CAS No.: | 7783-82-6 |
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공식: | NF3 |
EINECS: | 7783-82-6 |
성분: | 산업 순수한 공기 |
등급 표준: | 산업 학년 |
화학 재산: | 유독 가스 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
제품 이름 | 트리플루오르화물 질소 |
입력합니다 | NF3 |
최소 순도 | 5N |
실린더 사양 | 47L/470L |
채우기 컨트롤 (20°C) | 20kg/200kg |
밸브 유형 | DISS 640 |
응용 프로그램 | 반도체: 플라즈마 건조에 사용되는 플라즈마 에칭 가스 에칭 프로세스 |
실린더 크기 | 43L | 47L | 440L/470L | 20ft ISO | 40ft ISO |
충전 중량 | 20kg | 20kg | 300kg | 4T | 8T |
실린더 밸브 | CGA330 DISS640 JIS22R | CGA330 DISS640 JIS22R | CGA330 DISS640 JIS22R | DISS640 | DISS640 |
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