용법: | 반도체, 나노 과학 기술 |
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유형: | 플레이트 노출 |
페이지: | 단일 직면 |
자동 급: | 자동적 인 |
제품 유형: | 화학 제품 |
근접 노출: | 진공 연락 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
모델 | EXPOMAC 오프셋 플레이트 노출 | |||
122E | 135e | 145E | 180E | |
노출 영역(mm) | 850 × 1100 | 1060 × 1350 | 1200x1450 | 1500 × 1800 |
광원 | 3KW 바이올렛 램프(5kW 바이올렛 램프 옵션) | |||
진공 시스템 | 고속 이중 루프 진공 배출 시스템 | |||
진공 각도 | 760mmHg(30inHg) | |||
노출 균일성 | 85%~95% | |||
진공 배기 | 예비 진공 배출과 주요 진공 배출 | |||
노출 | 주요 노출 및 두 번째 노출 | |||
전원 공급 장치 | 220V 50 / 60Hz 32A 단상 | |||
순중량(kg) | 270 | 320 | 360 | 385 |
총중량(kg) | 345 | 430 | 450 | 480 |
반사 유리(mm) | 1348x1093x5 | 1597x1343x8 | 1450x1690x8 | 1990x1557x8 |
고무 패드(mm) | 1348x1093x3 | 1597x1343x3 | 1450x1690x3 | 1990x1557x3 |
압력 축 베어링 제한(kg) | 90 | 110 | 115 | 120 |
기계 크기(mm) | 1570x1230x2280 | 1820x1480x2360 | 1440x2050x2100 | 2210x1700x2480 |
포장 크기(mm) | 1650x1450x1200 | 1900x1600x1200 | 1520x2350x2400 | 2290x1820x1200 |
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