펌프(오일 펌프): 60m3/h | 설정 | 1 |
| 8 | 진공 게이지 | INFICON | PC | 1 |
| 9 | 수동 | 진공 전자렌지 플라즈마 청소기의 작동 매뉴얼 SPMV-100H | 설정 | 1 |
| 항목 | 검사 내용 | 생활 | 검사 빈도 |
| 오일 펌프 | 필터 엘리먼트 | 사용 시간 2000H | 15일 |
| 펌프 오일 | 사용 시간 2000H | 15일 |
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