CAS No.: | 10025-78-2 |
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공식: | Sihcl3 |
EINECS: | 7783-82-6 |
인증: | CE, RoHS 준수, ISO, CIQ |
청정: | ≥99 % |
유형: | Electronic Gas |
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순도 %: | ≥ 99.85 |
저항률: | ≥ 300ohm-cm |
보론: | 0.1ppba 실리콘 이하 |
총 탄소: | ≤ 5 PPMA |
다리미: | ≤ 5ppba |
기타 클로로실란: | ≤ 500ppm |
실린더 상태 @ 21.1°C: | 액체 |
공기 내 가연성 제한: | 7-83% |
자동 점화 온도(°C): | 182 |
분자량(g/mol): | 135.45 |
비중(공기=1): | 4.67 |
위험 온도( °C): | 242.5 |
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