커스터마이징: | 사용 가능 |
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판매 후 서비스: | 평생 무료 애프터 서비스 |
보증: | 1년 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
독립적인 제3자 검사 기관의 감사를 받음
사용자 정의 기능
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온도
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최대 1200도
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전원 공급 장치
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AC 380V, 15kW
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온도 조절 정확도
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±1°C
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용광로 튜브 재질
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외부 튜브: 재결정 실리콘 카바이드(D200 × 1,900mm)
석영 튜브: 끝: Ø60mm 중간: Ø180mm(L = 1300mm) - 총 길이: 1950mm |
가열 구역 길이
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1,300mm
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제어 영역
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3 독립 PID 제어 구역
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회전 시스템
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모터 구동 기계식 베어링 구동
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회전 속도
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0-5rpm(조절식)
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틸트 메커니즘
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모터 구동식 틸트(0-20°)
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HMI
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10인치 터치스크린(Siemens PLC 통합)
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프로그래밍 가능한 기능
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다중 세그먼트 온도 프로파일, 2개의 가스 라인, 1개의 진공 라인 제어
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씰링 시스템
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스테인리스 스틸 플랜지, 마그네틱 오일 로터리 피드스루(316L)
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가스 시스템
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- 입구 라인 2개(솔레노이드 밸브)
배기 라인 1개(솔레노이드 밸브) 진공 포트 1개 |
진공 시스템
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2단계 로터리 베인 펌프(2L/s)
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진공 측정
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디지털 게이지(-100-100 kPa, 마이크로 정압 지원)
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호환 공정 가스
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N2, AR, O2 등
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흐름 제어
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2 × 질량 유량 컨트롤러(0-10 L/min)
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온도 균일성
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±3°C(가열 구역 내)
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최대 온도
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작동 온도
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가열 요소
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열전대
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튜브 재질
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1200도
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1150 도
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고온 합금 저항 와이어 또는 SiC
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K형
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SS/Quartz/Alumina
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1400 도
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1350 도
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SIC
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S 유형
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고순도 알루미늄
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1,600 도
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1550 도
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모시아2
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B형
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고순도 알루미늄
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1700도
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1650 도
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모시아2
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B형
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고순도 알루미늄
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1800 도
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1750 도
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모시아2
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B형
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고순도 알루미늄
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사용자 지정
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요청 시
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W/흑연/Mo
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B형/C형
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W/흑연/Mo
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