고압 패널용 고순도 계기 가스 압력 조절기 고압 다이어프램 밸브가 있는 조절기

• Media: Oil
• Certification: CE
• Temperature: Ordinary Temperature
• Connection: Thread
• Valve Seat: Single-Seat
• Structure: Spring Diaphragm
• 모델 번호.: VCR regulator
• Material: Stainless Steel
• 키워드: UHP Pressure Regulator
• 파워: 수동
• 크기: 1/4′′face Seal Female1/4inch
• 도: 상하이
• 사용자 정의: 사용 가능
• MOQ: 20
• 흡입 압력: 0-3500psi
• 바디 재질: 스테인리스 스틸 316L
• 출구 압력: 0-500 Psi
• 유량: Hf Option to 120 Slpm
• 적합한 가스: 고순도 가스
• 응용 프로그램: 반도체
• 표면 거칠기: 10 μim
• 입력합니다: 단일 단계
• 모델 번호: UR100
• 운송 패키지: Box Packing, Carton Box, Wooden Case
• 사양: 1/2inch
• 등록상표: NAI-LOK
• 원산지: China
• 세관코드: 8481100090
• 생산 능력: 10000/Month

제품 설명

 1단 조절기  

 

피처

• SS316L 구성
• 10μin. 표면 마감(25μin. 옵션)
• 3,500pisg(241bar) 흡입구까지 진공
• 1to 150psig(0.07 ~ 10bar) 배출구
• 고순도 반도체 응용분야에 맞게 세척, 조립 및 포장되었습니다

• 유량  

    표준 - 30 slpm

    -HF 옵션을 사용하여 120slpm

기능
 

Soure 압력		3,500psig(241bar)까지 진공
		UR101 300psig(21bar)용
공급 압력	UR101	1 ~ 10psig(0.07 ~ 0.7bar)
	UR 102	1 ~ 30psig(0.07 ~ 2bar)
	UR 106	2 ~ 60psig(0.14 ~ 4bar)
	UR 1001	2 ~ 100psig(0.14 ~ 7bar)
	UR 1005	5 ~ 150psig(0.34 ~ 10bar)
압력 방지		5,000psig(345bar)
파열 압력		10,000(690bar)

기타 매개변수
 

입구/출구 커넥터	1/4 또는 3/8인치 페이스 실 또는 튜브 용접
유량 계수(CV)	0.09(0.15 HF 옵션)
내부 볼륨	0.49in3(8cm3)
작동 온도	160ºF~40ºF
표면 거칠기	10μin .(0.25μm) Ra 평균 표준 25μin .(0.62μm ) Ra avg. 선택 사항
인보드 누출	2 x 10-10 SCC
아웃보드 누출	2 x 10-9 SCC He
시트 간 누출	4 x 10-8 SCC He
설치	표면 또는 패널(옵션)
공급 압력 효과                     HF	100psig 소스 압력 변화당 0.25psig HF 0.75pisg/100psig 소스 압력 변화