CAS No.: | 7783-82-6 |
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공식: | C2F6 |
EINECS: | 7783-82-6 |
성분: | 산업 순수한 공기 |
등급 표준: | 전자 등급 |
화학 재산: | 비 가연성 가스 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
오염 물질 | 사양 |
산소 + 아르곤 | 0.16 ppmv |
질소 | 0.23 ppmv |
일산화탄소 | 0.10 ppmv 미만 |
이산화탄소 | 0.10 ppmv 미만 |
THC로 메탄 | 0.10 ppmv 미만 |
기타 할로카폰 | 0.20ppmv 미만 |
사플루오르화 탄소 | 0.20ppmv 미만 |
물 | 0.71 ppmv |
불산(Hydrofluoric Acid)과 같은 산도 | 0.05ppmv 미만 |
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